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[发明专利]一种旋转蚀刻装置及湿法刻蚀机台-CN201810652415.5有效
发明人：李侃;魏广升 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2018-06-22 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种旋转蚀刻装置及湿法刻蚀机台，适用于半导体湿法刻蚀工艺，包括：支撑结构，支撑结构提供一支撑面用以支撑待刻蚀的晶圆；待刻蚀的晶圆与支撑面之间预设一预定距离，支撑面朝向待刻蚀的晶圆的一面均布有多个气体喷嘴；控温加热装置，连接边缘的气体喷嘴的气体管路，以加热气体管路内的保护气体；喷嘴装置，设置于支撑面的上方，喷嘴装置包括一喷嘴与一液体输送管，喷嘴设置于朝向支撑面的一面，液体输送管连接喷嘴背向支撑面的一端。有益效果：通过增加控温加热装置，以加热保护气体，改变了晶圆的边缘温度，从而提升晶圆的蚀刻率，改变晶圆的均匀度，保证产品均匀度在可控的安全质量标准之内，减少报废风险。
一种旋转蚀刻装置湿法刻蚀机台

[发明专利]一种解决晶圆薄膜层剥落方法及清洗装置-CN201710823925.X在审
发明人：刘浩;王晟;张兴平;褚海波;魏广升 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2017-09-13 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种解决晶圆薄膜层剥落方法及清洗装置，应用于清洗装置中，清洗装置包括，容腔，以及设置于容腔内的电子卡盘，电子卡盘用以放置晶圆，其中，晶圆正面包括薄膜层以及位于晶圆边缘的刻蚀区域；包括以下步骤：步骤S1、将晶圆的正面朝下固定放置于电子卡盘上；步骤S2、控制电子卡盘旋转以带动晶圆旋转；步骤S3、向晶圆的背面喷洒酸性清洗剂，使酸性清洗剂流到晶圆表面的刻蚀区域以刻蚀去除刻蚀区域中的薄膜层；步骤S4、向晶圆的背面喷洒溶剂；步骤S5、使溶剂覆盖刻蚀区域，以去除残留在刻蚀区域中的酸性清洗剂以及薄膜层。其技术方案的有益效果在于，克服了现有技术中薄膜层会掉落在晶圆的边缘较难去除的缺陷。
晶圆刻蚀区域清洗装置薄膜层电子卡酸性清洗剂去除晶圆薄膜溶剂容腔剥落喷洒背面固定放置晶圆边缘晶圆表面晶圆正面掉落刻蚀盘旋残留覆盖应用

[实用新型]一种铝焊垫清洗机-CN201621104208.9有效
发明人：邱伟良;魏广升;褚海波 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2016-10-09 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： C23G3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体良率提升领域，尤其涉及一种铝焊垫清洗机，包括一铝焊垫清洗工具；铝焊垫清洗工具位于铝焊垫清洗机的内部空间中；还包括隔离装置，对内部空间进行隔离，以在内部空间中形成包括铝焊垫清洗工具的一第一隔离空间，以将铝焊垫清洗工具与产生腐蚀物质的腐蚀源隔离，避免腐蚀物质在铝焊垫处触发链式反应腐蚀铝焊垫，从而能够最终提高产品良率。
一种铝焊垫清洗

[发明专利]检测刻蚀液过滤器的方法-CN200810204980.1有效
发明人： 魏广升;赵建方;王瑞明;黄海英 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2008-12-30 - 公布日： 2010-07-07 - 主分类号： G01N15/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种检测刻蚀液过滤器的方法，包括在覆盖一层均匀氧化物薄膜的晶片上选定多个点；测量所述晶片在所述多个点处的初始厚度；对所述晶片进行过刻蚀处理；测量所述晶片在所述多个点处的残留厚度；计算各个点处的初始厚度与残留厚度的差值并计算这些差值的标准方差，将所述标准方差与标准值做比较，若大于标准值，表明检测结果不合格，需要更换所述过滤器，若小于标准值，表明检测结果合格，本发明能够检测到过滤器的老化与否，为在过滤器老化的情况下，及时更换过滤器提供了判定依据，减少了由于过滤器老化而导致的次品的产生，保证了产品的合格率。
检测刻蚀过滤器方法

[发明专利]一种检验刻蚀液是否有效的方法-CN200710039194.6有效
发明人： 魏广升 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-04-06 - 公布日： 2008-10-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种检验刻蚀液是否有效的方法。现有检验方法因不去除测试晶圆表面的自然氧化层而直接用测试晶圆检验刻蚀液，致使测得的刻蚀速率无法准确反应刻蚀液的状况。本发明的方法先提供一测试晶圆，其中，该测试晶圆上具有一测试层，该测试层上具有一自然氧化层；接着去除该自然氧化层；之后测量该测试晶圆的厚度或方块电阻；然后将该测试晶圆浸没在刻蚀液中进行一预定刻蚀时间的刻蚀；之后测量该测试晶圆被刻蚀后的厚度或方块电阻；接着计算出该测试晶圆厚度或方块电阻的改变量，并依据该改变量计算出刻蚀速率；最后判断该刻蚀速率是否在容许范围内并依据判断结果判定刻蚀液是否有效。采用本发明的方法可有效检验出检验刻蚀液是否有效。
一种检验刻蚀是否有效方法