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[发明专利]一种高阻值多晶硅电阻的制造方法-CN202310582848.9在审
发明人： 郑书红;王乐平 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L23/64 文献下载
摘要：本发明提供一种高阻值多晶硅电阻的制造方法，包括提供半导体衬底，该半导体衬底包括PMOS区、NMOS区和多晶硅高阻区，在半导体衬底的多晶硅高阻区内形成高阻值多晶硅；在半导体衬底表面沉积牺牲氧化层；刻蚀去除NMOS区内预定形成源/漏区的区域表面的牺牲氧化层，然后进行离子注入；采用低功率过刻工艺去除剩余的牺牲氧化层；在半导体衬底表面沉积应力刻蚀阻挡层，并进行应力调整。本发明在高阻值多晶硅形成时，通过减少高阻值多晶硅表面的损伤，同时调整应力，获得了电阻均匀性极好的高阻值多晶硅，解决了高阻值多晶硅电阻面内波动较大的问题，改善了高阻值多晶硅电阻的均匀性，提高了器件良率。
一种阻值多晶电阻制造方法

[发明专利]一种含有全氟主链及交联结构的阴离子交换树脂和离子交换膜及其制备方法-CN202310301205.2在审
发明人：唐浩林;郑书红;赵胜球;王乐天 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C08F8/44 文献下载
摘要：本发明属于阴离子交换膜燃料电池领域，具体涉及一种含有全氟主链及交联结构的阴离子交换树脂和离子交换膜以及制备方法。该阴离子交换树脂是以全氟磺酸树脂为原料，通过与液氨反应生成全氟磺酰亚胺树脂，进一步将含有环氧基团和季铵基团的单体接枝到含有磺酰亚胺的树脂，后经高温处理得到含有交联结构的全氟阴离子交换树脂。该含有全氟主链及交联结构的阴离子交换树脂具有良好的溶解性，可以溶于有机溶剂进行流延成膜，所得含有全氟主链及交联结构的阴离子交换膜含有较好的机械强度、化学稳定性以及较高的离子电导率。
一种含有全氟主链交联结构阴离子交换树脂离子交换及其制备方法

[发明专利]一种复合纳米结构氧还原催化剂及其制备方法-CN202110722918.7有效
发明人：张锐明;王锐;夏雁楠;郑书红;谭洪云 -专利权人：广东省武理工氢能产业技术研究院
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： H01M4/88 文献下载
摘要：本发明涉及一种复合纳米结构氧还原催化剂及其制备方法。所述复合纳米结构氧还原催化剂的制备方法包括以下步骤：首先配置适量特定浓度的氯化血红素碱性溶液，取特定大小块状的商业用的聚氨酯海绵完全浸没于上述溶液中；采用超声方法使前驱体均匀分布于海绵，在特定温度下搅拌蒸干溶剂；将吸附有氯化血红素的海绵置于石英管式炉中热处理原位生长Fe2O3纳米块和碳纳米管，得到最终的氧还原催化剂材料。本发明制备的Fe2O3纳米块和碳纳米管修饰海绵碳复合纳米结构氧还原催化剂可用作燃料电池阴极和金属空气电池氧电极，方法简单、成本较低、易于大批量制备，与商业化的贵金属相比，具有相媲美的氧还原催化活性和更优异的耐久性。
一种复合纳米结构还原催化剂及其制备方法

[发明专利]一种提高MTP编程能力的工艺方法-CN202210998952.1在审
发明人：王乐平;隋建国;郑书红;尤鸿朴;康轶瑶 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： H01L21/8246 文献下载
摘要：本发明提供一种提高MTP编程能力的工艺方法，包括：提供具有MTP单元区域和NMOS区域的衬底，在衬底表面形成栅极；采用第一掩膜层覆盖所述NMOS区域，对MTP单元区域进行离子注入，形成MTP注入区和MTP源漏区，去除第一掩膜层；在所述栅极的两侧形成侧墙；采用第二掩膜层覆盖所述MTP单元区域，对NMOS区域进行离子注入，形成LDD斜打注入区和NMOS源漏区。本发明的工艺方法仅采用了两次掩膜，进行两次光刻，使工艺流程相对简化，成本降低，并且在LDD斜打注入时对MTP单元区域进行了掩膜保护，避免LDD斜打注入对MTP单元编程能力的影响，保证MTP单元的编程能力在较高水平。
一种提高 mtp 编程能力工艺方法

[发明专利]一种碲掺杂氧还原催化剂及其制备方法-CN202110769806.7有效
发明人：张锐明;王锐;夏雁楠;郑书红;谭洪云 -专利权人：广东省武理工氢能产业技术研究院
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01M4/90 文献下载
摘要：本发明涉及一种碲掺杂氧还原催化剂及其制备方法，其中，碲掺杂氧还原催化剂碲掺杂氧还原催化剂是由Fe‑N‑C纳米颗粒结构复合Te元素组成。这样，在整个氧还原催化剂结构中，Fe‑N‑C作为常见的氧还原催化活性位点，而掺Te后多孔纳米颗粒出现更小的尺寸，同时能帮助捕获更多的N元素和更大比例的吡啶氮，促进电子传导和氧还原活性。上述碲掺杂氧还原催化剂的制备原理为：以DMF溶液和THF溶液形成的胶束为结构导向剂，Te纳米线作为Te源、多巴胺和氯化血红素在两相胶束界面聚合组装，经惰性气氛下热解得到。经额外Te掺杂后，不改变原有的多孔纳米颗粒结构，尺寸较为均一，而且提高最终样品中N元素的含量和其中吡啶N的占比，提升材料的氧还原催化活性。
一种掺杂还原催化剂及其制备方法

