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- [实用新型]真空镀膜装置-CN202320545348.3有效
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裴蓓;渡边优;余龙;吕启蒙;曹永军
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-03-20
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2023-08-08
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C23C14/02
- 本实用新型公开了一种真空镀膜装置，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜装置包括装片室、预加热室、工艺腔室和搬送室，装片室、预加热室和工艺腔室分别设于搬送室周向的不同位置，装片室能存储多个待处理工件，搬送室内设置有机械手，机械手能将待处理工件搬送至预加热室，并能将加热后的待处理工件搬送至工艺腔室；预加热室内设置有加热工件架，加热工件架上能放置多个待处理工件，待处理工件能被置于加热工件架上加热。该真空镀膜装置通过单独设置预加热室，同时对多个待处理工件进行预加热，提高了真空处理效率；同时避免了待处理工件中的水汽等杂质受热逸出影响工艺腔室的内部环境，从而提高了真空处理的品质。
- 真空镀膜装置
- [实用新型]真空镀膜机-CN202320546417.2有效
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裴蓓;渡边优;余龙;吕启蒙;曹永军
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-03-20
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2023-08-08
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C23C14/34
- 本实用新型公开了一种真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜机包括真空镀膜室、导轨和靶材移动小车，靶材移动小车上安装有靶材单元，靶材移动小车滑设于导轨，以使靶材单元能够进出真空镀膜室。靶材单元通过靶材移动小车运送至真空镀膜室内，为真空镀膜提供溅射靶材。在对靶材单元进行维护时，靶材移动小车将靶材单元移出真空镀膜室。靶材移动小车上还设置有安装机构，安装机构与靶材移动小车转动连接，靶材单元安装于安装机构，安装机构转动能带动靶材单元在安装位和维护位之间转换，以便在靶材单元需要维护时，将靶材单元旋转至维护位，将靶材单元中留存的冷却水倒出，提高了靶材单元的维护效率。
- 真空镀膜
- [实用新型]公自转转架装置及真空镀膜机-CN202320546002.5有效
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裴蓓;渡边优;余龙;吕启蒙;曹永军
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-03-20
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2023-07-25
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C23C14/50
- 本实用新型公开了一种公自转转架装置及真空镀膜机，涉及真空处理技术领域。该公自转转架装置包括自转轴、公转轴、公转盘和自转子轴，自转轴穿设于公转轴内且能相对公转轴转动，公转轴通过公转驱动件驱动，公转盘设于公转轴的端部；自转子轴设置有多个，多个自转子轴间隔布设于公转盘的周向；自转轴远离公转盘的一端与自转驱动件连接，另一端伸入公转盘内部，并通过传动机构与多个自转子轴连接，自转子轴与公转盘外部的工件架连接，公转盘包括第一护板和安装架，公转轴设于第一护板的中心，公转盘内设有容纳腔，传动机构位于容纳腔内。该公自转转架装置产生的颗粒少，密封性好，避免颗粒影响外部环境。
- 转转装置真空镀膜
- [实用新型]一种镀膜装置-CN202320114504.0有效
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金海俊;任海峰;汪洋;李爽;余龙;吕启蒙
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光驰科技（上海）有限公司
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2023-01-18
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2023-06-06
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C23C14/34
- 本实用新型公开了一种镀膜装置，属于镀膜技术领域。镀膜装置包括工件盘、驱动组件、掩膜版和镀膜源，工件盘设有用于容置基板单元的基板孔，驱动组件能够驱动基板单元绕基板孔的中心转动，基板单元投影于掩膜版，掩膜版设于基板单元和镀膜源之间，掩膜版包括镂空区和多个掩膜区，多个掩膜区设于掩膜版的周部，镂空区包括圆形部和设于圆形部外沿的多个凸出部，掩膜区设于相邻凸出部之间。本实用新型的镀膜装置，可以实现对基板孔沿径向方向对基板进行镀膜，能够适用于不同尺寸大小的基板，以及实现不同渐变梯度，适用性强；掩膜版的设计方法简单、可靠，可以保证渐变镀膜的均匀性。
- 一种镀膜装置
- [实用新型]真空处理装置-CN202222516624.1有效
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吕启蒙;马淑莹;裴蓓;曹永君;余龙;刘佰鑫
