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[发明专利]一种光掩模板保护膜胶印去除的装置及方法-CN201910715989.7有效
发明人： 邬治国;徐飞 -专利权人：常州瑞择微电子科技有限公司
申请日： 2019-08-05 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本发明公开了一种光掩模板保护膜胶印去除的装置及方法，包括移动平台、工作台面、微流体喷头和控制器，移动平台上设置有微流体喷头，移动平台能够带动微流体喷头实现X、Y、Z方向的平移，工作台面用于放置带有保护膜胶印的光掩模板，工作台面位于微流体喷头移动范围的下方。控制器控制移动平台使微流体喷头移动至保护膜胶印处，开启药剂泵与真空泵，控制器根据激光测距仪的数据调整微流体喷头的竖直距离，调控真空泵的转速使喷嘴槽内产生的虹吸效应，移动并对保护膜胶印进行清洗。本发明的微流体喷头在喷嘴槽内形成流动的“液带”，可以持续喷涂新鲜的药剂，同时可以将清洗后的废液及时带走，大大缩短了清洗工艺的时间，高效省时。
一种模板保护膜胶印去除装置方法

[发明专利]一种光掩模边缘和侧面光刻胶的去除装置及方法-CN202010741764.1有效
发明人：徐飞;邬治国;沈健 -专利权人：常州瑞择微电子科技有限公司
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明公开一种光掩模边缘和侧面光刻胶的去除装置及方法，涉及光掩模技术领域，包括依次设置于光掩模边缘的第一喷头和第二喷头，第一喷头和第二喷头沿光掩模边缘线性移动；第一喷头上设置有第一去胶溶剂喷嘴和第一真空吸入口，第一去胶溶剂喷嘴垂直设置于光掩模的侧面上部，第一真空吸入口垂直设置于光掩模的背面边缘；第二去胶溶剂喷嘴垂直设置于光掩模的正面边缘，第二真空吸入口垂直设置于光掩模的侧面；第一去胶溶剂喷嘴和第二去胶溶剂喷嘴均通过进液管连接有供液组件，第一真空吸入口和第二真空吸入口均通过真空管连接有真空系统。本发明同时清洗光掩模侧面残留光刻胶和边缘光刻胶，且在清洗过程中不会影响到其他区域的光刻胶。
一种光掩模边缘侧面光刻去除装置方法

[发明专利]高浓度臭氧水检测装置及方法-CN202011013543.9有效
发明人：徐飞;顾建波;沈健;邬治国 -专利权人：常州瑞择微电子科技有限公司
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G01N21/33 文献下载
摘要：本发明公开一种高浓度臭氧水检测装置及方法，装置包括：流量控制器、脱气装置、混合件、第一调压阀、第二调压阀、第三调压阀以及流量计，混合件第一端设有纯水通道，第二端设有与纯水通道相对设置且相互连通的臭氧水通道，臭氧水通道的直径小于纯水通道直径，混合件上还设有与纯水通道连通以供混合液体流出的混合液通道，第一调压阀、脱气装置和流量控制器依次连接，且流量控制器连接于纯水通道上，第二调压阀连接于臭氧水通道上，流量计连接于混合液通道上，第三调压阀连接于流量计上。如此设置，能够排除臭氧水中气泡对检测的干扰，提高臭氧水浓度检测的准确性，并且由于无需分离臭氧水的中的气泡，能够对臭氧水进行实时的检测，无滞后性。
浓度臭氧检测装置方法

[发明专利]一种高效植钉点焊机及其工作方法-CN202011066377.9有效
发明人：段克俭;郑磊;邬治国 -专利权人：安徽方圆压力容器制造有限责任公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B23K31/02 文献下载
摘要：本发明公开一种高效植钉点焊机及其工作方法，本发明通过将待植钉工件放在置物板上，将钉子依次从堆钉腔顶部放入，最先放入的钉子通过堆钉腔进入出钉腔内，而后开启第一气缸，第一气缸活塞杆推动推钉块，将钉子从出钉腔内推出至两个夹钉条之间，而后推钉块收回，继续重复上述步骤将后续的定子推至两个夹钉条之间，通过以上结构设置，使得该植钉点焊机在植钉点焊时不需要操作人员参与，可以完成钉子的储存，通过自动的出钉将钉子推动至指定位置，同时通过夹钉条的设置，使得在植钉点焊过程中无需操作人员手扶钉子，避免出现点焊过程中操作人员被焊渣烫伤的情况，同时夹钉条可以满足不同直径的钉子的夹持，实用性强。
一种高效点焊及其工作方法

