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- [发明专利]一种真空镀膜装置及真空镀膜方法-CN202111509133.8在审
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黄永长;龙汝磊;吴萍
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光驰科技(上海)有限公司
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2021-12-10
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2023-06-13
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C23C14/22
- 本发明涉及真空镀膜技术领域,公开一种真空镀膜装置及真空镀膜方法。其中真空镀膜装置包括镀膜机构和膜料承载件搬运机构,镀膜机构包括用于镀膜的镀膜腔和用于盛放膜料承载件的第一搬运腔,镀膜腔和第一搬运腔通过第一真空阀门选择性连通,镀膜腔内还设置有第二放置位,第二放置位用于容置膜料承载件;膜料承载件搬运机构设置于第一搬运腔,包括放置台、抓取模组和移动模组,放置台用于容置膜料承载件,其上设置有第一操作位,抓取模组用于在第一操作位抓取膜料承载件,移动模组用于驱动抓取模组由第一操作位向第二放置位搬运膜料承载件。本发明的真空镀膜装置的真空腔室占地面积小,生产效率高,减少了装置制作成本和能源的消耗。
- 一种真空镀膜装置方法
- [实用新型]一种真空镀膜系统-CN202221893361.X有效
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黄永长;龙汝磊;吴萍
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光驰科技(上海)有限公司
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2022-07-21
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2022-11-15
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C23C14/56
- 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,公开一种真空镀膜系统。其中真空镀膜系统包括镀膜腔、搬运腔、输送装置和冷却装置,镀膜腔用于镀膜,搬运腔用于盛放膜料承载件,膜料承载件上设置有多个承载位,镀膜腔内设置有镀膜位;输送装置能将搬运腔的膜料承载件输送至镀膜腔,并将承载位依次输送至镀膜位;冷却装置设置于镀膜腔,用于冷却置于镀膜腔的膜料承载件。本实用新型的输送装置依次将各个承载位输送至镀膜位镀膜,镀膜腔内还设置有冷却装置,用于对置于镀膜腔的膜料承载件进行冷却,一方面有效地避免对膜料承载件以及其他部件可能由于温度过高的损坏,提高了安全性;另一方面还保证了镀膜工艺的稳定性,进而提高了镀膜的效果。
- 一种真空镀膜系统
- [实用新型]一种膜料承载装置及镀膜系统-CN202221900773.1有效
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黄永长;龙汝磊;吴萍
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光驰科技(上海)有限公司
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2022-07-21
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2022-11-15
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C23C14/24
- 本实用新型涉及镀膜技术领域,公开一种膜料承载装置及镀膜系统。其中膜料承载装置包括承载本体,承载本体的表面设置有用于与冷却装置接触的接触面;多个承载位凹设于承载本体,多个承载位沿承载本体的延伸方向间隔设置;冷却凹槽设置于承载本体,与至少部分承载位对应设置。本实用新型条状的承载本体的上方间隔设置有多个承载位,用于盛放更多的镀膜材料,减少膜料承载装置的更换次数,以满足镀膜系统的自动化连续镀膜,省时省力,有效地提高了镀膜效率。通过接触面和冷却凹槽能实现膜料承载装置不同位置的冷却效果,有效地提高了冷却效果,使得膜料承载装置能用于长时间的镀膜工作。
- 一种承载装置镀膜系统
- [发明专利]一种镀膜室用基板装载装置-CN201910686560.X有效
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黄永长;龙汝磊;吴萍;魏晓庆
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光驰科技(上海)有限公司
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2019-07-29
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2022-07-01
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C23C14/50
- 本发明涉及薄膜制备技术领域,具体涉及一种镀膜室用基板装载装置,其特征在于:包括公转驱动盘、游星臂、游星盘、行星平板,其中游星盘设置在公转驱动盘的下方且两者之间通过游星臂构成传动连接,行星平板设置在游星盘上且两者之间构成传动连接;公转驱动盘在外接动力的驱动下旋转并通过游星臂带动游星盘绕公转驱动盘的旋转中心公转,并且游星盘在游星臂的带动下同时自转;通过公转驱动盘的顺逆时针旋转方向的切换实现行星平板在游星盘上的翻转。本发明的优点是:能够在真空镀膜室的一次镀膜过程中实现镀膜工件正反面的同时镀膜;采用机械化的限位结构,对镀膜工件的翻转进行精确限位,从而保证镀膜效果;装置结构简单合理,便于自动化控制。
- 一种镀膜室用基板装载装置
- [实用新型]啄木鸟玩具-CN201220282759.X有效
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黄永长
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黄永长
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2012-06-15
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2013-01-02
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A63H13/02
- 一种啄木鸟玩具,包括基座,基座上设有弹性支柱,弹性支柱上固定有摇摆块,摇摆块上固定有拉绳,摇摆块上还设有当拉绳拉动时会与基座敲击配合的敲击柱。本实用新型通过基座、弹性支柱、摇摆块、拉绳、敲击柱、凹槽、通孔和把柄等组件的合理布局设置,人们在玩耍时只要拉动拉绳就能使玩具上的卡通啄木鸟状结构模能仿啄木鸟啄木动作并使基座发出悦耳声响,有益于提高儿童玩耍兴趣,同时还能使儿童从小就培养起爱鸟意识,寓教于乐。本实用新型的结构合理、紧凑,成本低,造型惟妙惟肖,形象生动,深受广大儿童及家长喜爱。
- 啄木鸟玩具
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