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光驰科技（上海）有限公司
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2022-09-22
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2023-03-31
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C23C14/56
- 本实用新型涉及真空处理技术领域，公开了一种真空处理装置，真空处理装置包括第一腔体、第二腔体、第一驱动机构和密封驱动机构，第一腔体包括多个沿第一腔体的周向设置于第一腔体的第一子腔体，第二腔体包括多个沿第一腔体的周向设置的第二子腔体，第一驱动机构的输出端可驱动第二腔体转动，以使各第二子腔体依次地与各第一子腔体构成空间对应，密封驱动机构包括连接于第二子腔体的推拉组件，还包括与推拉组件连接并可沿第一腔体的轴向往复移动的第二驱动机构，第二驱动机构可驱动推拉组件以使第二子腔体和构成空间对应的第一子腔体抵接形成相对独立的密封空间。该真空处理装置能够在存在内外压差下实现可靠和可控密封。
- 真空处理装置
- [实用新型]一种装载机构-CN202221900863.0有效
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余龙;陈韶华;周斌;吕启蒙;秦亲亲
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光驰科技（上海）有限公司
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2022-07-21
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2022-11-15
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C23C14/50
- 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种装载机构。该装载机构包括连接组件、驱动件以及承载组件。其中，驱动件与连接组件的一端连接，且驱动件能够驱动连接组件转动，承载组件用于承载工件，且承载组件角度可调的套设在连接组件上。该装载机构还包括弹性件，弹性件套设在连接组件上，且弹性件的两端分别与驱动件和承载组件抵接，以支撑承载组件。当装载机构的局部结构高温变形后，如连接组件在高温下发生变形，使承载组件转动不稳定。弹性件的弹性作用能够消除承载组件和连接组件之间因为热变形产生的影响，提高装载机构运行的稳定性，进而有利于提高工件的镀膜效果，保证镀膜质量。同时，该弹性件有利于延长装载机构的使用寿命。
- 一种装载机构
- [实用新型]一种防污装置及真空镀膜机-CN202220985689.8有效
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余龙;裴蓓;曹永军;吕启蒙;周斌
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光驰科技（上海）有限公司
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2022-04-26
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2022-09-06
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C23C14/56
- 本实用新型公开了一种防污装置及真空镀膜机，涉及真空镀膜设备技术领域。真空镀膜机包括工件腔室，防污装置设置于工件腔室内，防污装置包括防污板和安装夹具，防污板与工件腔室的内壁对应设置，用于防止工件腔室的内壁附着薄膜；防污板与安装夹具固定连接，工件腔室内设置有限位部，安装夹具与限位部配合，限位部能使安装夹具仅能沿预设方向移动。在需要更换防污板时，能沿竖直方向将工件腔室内的安装夹具取出，然后将防污板从安装夹具上拆除，以更换防污板。本实用新型提供的防污装置，无需缩短真空镀膜机的清洁保养周期，也能改善防污板上的膜层崩裂以及由膜层崩裂导致的工件腔室的污染。
- 一种防污装置真空镀膜
- [实用新型]一种水平式阴极单元及水平式镀膜设备-CN202220990472.6有效
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靳伟;余龙;吕启蒙
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光驰科技（上海）有限公司
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2022-04-26
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2022-08-30
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C23C14/56
- 本实用新型属于镀膜设备技术领域，公开了一种水平式阴极单元及水平式镀膜设备。其包括阴极法兰、阴极头和靶管，阴极法兰开设有容置腔，容置腔的顶部和后端均为朝向真空腔体中心的开放式结构，阴极法兰能够与真空腔体密封连接；阴极头设置于阴极法兰前端，且至少部分阴极头设置于容置腔外；靶管设置于容置腔内。本实用新型的水平式阴极单元，阴极头设置于容置腔外，减少了占用容置腔的内部空间，能够提高有效镀膜区域长度；阴极法兰的后端呈开放式结构，可以使靶管的维护变得更加容易，不用给靶管流出维护空间，加长了阴极单元内的有效成膜区间。阴极法兰呈楔形结构，能够使阴极法兰和真空腔体配合时结构更加紧凑，优化了水平式镀膜设备的布局。
- 一种水平阴极单元镀膜设备
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