[发明专利]一种压力罐-CN202010926494.1有效
发明人：徐飞;邬治国;沈健;华卫群;尤春 -专利权人：常州瑞择微电子科技有限公司;无锡中微掩模电子有限公司
申请日： 2020-09-07 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： F16J12/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种压力罐，涉及高压储存设备技术领域，包括：压力罐本体和加/泄压设备，压力罐本体包括罐体、内桶体和盖体，罐体和内桶体均一端开口，罐体套设于内桶体外且罐体和内桶体的开口同向设置，盖体可拆卸连接于罐体上且能够将内桶体和罐体密封，加/泄压设备的加/泄压端能够向内桶体和/或罐体内加压或泄压；压力罐本体上还设置有进液口和出液口，内桶体为耐腐蚀材料制成，罐体为耐高压材料制成，本发明提供的提高压力罐能够所储存药剂的洁净度以及延长压力罐的使用寿命。
一种压力

[实用新型]一种液化天然气气瓶分配器-CN202022207716.2有效
发明人：杨弋远;邬治国;徐林 -专利权人：安徽方圆压力容器制造有限责任公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： F16L41/03 文献下载
摘要：本实用新型公开一种液化天然气气瓶分配器，包括分配器本体，分配器本体为圆形腔体结构，分配器本体上开设有若干充气孔，充气孔上安装有充气管，分配器本体周面开设有若干排气孔，排气孔上安装有排气管，分配器本体内腔为空腔结构。本实用新型液化天然气通过集气管的引导通过集气孔进入集气壳内，进而通过若干充气管的引导通过充气孔进入分配器主体内，进入分配器主体内的液化天然气通过排气管排出，进行液化天然气分配，通过以上结构，该天然气气瓶分配器圆形结构相较于常规长方形分配器体积缩小的同时有效保证了排气孔的数量，不影响液化天然气的分配，通过若干充气管的设计有效增加该液化天然气气瓶分配器的气体通过。
一种液化天然气分配器

[实用新型]一种LNG气瓶气压紧固装置-CN202022209791.2有效
发明人： 邬治国;邬登国;段克俭 -专利权人：安徽方圆压力容器制造有限责任公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： G01M3/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种LNG气瓶气压紧固装置，涉及到气压紧固装置领域，包括第一紧固环和第二紧固环，所述第一紧固环的两端周侧分别固定连接有两个第一固定块和两个第二固定块，所述第二紧固环的两端周侧分别固定连接有连接转块和两个卡接块。本实用新型结构合理，转动活接螺母时，活接螺母会挤压卡接块并带动第二紧固环向第一紧固环靠近，直至使得第一紧固环和第二紧固环锁紧，从而可对分布器的各个通道端口进行封堵，操作简单高效、安全稳固，通过橡胶垫的设置，可在紧固锁紧时对分配器起到保护作用，避免紧固力度过大而损坏分布器，并且也能够起到密封各孔口不泄漏的作用，提高了装置紧固时的气密性。
一种 lng 气压紧固装置

[实用新型]一种液化天然气气瓶固定座-CN202022219178.9有效
发明人：郑磊;邬登国;邬治国 -专利权人：安徽方圆压力容器制造有限责任公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： F17C13/08 文献下载
摘要：本实用新型公开一种液化天然气气瓶固定座，本实用新型通过将液化天然气气瓶放在环形套内，液化天然气气瓶底部与底座顶部相接触，转动第二转把，第二转把带动第二丝杆转动，第二丝杆配合第二丝杆套移动，导向杆沿导向套移动，进而三个弧形夹套相向移动，三个弧形夹套将液化天然气气瓶表面夹持，通过以上结构设置，使得该液化天然气气瓶固定座可以满足对不同直径的液化天然气气瓶进行固定，转动第一转把，第一转把带动第一丝杆转动，第一丝杆配合第一丝杆套旋转升降，滑杆配合滑杆套带动环形套升降，进而调整弧形夹套夹持液化天然气气瓶的高度，通过以上结构设置，可以调整对液化天然气气瓶的夹持位置，实用性强。
一种液化天然气固定

