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[发明专利]表面织构和固体涂层协同降低钽钨合金摩擦系数的方法-CN202310450596.4在审
发明人：江亮;展东洲;赵齐戬;彭武茂;王攀;孙鹏飞;钱林茂 -专利权人：西南交通大学;中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C16/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种表面织构和固体涂层协同降低钽钨合金摩擦系数的方法，其中，表面织构选自平行沟槽、网状沟槽、V型沟槽、圆形凹坑、椭圆形凹坑、圆环凹坑、矩形凹坑、菱形凹坑、多边形凹坑中的一种或多种，表面织构尺寸为微米级，固体涂层选自聚四氟乙烯、聚醚醚酮、二硫化钼、二硫化钨、石墨、石墨烯、类金刚石中的一种或多种。本发明针对某些应用场景中钽钨合金活动部件摩擦力过大的难题，利用表面织构和固体涂层的协同作用，在干摩擦条件下，将摩擦系数降低1个数量级，有效改善钽钨合金部件的使役性能。
表面固体涂层协同降低合金摩擦系数方法

[发明专利]一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置-CN201910236785.5有效
发明人：江亮;钱林茂;陈宇山;刘进伟;邓昌邦 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01Q60/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其包括：腔体上盖、激光头高度微调机构、石英玻璃、玻璃上压盖、用于连接电动转台的密封法兰、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头、用于放置样品的真空腔体、用于固定腔体上盖的压盖固定块、用于翻转腔体上盖的翻盖把手、用于连接腔体上盖翻转支架的连接块、样品载动台和样品载动支座。该装置解决了现有技术中的缺陷，能够有效调节激光头高度，适配多种不同聚焦高度和不同类型的激光头，同时能够优化光窗结构，扩大腔体内部空间，并且对探针切换机构进行改造，能够搭载多种具有不同扫描探测功能的探针。
一种激光头聚焦高度可调探针扫描探测装置

[发明专利]一种晶粒梯度细化的高完整性金属材料表面加工方法-CN202311029650.4在审
发明人：白锦轩;许志伟;钱林茂;韩艳君 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-08-16 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B23P9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶粒梯度细化的高完整性金属材料表面加工方法，属于金属表面强化技术领域，包括以下步骤：步骤S1，获取激光能量密度与待加工材料激光影响层厚度的关联关系；步骤S2，确定激光辅助微细铣削工艺及加工参数；步骤S3，高质量表面以及金属表面晶粒细化且尺寸呈梯度分布特征的实现。通过本发明中的方法，有效提高了金属表面加工的加工效率，能够快速高效的完成待加工材料加工表面晶粒细化。并且，通过本发明中的方法，激光辐照与铣削加工相结合，在实现高完整性、高质量加工表面的同时，还可以对加工表面晶粒进行梯度细化，使加工表面具有厚度大、晶粒尺寸小并且分布均匀有序的晶粒细化层。
一种晶粒梯度细化完整性金属材料表面加工方法

[发明专利]一种具有粗细交错正弦结构的高效微混合器及其制备方法-CN202310682228.2在审
发明人：余丙军;陈婷婷;林宇;刘仁星;崔立聪;何旺;钱林茂 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B01F33/301 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有粗细交错正弦结构的高效微混合器及其制备方法，通过刻划、刻蚀、等离子处理、封装，形成具有粗细交错正弦结构的微混合器，该微混合器具有开口宽度不一的微通道，微通道呈正弦结构状，微通道的上开口大于底部宽度，微通道的纵向截面包括v型截面和上大下小的梯形截面；根据设计要求，微通道的纵向截面由v型截面和梯形截面相互交替过渡渐变，对应的深度也对应相互交替过渡渐变，从而形成粗细交错正弦结构。本发明制备方法简单易操作，制备成本低，在制备过程中控制划痕过程中非晶的形成，制得的三维正弦微混合器能加强液体对流，从而大幅提升混合效率，可有效提升微流控芯片的应用性能，可广泛用于加工微流控芯片的生产。
一种具有粗细交错正弦结构高效混合器及其制备方法

