专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]生产集成电路时由高纯铜电镀形成导体结构的方法-CN00802937.7有效
  • H·梅伊尔;A·赛斯 - 阿托特德国有限公司
  • 2000-01-11 - 2004-02-04 - H01L21/768
  • 本发明涉及在生产集成电路时在半导体基底(晶片)1的表面上由高纯铜电镀形成导体结构的方法,该半导体基底的表面具有一些凹穴2。该方法包括下列方法步骤:a.在具有凹穴2的半导体基底1的表面上涂以全表面基础金属层,以获得足以进行电解淀积的导电性;b.采用电解金属淀积法,通过将该半导体基底与铜淀积浴接触,在该基础金属层上全表面淀积均匀层厚的铜层3,该铜淀积浴包含至少一种铜离子源、至少一种用以控制该铜层物理-机械性能的添加剂化合物以及Fe(II)和/或Fe(III)化合物,和在该半导体基底和尺寸稳定的、不溶于淀积浴并与其接触的反电极之间施加电压,使电流在该半导体基底1和反电极之间流通;c.将该铜层3结构化。
  • 生产集成电路高纯电镀形成导体结构方法
  • [发明专利]电解沉积出金属层的方法和装置-CN95107031.2无效
  • R·舒马赫;W·迈尔;W·达姆斯;R·施奈德 - 阿托特德国有限公司
  • 1995-06-20 - 2003-09-24 - C25D5/00
  • 为了电解沉积出具有特定物理机械特性的均匀金属层,尤其是铜层,将不使用可溶解的阳极,这是因为它的几何形状会随着电解而改变,而且它的电场在小电镀室中的分布,也将因此而产生持续的变化。为了解决上述问题,提出一种方法,其中,添加在沉积溶液中的氧化还原体系将会在电解的同时,于不溶解的阳极上被转化掉。这里所形成的化合物将从一个含有被镀金属的池子的小隔间中溶出新的金属离子,以便来补充溶液中因电解而被取走的金属离子。本发明提供一种方法,其中,它的添加化合物不被分解,不同于目前技术所使用的化合物。
  • 电解沉积金属方法装置
  • [发明专利]用于产生电解金属电镀电流脉冲的方法及电路结构-CN96199166.6无效
  • 埃戈·休伯 - 阿托特德国有限公司
  • 1996-09-27 - 2002-10-23 - H03K5/003
  • 本发明涉及产生用于电镀的、周期性重复的短暂单极性或双极性脉冲状电流IG、IE的方法及用于电镀的电路结构,通过它可产生这种脉冲状电流IG、IE。这种电镀方法被称为脉冲电镀法。根据本发明,在由电解槽直流电流源2及由电镀槽4形成的槽电阻RB组成的电镀直流电流电路5中串联了一个电流互感器1的次级线圈6。互感器的初级线圈7具有的圈数多于次级线圈的圈数。对初级线圈供给高电压及相对低电流的脉冲。次级的大脉冲电流暂时地补偿了电镀直流电流。补偿值可达电镀电流的多倍,由此形成具有大幅值的去电镀层脉冲。电容器10通过充电及放电引导补偿电流。通过本发明可避免在脉冲电镀中必须使用公知的大电流电子开关,它们由于电流损耗大其工作不经济。
  • 用于产生电解金属电镀电流脉冲方法电路结构
  • [发明专利]接触元件-CN99809693.8有效
  • 彼得·朗海因里赫 - 阿托特德国有限公司
  • 1999-07-13 - 2001-09-26 - C25D17/00
  • 用夹子形的触点接通机构(6,7)难以将大的处理电流传输到印刷电路板L的表面上。为了解决这个问题,介绍一种设置在触点接通机构6,7上的接触元件15,16,它们具有一个或多个接触面26。其中接触面26的形状做成这样,使得在大电流从紧压在印刷电路板材料(L)的导电表面的触点接通面上的接触元件(15,16)传输到与触点接通表面邻接的区域内的导电表面上时对导电表面不产生损伤。
  • 接触元件

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