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- [发明专利]用于mask板加工的电解槽-CN202211701026.X在审
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陈宏;陆进进;吴佳杰
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张家港市超声电气有限公司
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2022-12-29
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2023-05-30
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C25D17/06
- 本申请公开了一种用于mask板加工的电解槽，包括槽体，槽体内竖直设有mask板，mask板两侧的槽体内均设有限位机构，限位机构包括一对第一挡板和第二挡板，一对第一挡板对称设置在mask板前后两侧，第二挡板与一对第一挡板垂直连接，一对第一挡板相向的端面上均从上往下依次设有多个第一滚轮，第二挡板朝向mask板侧壁的端面上从上往下依次设有多个第二滚轮，第一滚轮和第二滚轮分别与第一挡板、第二挡板转动连接。该电解槽通过第一滚轮和第二滚轮进行限位，且滚轮与mask板端面转动连接，从而减少摩擦，防止mask板的边框产生划痕，保证mask板的质量。
- 用于mask加工电解槽
- [发明专利]用于硅片甩干机的上下料机构-CN202211700999.1在审
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陈宏;陆进进;吴佳杰
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张家港市超声电气有限公司
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2022-12-29
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2023-04-14
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H01L21/677
- 本申请公开了一种用于硅片甩干机的上下料机构，包括甩干机主体，甩干机主体内设有多个花篮放置槽，甩干机主体的外沿上转动连接有环形板，环形板的外壁上设有环形齿，环形齿上啮合连接有第一齿轮，第一齿轮与第一电机连接，每个花篮放置槽外侧的环形板上对应设有第一定位槽，相邻第一定位槽之间的环形板上设有第二定位槽，甩干机主体的上方设有升降板，升降板的底端固定有多个平移电缸，多个平移电缸与多个花篮放置槽一一对应设置，平移电缸设置在甩干机主体的半径上，平移电缸上配合滑动连接有花篮夹具，升降板的顶端固定有升降机构。该上下料机构通过结构配合实现自动化上下料，避免人工操作，自动化程度高，提高效率。
- 用于硅片甩干机上下机构
- [发明专利]超声波清洗用龙门架-CN202011148834.9在审
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陈宏;陆进进;吴佳杰
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张家港市超声电气有限公司
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2020-10-23
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2022-05-13
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B66C19/00
- 本申请公开了一种超声波清洗用龙门架，包括底座和升降机构，升降机构包括齿轮箱和升降齿条，齿轮箱设置在底座上，升降齿条从上往下依次贯穿齿轮箱和底座，齿轮箱内设有与升降齿条啮合的升降齿轮，升降齿轮通过转轴与齿轮箱转动连接，底座上设有驱动转轴转动的第一减速电机，底座下方设有与升降齿条底端固定连接的升降板，升降板底部设有一排双向气缸，一排双向气缸位于同侧的输出端共同连接有夹板，夹板上固定有若干夹具，齿轮箱两侧的底座上设有一对支撑臂，一对支撑臂的顶端与平移机构连接。该龙门架通过齿轮齿条带动夹具升降，并且在平移机构的配合下实现平移，结构更加稳定，承重性更强，可以同步抓取多个花篮同步进行清洗，提高效率。
- 超声波清洗龙门
- [发明专利]用于硅片的分片装置-CN202110907771.9在审
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陈宏;何志明;陆进进;丁晓
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张家港市超声电气有限公司
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2021-08-09
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2021-11-16
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B65G59/04
- 本发明公开一种用于硅片的分片装置，包括：水槽，用于储存水；座体，位于水槽内部；片托，用于装载硅片堆垛，片托连同硅片堆垛能够被浸没在水槽的水中；升降机构，其与所述的片托传动设置，以驱动装载有硅片堆垛的片托沿上下方向移动；吸片输送机构，用于从硅片堆垛的上侧吸起最上层的单张硅片并向后侧传输，吸片输送机构包括至少一个吸嘴以及传送组件，至少一个吸嘴以及所述的传送组件能够被浸没在水槽的水中；以及分片机构，包括设置在水槽内的两组喷水器，两组喷水器位于至少一个吸嘴的下侧；两组喷水器左右相对设置，以吹散放置于所述片托上的所述硅片堆垛的上层硅片。该分片装置能够防止发生崩边和破碎的情况。
- 用于硅片分片装置
- [实用新型]晶拖脱胶装置-CN202020786765.3有效
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陈宏;陆进进;吴佳杰
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张家港市超声电气有限公司
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2020-05-13
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2020-12-25
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B28D5/00
- 本申请公开了一种晶拖脱胶装置，包括机架，机架内设有槽体，槽体内设有放置架和加热装置，放置架通过升降装置与机架连接，放置架正上方的机架上固定有支撑板，支撑板的上端面对称设有一对光轴，一对光轴上滑动连接有一对移动板，每个移动板下方垂直设有挡板，挡板贯穿支撑板且延伸至支撑板下方，挡板底部设有挡块，两个挡块相向设置，支撑板上开设有供挡板沿光轴移动的通槽，每个移动板的顶部设有齿条，两根齿条相向设置且共同啮合连接有齿轮，齿轮底部设有转轴，转轴通过轴承座与支撑板连接，光轴其中一端的支撑板上设有限位机构。该脱胶装置通过齿轮带动挡块对晶拖进行夹紧从而利于晶拖与晶片分离，提高分离的稳定性，避免晶片破碎。
- 脱胶装置
- [发明专利]晶拖脱胶装置-CN202010401593.8在审
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陈宏;陆进进;吴佳杰
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张家港市超声电气有限公司
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2020-05-13
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2020-07-28
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B28D5/00
- 本申请公开了一种晶拖脱胶装置，包括机架，机架内设有槽体，槽体内设有放置架和加热装置，放置架通过升降装置与机架连接，放置架正上方的机架上固定有支撑板，支撑板的上端面对称设有一对光轴，一对光轴上滑动连接有一对移动板，每个移动板下方垂直设有挡板，挡板贯穿支撑板且延伸至支撑板下方，挡板底部设有挡块，两个挡块相向设置，支撑板上开设有供挡板沿光轴移动的通槽，每个移动板的顶部设有齿条，两根齿条相向设置且共同啮合连接有齿轮，齿轮底部设有转轴，转轴通过轴承座与支撑板连接，光轴其中一端的支撑板上设有限位机构。该脱胶装置通过齿轮带动挡块对晶拖进行夹紧从而利于晶拖与晶片分离，提高分离的稳定性，避免晶片破碎。
- 脱胶装置
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