[发明专利]一种两相结构复合材料的脆塑转变深度获取方法-CN202310550364.6在审
发明人：秦娜;吴志琴;钱林茂;余丙军;王战江;罗迪文 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01B11/22 文献下载
摘要：本发明公开的一种两相结构复合材料的脆塑转变深度获取方法，通过金相显微镜拍摄划痕表面形貌显微图，由划痕表面形貌显微图确定划痕中的第一个小凹坑位置以及第一个大凹坑位置，然后测量标尺分别测量两个位置与划痕切入位置的距离，通过白光干涉仪拍摄划痕沟槽得到三维形貌。根据所述测量标尺获得的距离确定脆塑转变区的起点(第一个小凹坑)和终点(第一个大凹坑位置)，取该位置处的划痕横截面轮廓曲线并测量沟槽深度。本发明以显微镜拍摄的显微形貌和白光干涉仪拍摄得到的三维形貌相结合来准确判断材料发生脆塑转变的位置并测量深度，能够避免因两相结构复合材料本身缺陷或表面杂质灰尘带来的干扰，有效的提高测试结果的精度。
一种两相结构复合材料转变深度获取方法

[发明专利]一种用于加工超光滑低损伤钽钨合金表面的抛光液及应用-CN202310421268.1在审
发明人：赵齐戬;江亮;田川东;钱林茂;郑佳昕;孙鹏飞 -专利权人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所;西南交通大学
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： C23F3/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于加工超光滑低损伤钽钨合金表面的抛光液及应用，抛光液包括以下组分：0.01～40wt％的研磨颗粒、0～10wt％的氧化剂、0.01～1wt％的阳离子、0.01～1wt％的pH缓冲剂，其余为超纯水，以及少量pH值调节剂；所述pH值调节剂用于将抛光液的pH值调节为2.5～5；wt％表示质量百分比。本发明的抛光液利用氧化剂调控钽、钨的电化学腐蚀，特别是钽、钨之间的电偶腐蚀，实现高表面质量；利用阳离子调控钽钨合金表面与研磨颗粒之间的相互作用，提高材料去除速率，最终实现超光滑低损伤钽钨合金表面，表面粗糙度达到亚纳米级，帮助提升钽钨合金部件的使役性能。
一种用于加工光滑损伤合金表面抛光应用

[发明专利]基于主动投影技术的激光加工检测一体化设备及检测方法-CN202310854015.3在审
发明人：白锦轩;徐爽;钱林茂;韩艳君 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-07-13 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明公开了基于主动投影技术的激光加工检测一体化设备及检测方法，包括防护房，在防护房的内部设置有激光加工装置，在防护房的侧壁上设置有相机；激光加工装置包括底座，在底座的上方设置有工作台，在工作台上设置有激光发生器以及振镜；激光发生器与振镜通过光路系统连接；在防护房的内部还设置有结构光投影仪，结构光投影仪设置在防护房侧壁的上端。通过本发明中的装置，减小了光路的体积，节约了激光加工装置所占用的空间。通过设置相机和结构光投影仪对加工的工件进行检测，通过检测结果得出工件的加工是否存在误差，根据误差信息进行调整和纠正，达到辅助激光加工装置对工件加工的目的，保证了加工质量以及加工效率。
基于主动投影技术激光加工检测一体化设备方法