[发明专利]一种光掩模湿法工艺卡盘-CN202010729016.1有效
发明人：徐飞;邬治国;沈健;华卫群;尤春;刘维维 -专利权人：常州瑞择微电子科技有限公司;无锡中微掩模电子有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种光掩模湿法工艺卡盘，涉及微电子制造领域，包括卡盘本体，所述卡盘本体底部固定连接有卡盘连接件，所述卡盘连接件与旋转电机的旋转轴固定连接；所述旋转电机上安装有马达盖本体，所述马达盖本体套设于所述卡盘连接件上，所述马达盖本体与所述卡盘本体之间设置有卡盘防水罩，所述卡盘防水罩套设于所述卡盘连接件上，且所述卡盘防水罩顶部与所述卡盘本体底部固定连接。本发明通过设计优化卡盘底座和马达盖的密封结构，达到防水和防止虹吸效应，避免液体进入马达盖，有效防止旋转电机进水和腐蚀。
一种光掩模湿法工艺卡盘

[发明专利]一种汽车后纵臂加工用输送机构及其工作方法-CN202011061601.5在审
发明人：邬登国;徐林;邬治国 -专利权人：安徽方圆压力容器制造有限责任公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： B65G21/10 文献下载
摘要：本发明公开一种汽车后纵臂加工用输送机构及其工作方法，本发明通过开启第二电机，第二电机输出轴带动第三丝杆转动，第三丝杆配合第二丝杆套带动旋转杆移动，旋转杆带动旋转架沿支撑架转动，两个旋转架上的导向轮分别沿第一旋转输送架、第二旋转输送架底部的导轨滑动，进而通过第一旋转输送架、第二旋转输送架带动两个输送皮带旋转，转动转把，转把通过第一丝杆带动调节块沿导向架升降，进而通过固定座调整衔接辊的高度，通过以上结构设置，可以调整第一旋转输送架、第二旋转输送架的角度，满足不同工况下汽车后纵臂的输送工作，实用性强。
一种汽车后纵臂加工用输送机构及其工作方法

[发明专利]一种大面积光子发生喷头-CN202010678925.7在审
发明人：徐飞;邬治国;沈健 -专利权人：常州瑞择微电子科技有限公司
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明公开一种大面积光子发生喷头，属于紫外光清洗技术领域，包括安装底座、石英腔体、紫外线发射组件及药剂喷淋头，紫外线发射组件外部套设有密封腔体，密封腔体一侧倾斜设置形成喷淋面，石英腔体底部开设出液孔，药剂被喷淋在喷淋面上，经紫外线均匀照射后生成高浓度OH自由基并从出液孔排出。本发明结构简单合理，通过设置密封腔体，可有效避免药剂直接与紫外线发射组件等其他部件接触，而造成的部件腐蚀；通过在密封腔体上设置倾斜喷淋面，可使药剂在喷淋面均匀铺洒，增加紫外线辐照面积，进而提高紫外辐照强度并提高清洗效果，该喷头有利于高浓度OH自由基的产生，实用性强。
一种大面积光子发生喷头

[发明专利]一种制备臭氧水的装置和制备臭氧水的方法-CN201911274387.9在审
发明人：徐飞;沈健;邬治国 -专利权人：常州瑞择微电子科技有限公司
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： B01F3/04 文献下载
摘要：本发明涉及臭氧水制备技术领域，尤其涉及一种制备臭氧水的装置和制备臭氧水的方法。本发明提供的装置，包括臭氧水高压循环混合系统、臭氧水稀释系统和臭氧水消耗补充系统；所述臭氧水高压循环混合系统包括臭氧发生器、混合器、泵和臭氧水压力罐；所述混合器、泵和臭氧水压力罐依次循环连接；所述臭氧发生器与所述混合器连接；所述臭氧水稀释系统和所述臭氧水高压循环混合系统共用所述臭氧水压力罐。该装置可以实现在常温条件下通过循环加压的方式提高臭氧在水中的溶解度和溶解效率，并最终能够制备得到最大浓度为200ppm的臭氧水，再通过臭氧水稀释系统对所述高浓度的臭氧水进行稀释，满足不同浓度臭氧水的输出。
一种制备臭氧装置方法

