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- [实用新型]电控流量阀-CN201420090347.5有效
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邬治国;金辉
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常州瑞择微电子科技有限公司
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2014-02-28
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2014-08-13
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F16K31/04
- 本实用新型涉及一种电控流量阀,流量阀的进液接口和出液接口分别与进液管和出液管连接,所述的出液管上安装有流量计,所述的流量阀安装在电机座上,用于控制流量阀的开合度的电机也安装在电机座上,电机的驱动轴通过连接套与流量阀的阀杆连接,检测电机驱动轴旋转角度的旋转编码器安装在电机上,流量计的信号输出端及旋转编码器的信号输出端分别与控制器的输入/输出端连接,控制器的控制端与电机连接。本实用新型结构简单,能精确控制流量阀开合度,使用维护成本低。
- 流量
- [实用新型]厚膜加热器-CN201420086847.1有效
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邬治国;金辉
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常州瑞择微电子科技有限公司
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2014-02-27
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2014-08-13
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F24H1/10
- 本实用新型涉及一种厚膜加热器,包括厚膜发热盘、设置在厚膜发热盘下部的发热盘压块、设置在厚膜发热盘上部的导热盘以及加热池,所述的发热盘压块与厚膜发热盘相接的表面上设有气槽,发热盘压块上的进气接口和出气接口与气槽相通;由氟塑料制得或具有氟塑料层的加热池设有池盖和导流板,加热池上的导流板贴合在导热盘上,导流板将加热池的空腔分隔成环绕式的液体流道,加热池上设有与液体流道相通的进液接口和出液接口,加热池在出液接口的一侧安装有检测出液温度的第一温度传感器,且第一温度传感器的检测端设置在液体流道内,导热盘上安装有第二温度传感器。本实用新型方便、快速精确控制液体的温度,工作可靠,提高清洗效率,便于维护。
- 加热器
- [实用新型]迷宫加热池-CN201420087668.X有效
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邬治国;于莉
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常州瑞择微电子科技有限公司
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2014-02-27
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2014-08-13
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F24H1/12
- 本实用新型涉及一种迷宫加热池,包括由氟塑料制成或具有氟塑料层的加热池,加热池设有池盖和导流板,导流板将加热池的空腔分隔成沿加热池中心外向旋转并形成螺旋状的液体流道,加热池上设有与液体流道相通的进液接口和出液接口。本实用新型增加了热交换面积,在热交换的接触面上限定了液体的流动方向,可以使液体受热更加充分和均匀,螺旋形的迷宫通道减小了液体流动的阻力,使液体在流动的过程中完成热交换,温升时间短,能提高热效率。
- 迷宫加热
- [发明专利]厚膜加热器-CN201410069227.1有效
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邬治国;金辉
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常州瑞择微电子科技有限公司
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2014-02-27
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2014-05-21
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F24H1/10
- 本发明涉及一种厚膜加热器,包括厚膜发热盘、设置在厚膜发热盘下部的发热盘压块、设置在厚膜发热盘上部的导热盘以及加热池,所述的发热盘压块与厚膜发热盘相接的表面上设有气槽,发热盘压块上的进气接口和出气接口与气槽相通;由氟塑料制得或具有氟塑料层的加热池设有池盖和导流板,加热池上的导流板贴合在导热盘上,导流板将加热池的空腔分隔成环绕式的液体流道,加热池上设有与液体流道相通的进液接口和出液接口,加热池在出液接口的一侧安装有检测出液温度的第一温度传感器,且第一温度传感器的检测端设置在液体流道内,导热盘上安装有第二温度传感器。本发明方便、快速精确控制液体的温度,工作可靠,提高清洗效率,便于维护。
- 加热器
- [实用新型]药剂混合器-CN201220576587.7有效
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金海涛;邬治国;沈健
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常州瑞择微电子科技有限公司
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2012-11-03
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2013-05-15
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B01F5/00
- 本实用新型提出了一种药剂混合器,包括本体和温度探测仪,所述的本体内设置有液路、混合槽和混合液路,所述的混合槽包括两个不同直径的圆柱体腔,所述的较大圆柱体腔与混合液路连通,所述的较小的圆柱体腔与液路连通;所述的液路的个数至少是二,所述的液路与混合槽之间设置有单向阀,所述的单向阀包括四氟弹簧和球体塞,所述的球体塞设置在四氟弹簧上;所述的温度探测仪设置在混合液路的出口处。本实用新型提供了一种混合充分并能随时监控混合药剂温度的药剂混合器。
- 药剂混合器
- [发明专利]药剂混合器-CN201210434002.2有效
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金海涛;邬治国;沈健
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常州瑞择微电子科技有限公司
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2012-11-03
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2013-02-13
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B01F5/00
- 本发明提出了一种药剂混合器,包括本体和温度探测仪,所述的本体内设置有液路、混合槽和混合液路,所述的混合槽包括两个不同直径的圆柱体腔,所述的较大圆柱体腔与混合液路连通,所述的较小的圆柱体腔与液路连通;所述的液路的个数至少是二,所述的液路与混合槽之间设置有单向阀,所述的单向阀包括四氟弹簧和球体塞,所述的球体塞设置在四氟弹簧上;所述的温度探测仪设置在混合液路的出口处。本发明提供了一种混合充分并能随时监控混合药剂温度的药剂混合器。
- 药剂混合器
- [发明专利]一种在线SPM生成系统及其控制方法-CN201210246880.1有效
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金海涛;徐飞;邬治国;沈健
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常州瑞择微电子科技有限公司
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2012-07-16
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2012-10-31
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B08B3/02
- 一种在线SPM生成系统及其控制方法,涉及专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备,尤其适用于集成电路工艺中光致抗蚀材料的剥离剂的处理,包括H2SO4供给单元,H2O2供给单元,SPM混合喷淋单元和控制单元,SPM混合喷淋单元包括SPM混合元件和SPM喷淋头;SPM混合元件包括至少两个输入端和一个SPM输出端,H2SO4流量控制元件通过H2SO4输送管路连接到SPM混合元件的第一输入端,H2O2流量控制元件通过H2O2输送管路连接到SPM混合元件的第二输入端,SPM混合元件的SPM输出端连接到SPM喷淋头。该系统控制精度高,流量值稳定,生成的SPM混合液混合比例准确,可调节范围宽,从而保证SPM混合液的活性范围广,可适用于各种不同的清洗工艺要求。
- 一种在线spm生成系统及其控制方法
- [实用新型]二氧化碳离子水发泡机-CN201120029033.0有效
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金海涛;徐飞;吉保国;邬治国
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常州瑞择微电子科技有限公司
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2011-01-28
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2011-10-05
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B01F3/04
- 本实用新型涉及芯片制造加工领域,特别的涉及一种用于芯片清洗的二氧化碳离子水的制备装置。目的是提供一种结构简单,能增大二氧化碳气体在去离子水中的溶解率,并有效提高所制备离子水的离子浓度稳定性的在线二氧化碳离子水发泡机。一种二氧化碳离子水发泡机,包括机械机构部分和液路部分,上述机械结构部分主要包括机箱,上述液路部分包括去离子水(DIW)进水管、二氧化碳进气管、夹气膜混合筒和用来检测所获得的离子水二氧化碳含量的电导率探头,上述去离子水进水管与夹气膜混合筒的一个进口端连接,二氧化碳进气管通过压力调节阀与夹气膜混合筒的另一个进口端连接,上述电导率探头安装在夹气膜混合筒的出水端。
- 二氧化碳离子水发泡
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