[发明专利]一种金属微纳结构的制备及转印方法-CN202310327573.4在审
发明人：余丙军;崔立聪;陈婷婷;朱杰;甘寅锴;钱林茂 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属微纳结构的制备及转印方法，包括以下步骤：S1、采用旋涂设备在洁净的单晶硅表面涂覆形成掩膜层；S2、采用机械刻划设备在经步骤S1处理后的单晶硅表面进行刻划（图案化）；S3、采用混合镀液在单晶硅表面进行金属定向沉积，沉积完成后对掩膜表面进行清洗，去除多余镀液；S4、采用液态PDMS浇铸于单晶硅表面，再加热固化；固化完成后与单晶硅分离，获得高质量的金属微纳结构。该方法能够实现PDMS表面任意二维结构的加工，操作较为简单，成本较低；同时，本方法的加工过程在常温常压下进行，加工后的金属镀液易处理；此外，本方法制备的图案化单晶硅可作为模板重复使用，且能保证金属微纳结构较高的重现性。
一种金属结构制备方法

[发明专利]一种复杂曲面超声振动辅助CMP的超声装置-CN202310175742.7在审
发明人：秦娜;李奎;江亮;钱林茂;王战江;刘建涛;韩艳君 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明公开的一种复杂曲面超声振动辅助CMP的超声装置，包括：连接外壳、前盖板、超声振子、散热装置，所述前盖板、连接外壳、散热装置依次连接，所述超声振子连接在所述前盖板末端，所述超声振子与散热装置均与外接动力源的转轴连接，所述前盖板为三段变幅杆结构，所述三段变幅杆结构的中间段盖体是母线为指数函数的圆台结构，所述中间段盖体两端连接有柱状结构与之共同构成三段变幅杆结构，本发明选用指数型结构可以在获得足够振幅的情况下保证频率获得最小的内应力，满足前述两点后充分保证了系统的稳定性，并且取得了最短的轴向尺寸，与现有技术中多级变幅杆相比稳定性更佳。
一种复杂曲面超声振动辅助 cmp 装置

[发明专利]宽频带、抗冲击张拉振动加速度传感器及使用方法-CN202211321669.1有效
发明人：杨婷婷;何昌留;房嘉豪;蒲晓波;钱林茂;陈良武;高利斌 -专利权人：西南交通大学;中铁工程装备集团技术服务有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明涉及传感器技术领域，涉及一种宽频带、抗冲击张拉振动加速度传感器及使用方法，其包括基本骨架、预应力调节模块和摩擦电摩擦块，基本骨架位于一外壳内，基本骨架包括顶部质量块、基底、四根外弦和四根内弦；预应力调节模块包括螺栓、齿轮螺母和同步带；摩擦电摩擦块包括两块摩擦电极；两块摩擦电极分别贴在顶部质量块的侧边处和外壳的内侧。本发明具有双工作模式，能较佳地拓宽频带，具有较佳的抗冲击、抗破坏的性能。
宽频冲击振动加速度传感器使用方法

[发明专利]一种曲率可调轮式气囊抛光工具-CN202310324980.X在审
发明人：韩艳君;常迅川;张海阳;陈磊;江亮;钱林茂 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B24B41/04 文献下载
摘要：本发明公开一种曲率可调轮式气囊抛光工具，包括刀柄、气囊夹持部和位移机构。所述刀柄中心开设有气道，下端开设花键。所述气囊夹持部包括上夹持部和下夹持部，所述上夹持部设有上支撑板和上压板，二者配合共同夹紧气囊上端；所述下夹持部设有下支撑板和下压板，二者配合共同夹紧气囊下端；所述下支撑板开设花键槽，通过与所述刀柄花键配合连接气囊上夹持部和下夹持部。所述下支撑板连接所述位移机构。所述位移机构通过调节上夹持部和下夹持部之间的距离实现气囊曲率调整。所述下压板连接密封端盖，共同实现气囊整体密封。本发明解决了现有球形气囊存在零速区抛光效果差和现有轮式气囊曲率不可调等问题。
一种曲率可调轮式气囊抛光工具