[发明专利]用于半导体掩膜板涂胶的旋转夹紧卡盘-CN201810917331.X在审
发明人：吴礼杰;邬治国;徐飞 -专利权人：常州瑞择微电子科技有限公司
申请日： 2018-08-13 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： B05C13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于半导体掩膜板涂胶的旋转夹紧卡盘，包括腔体中盖、腔体底板、旋转组件及升降组件，腔体中盖固定在腔体底板上，旋转组件包括旋转卡盘、旋转轴及旋转驱动件，旋转驱动件可通过旋转轴驱动旋转卡盘旋转，升降组件包括升降板、滑动轴及升降驱动件，升降驱动件可通过滑动轴驱动升降板上下移动。该用于半导体掩膜板涂胶的旋转夹紧卡盘通过旋转组件及升降组件的相互配合，能使掩膜板在涂胶时形成稳定气流，从而保证了掩膜板涂胶的均匀性和有效性，大大提高了产品质量，该用于半导体掩膜板涂胶的旋转夹紧卡盘操作简单方便、加工效率较高，得到的产品一致性好，具有推广使用价值。
半导体掩膜板涂胶旋转夹紧卡升降组件旋转组件升降驱动件旋转驱动件腔体底板滑动轴升降板掩膜板腔体涂胶产品一致性旋转轴驱动加工效率上下移动稳定气流旋转卡盘均匀性旋转卡旋转轴盘旋驱动配合保证

[发明专利]高浓度OH自由基发生装置-CN201810175587.8在审
发明人：徐飞;邬治国 -专利权人：常州瑞择微电子科技有限公司
申请日： 2018-03-02 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种高浓度OH自由基发生装置，包括进水管、四氟套、紫外线发射组件及导流栅板，所述四氟套底部具有开口，所述紫外线发射组件为两套，固定在四氟套内，两紫外线发射组件之间通过导流栅板隔开，两紫外线发射组件与导流栅板之间形成若干空腔，导流栅板底端开设有若干通孔，所述通孔一端分别与所述空腔连通，通孔另一端与四氟套底部的开口连通，所述进水管与空腔连通。特殊设计的发生装置不仅能将双氧水“压扁”，以提高紫外光与双氧水的接触面积，照射反应后喷到待清洗物上进行照射清洗，同时还不断照射待清洗物，大大增加了OH自由基的产生，从而大幅提高了清洗的效率和质量，结构简单可靠，使用方便，具有较好的市场前景。
紫外线发射导流栅板四氟套发生装置通孔双氧水照射待清洗物空腔连通进水管清洗开口紫外光底端隔开空腔两套压扁连通

[发明专利]一种基于步进电机的流量控制阀伺服机构及其控制方法-CN201480033465.5有效
发明人：金海涛;徐飞;邬治国;金辉 -专利权人：常州瑞择微电子科技有限公司
申请日： 2014-04-16 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： F16K31/04 文献下载
摘要：一种基于步进电机的流量控制阀伺服机构及其控制方法，涉及以使用电装置为特征的流量控制或调节系统，包括步进电机，联轴装置，编码器和控制单元；步进电机的电机轴前端通过联轴装置连接到针阀，步进电机的电机轴尾端连接到编码器；控制单元根据开度编码脉冲数和开度系数，确定针阀的当前开度，并且利用编码器检测步进电机的失步，判断针阀的行程终点；当针阀旋转到完全关闭位置时，控制单元自动校正针阀的开度零点；当针阀旋转到最大开度位置时，控制单元自动修正开度系数。该流量控制阀伺服机构可以实现针阀初始参数的自适应配置，在结构上省略了阀门定位器或行程开关的设置，机械结构简洁紧凑，适用于任何可以使用常规针阀的流量控制系统。
一种基于步进电机流量控制伺服机构及其方法

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