[发明专利]OTP存储单元的制作方法及OTP存储单元结构-CN202111151603.8在审
发明人：王乐平;郑书红;尤鸿朴 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： H01L27/112 文献下载
摘要：本申请涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及OTP存储单元的制作方法及OTP存储单元结构。OTP存储单元的制作方法包括以下步骤：提供半导体基底，半导体基底上包括OTP区和其他区域，OTP区位置处的半导体基底上形成有选择栅和浮栅；制作金属硅化物阻挡层，通过光刻工艺使得金属硅化物阻挡层覆盖在其他区域上；沉积BPSG层，使得BPSG层覆盖OTP区的选择栅、浮栅和外露的半导体基底表面上，以及其他区域的金属硅化物阻挡层表面上；通过热回流工艺，使得BPSG层进行回流平坦化；对回流平坦化后的BPSG层进行湿法清洗；制作TEOS层，使得TEOS层覆盖再BPSG层上。本申请提供的一种OTP存储单元的制作方法，可以解决相关技术中对金属硅化物阻挡层的光刻工艺要求高，难度大的问题。
otp 存储单元制作方法结构

[发明专利]一种纳米线网络结构催化剂及其自组装制备方法-CN202110587754.1在审
发明人：张锐明;王锐;谭洪云;郑书红;夏雁楠 -专利权人：广东省武理工氢能产业技术研究院
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： B01J27/24 文献下载
摘要：本发明公开一种纳米线网络结构催化剂及其自组装制备方法，制备时，对线状生物质纤维素在尿素碱溶液中进行活化使其表面修饰上氨基；纤维素表面的氨基吸附溶液中的钴离子进行配位；再与溶液中的2‑甲基咪唑小分子进行组装，在纤维素表面形成一层MOF结构。热解MOF包覆的线状纤维素得到同时具有高氧还原/氧析出催化活性与稳定性的纳米线网络结构的Co‑N‑C催化剂。将其装配于锌空电池中展现出出乎意料的循环稳定性。本发明提供的催化剂由直径约40 nm的三维彼此粘连的碳纳米线组成，纳米线表层为高分散、元素均匀分布的Co‑N‑C活性层。它不仅提供了极高的氧还原和氧析出活性，同时具有出色的电化学稳定性。
一种纳米网络结构催化剂及其组装制备方法

[实用新型]一种智能型电网监测系统-CN201721435215.1有效
发明人： 郑书红;包水英;杨小真 -专利权人：厦门可迪电气科技有限公司
申请日： 2017-11-01 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： G01K13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种智能型电网监测系统，包括温度监测装置和数据接收装置，所述温度监测装置通过无线信号连接数据接收装置，所述太阳能充电模块的两端与固定装置连接，所述太阳能充电模块的下端设有可充电锂电池及控制处理回路模块，所述太阳能充电模块和可充电锂电池及控制处理回路模块之间的两端侧面设置有温度传感装置；所述手持APP终端之间通过信号连接无人机采集模块；节点设备温度监测装置可像手表一样直接戴在节点上，可带电安装，同时又不改变电网节点原有结构；可采集实时监测温度、监测期间最高温度记录，降低成本（设备维护成本及系统建造成本）的同时提高效率。
太阳能充电模块温度监测装置可充电锂电池数据接收装置电网监测回路模块控制处理设备维护成本温度传感装置无线信号连接本实用新型采集模块侧面设置带电安装电网节点固定装置节点设备实时监测温度记录系统建造信号连接下端手表终端采集监测

[发明专利]一种硅块表面氮化硅的清洗方法-CN201410527036.5无效
发明人：贾红;郑书红;邱建荣 -专利权人：浙江大学
申请日： 2014-10-09 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： C01B33/037 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅块表面氮化硅的清洗方法。该方法先将有带有氮化硅的硅块投入氢氧化钠反应池内进行碱腐蚀分离；然后对腐蚀好的硅块按照程序清洗，烘箱内烘干。本发明可以对硅块氮化硅进行有效去除，并具有循环性，相比于物理机械抛除等，其具有节省人力物力，对硅料体积无要求，硅料耗损小等优点。
一种表面氮化清洗方法

[发明专利]一种四氟钇钠碘氧铋复合太阳能薄膜的制备方法-CN201410527001.1有效
发明人： 郑书红;贾红;邱建荣;刘小峰 -专利权人：浙江大学
申请日： 2014-10-09 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了四氟钇钠碘铋复合太阳能薄膜（NaYF₄:Yb-Er/BiIO）的制备方法。该方法是在导电玻璃衬底的一个侧面沉积有一层掺镱掺铥四氟钇钠上转换薄膜（NaYF₄:Yb-Er），然后在NaYF₄:Yb-Er薄膜自组装一层碘氧铋薄膜。制备的复合薄膜均匀致密，是对近红外光有响应的复合太阳能薄膜。本发明工艺方法简单、原料易得、成本低，能耗低，无毒，可以在常温常压压操作，有希望进行工业化生产。
一种四氟钇钠碘氧铋复合太阳能薄膜制备方法

[发明专利]一种硅片表面钨铁金属离子的清洗方法-CN201410527081.0在审
发明人：贾红;郑书红;邱建荣 -专利权人：浙江大学
申请日： 2014-10-09 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片表面金属钨铁的清洗方法，该方法首先将有金属钨和铁的硅片进行超声清洗，然后用氢氟酸、双氧水和水的混合液进行处理，再依次移入氢氟酸、盐酸和硝酸组成的混合溶液，盐酸，双氧水和水组成的混合液，氨水、双氧水和水组成的混合液以及氢氟酸稀溶液中超声清洗，清洗后冲洗、脱水、烘干。本发明提供的硅片清洗方法，能有效去除硅片表面的金属钨，使不小心被钨或铁污染的硅片，满足工业要求。
一种硅片表面金属离子清洗方法

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