[发明专利]一种用于镍基单晶高温合金各向异性等速去除的抛光液-CN202310107665.1在审
发明人：陈磊;魏鑫;陈香;石炜;钱林茂;程力;刘阳钦 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23F3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于镍基单晶高温合金各向异性等速去除的抛光液，包括以下重量份原料：0.01～40wt％的研磨颗粒、0.01～10wt％的金属氧化剂和0.01～10wt％的金属络合剂，其余组分为去离子水和pH值调节剂，抛光液的pH值为2～10；研磨颗粒包括金刚石材料和/或金属氧化物。本发明公开的用于镍基单晶高温合金各向异性等速去除的抛光液，可以通过调整氧化剂浓度和pH值对镍基单晶高温合金不同晶面的各向异性进行等速去除，并且使得镍基单晶高温合金获得亚纳米级表面粗糙度和趋近于零的亚表面损伤。
一种用于镍基单晶高温合金各向异性等速去除抛光

[发明专利]一种晶圆清洗装置、系统及系统的工作方法-CN202310046898.5在审
发明人：杨铸;钱林茂;雒春升;石鹏飞 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗装置、系统及系统的工作方法，装置包括用于真空吸盘，真空吸盘上方设有一体式的清洗执行机构，清洗执行机构一端连接有驱动机构；清洗执行机构包括刷头，刷头套设在传动转轴上，传动转轴内设有至少一路清洗液管路，清洗液管路连接有管路支撑轴，清洗液管路的一端沿管路支撑轴的长度方向往外延伸，清洗液管路的另一端靠设有多个出液口，传动转轴和刷头相对于出液口的位置设有多个导液孔。本发明的结构更加紧凑，控制更加便捷，提高了晶圆的刷洗效率。通过刷头结构的设计使得刷头旋转过程中输液管路不会随着刷头一起进行旋转，从而清洗液不会伴随着刷头的旋转运动产生飞溅和浪费。
一种清洗装置系统工作方法

[发明专利]一种基于柔性波导阵列进行指尖触觉感知的假肢手指-CN202310057168.5在审
发明人：杨婷婷;周健;钱林茂 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： A61F2/58 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于柔性波导阵列进行指尖触觉感知的假肢手指，包括相互扣接的指身和指尖；所述指尖上嵌入有由力敏单元和温敏单元组成的传感器；所述力敏单元设置柔性波导，两两垂直交叉，且在柔性波导交叉处接合有触头；所述温敏单元设置于力敏单元的外层，表面嵌入MXene温度敏感层；本发明的指尖通过柔性波导阵列封装结构实现了2*2的准分布式触觉力检测，能采集到更多的指尖触觉感知信息，实现准分布式的指尖按压传感检测，并在此基础上实现对物体轮廓、硬度、滑移、温度的主动感知以及对触摸轨迹识别、拖动物体、简单比较物体粗糙度等触觉感知，相较于现有技术中单一检测一个触觉力的形式，触觉感知能力更强。
一种基于柔性波导阵列进行指尖触觉感知假肢手指

[发明专利]一种用于铜/镍微结构平坦化的抛光液及其应用-CN202310123308.4在审
发明人：江亮;孙茂;钱林茂;王劼;李昕;吴渊;陈宇山;郑佳昕;张永顺 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C09K3/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于铜/镍微结构平坦化的抛光液及其应用，抛光液包括以下组分：0.01～40wt％的磨粒、0～10wt％的氧化剂、0～10wt％的络合剂、0～10wt％的复配缓蚀剂、水及少量pH值调节剂，其中，氧化剂选自过硫酸钠、过硫酸钾、过硫酸铵中的至少一种，复配缓蚀剂由唑类杂环化合物和阴离子表面活性剂组成。本发明通过调控氧化剂浓度，实现铜、镍等速去除；通过调控电化学腐蚀，实现铜、镍高表面质量。进一步，将化学机械抛光与机械研磨有机结合，应用于基于电化学沉积的微尺度3D打印中的平坦化步骤，可以有效克服现有磨削、研磨技术表面精度有待提升的问题，实现铜/镍微结构高质高效平坦化，获得良好的平坦度和表面质量，提升微机电系统的制造精度。
一种用于微结构平坦抛光及其应用

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