“雷德发”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]平行度检测装置-CN202223065715.4有效
发明人： 雷德发 -专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种平行度检测装置，包括：载体、测距模块和输出模块；所述载体用于放置在加热器上；至少三个测距模块分散设置于所述载体，所述测距模块与所述载体之间可活动连接；所述测距模块包括相互连接的激光单元和接收单元；所述激光单元发出激光的方向垂直于所述载体，使所述激光照射喷淋头；所述接收单元用于接收所述喷淋头反射的所述激光；所述输出模块与所述测距模块之间无线通讯连接，改善了机械式测量需频繁校准的缺点；同时，使用激光检测提高了检测的精准性；此外，通过将所述测距模块与所述输出模块之间无线通讯连接，避免了通讯线缆缠绕薄膜沉积设备中零部件的风险。
平行检测装置

[实用新型]半导体设备的补液系统-CN202223191142.X有效
发明人： 雷德发;袁晓飞 -专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体设备的补液系统，包括：主补液槽、辅补液槽、通液阀和供液装置；所述主补液槽和所述辅补液槽均用于容纳冷却液；所述主补液槽、所述辅补液槽和所述供液装置均与所述通液阀连接；所述主补液槽与所述供液装置相连通时，所述辅补液槽与所述供液装置相隔离；所述辅补液槽与所述供液装置相连通时，所述主补液槽与所述供液装置相隔离；所述通液阀用于控制所述主补液槽和所述辅补液槽内的冷却液通入所述供液装置；或所述通液阀用于控制所述供液装置内的冷却液通入所述主补液槽和所述辅补液槽；所述供液装置参与构成若干半导体设备的冷却液通路，用于向所述若干半导体设备供给冷却液。该系统用于向半导体设备供给冷却液。
半导体设备补液系统

[发明专利]板式滤尘器-CN90107438.1无效
发明人：陈百顺;王适安;雷德发 -专利权人：陈百顺;王适安;雷德发
申请日： 1990-08-31 - 公布日： 1992-03-11 - 主分类号： B01D46/22 文献下载
摘要：一种空气过滤装置，板式滤尘器，现有滤尘器的滤料上因积了过多的粉尘而需经常更换。本滤尘器在框架上下端分别装有上滚筒和下滚筒，滤料绕在两滚筒上，并在动力装置驱动下与两滚筒同时转动，下滚筒内有吹风管，将滤料表面的粉尘和纤维吹到上下尘室，滤料下方的内侧有一吹风管，清除滤料表面剩余的粉尘，该滤尘器滤料不需经常更换，结构简单。
板式滤尘器