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[实用新型]机械手-CN202222529055.4有效
发明人：李欢;许璐;赵宏宇;赵益春;郑洪;陈忠明 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B25J9/04 文献下载
摘要：一种机械手，包括依次连接的传输机构、翻转机构和晶圆夹持机构，传输机构用于带动翻转机构在预定平面内移动，翻转机构包括摆台和转动连接于摆台的翻转臂，摆台用于驱动翻转臂在原始位和翻转位之间转动。传输装置能够带动翻转机构在预定平面内移动，以到达预定平面内的任意位置，翻转机构的摆台驱动翻转臂在原始位和翻转位之间转动，从而带动晶圆夹持机构在原始位和翻转位之间转动，其中，摆台与传输机构连接，翻转臂与晶圆夹持机构连接。机械手能够同时实现晶圆的传输和翻转，其设备成本低、占用空间小、简化了现有操作，进而提高了晶圆清洗效率。
机械手

[发明专利]清洗设备的卡盘装置及清洗设备-CN202210743122.4在审
发明人： 赵益春;韩国清 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种清洗设备的卡盘装置及清洗设备，所述卡盘装置包括卡盘主体(100)和多个夹持件(200)；所述卡盘主体(100)开设有安装孔；所述多个夹持件(200)可活动的设置于所述卡盘主体(100)，每个所述夹持件(200)可相对于所述卡盘主体(100)运动，以实现清洗工艺时对晶圆进行夹持；所述夹持件(200)包括导电塑胶部(210)和金属主体部(220)，所述金属主体部(220)的部分套装有所述导电塑胶部(210)，所述导电塑胶部(210)的至少部分通过所述安装孔伸出至所述卡盘主体(100)之外，用于夹紧或释放所述晶圆。上述方案能够解决清洗设备的清洗性能较差的问题。
清洗设备卡盘装置

[发明专利]半导体清洗设备及其混液装置-CN202210550832.5在审
发明人： 赵益春;韩国清 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： F16K17/02 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体清洗设备及其混液装置，所公开的混液装置，包括暂存容器、第一液体输入管路、混液容器、泄压机构和驱动气体管路，其中：所述第一液体输入管路的液体输出端与所述暂存容器连通，所述暂存容器的出液部与所述混液容器连通，所述驱动气体管路的输气端与所述暂存容器连通，以用于向所述暂存容器输入驱使所述暂存容器内的第一液体流向所述混液容器的驱动气体，所述泄压机构连接于所述暂存容器，且与所述暂存容器的内腔连通，在所述暂存容器内气体的实际压力大于第一预设压力值的情况下，所述泄压机构处于泄放气体状态。上述方案可以解决由于暂存容器内的实际压力高出工作压力较大时，容易导致暂存容器发生损坏的问题。
半导体清洗设备及其装置

[实用新型]一种复合焊接头及具有其的激光焊接机-CN202020278585.4有效
发明人： 赵益春;陈海祥;杜浩东;田耕;丁军;崔海云;黄河;胡景茂;沈宗彪 -专利权人：北京阿李自动化科技有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种复合焊接头及具有其的激光焊接机，复合焊接头包括并排设置的第一通道、第二通道、复合同轴聚焦模块和调节装置，其中，第一通道包括相互连通的第一激光输入头和第一激光准直模块；第二通道包括相互连通的第二激光输入头和第二激光准直模块；第一激光准直模块的出口与第二激光准直模块的出口均与复合同轴聚焦模块的入口连通，复合同轴聚焦模块的出口与调节装置连通，其中，第一激光和第二激光为不同波长的激光，且第一通道和第一激光发生器连接，第二通道与第二激光发生器连接。通过调节装置对第一激光和第二激光进行聚焦，实现第一激光和第二激光同时通过一个焊接头进行焊接，操作过程简单，效率高，且同步性明显提高。
一种复合焊接具有激光焊接机

[实用新型]一种基于温度监测的人机交互控制的连续摩擦焊机-CN202020010334.8有效
发明人：丁军;李帅;黄河;赵益春;田耕;胡景茂;陈海祥;杜浩东;沈宗彪 -专利权人：北京阿李自动化科技有限公司
申请日： 2020-01-03 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于温度监测的人机交互控制的连续摩擦焊机，包括旋转主轴、移动主轴、红外测温仪、光电开关和温度监测系统；旋转主轴夹持第一工件进行高速旋转，移动主轴夹持第二工件以第一设定速度曲线靠近第一工件和第二工件的端面相对旋转摩擦生热至塑变温度并实施顶锻而完成焊接；红外测温仪用于监测摩擦焊接端面的温度；光电开关用以判断是否存在第一工件和第二工件，确定红外测温仪监测的温度为摩擦焊接端面的温度；温度监测系统包括人机交互界面和专家系统，人机交互界面用于对摩擦焊接温度的实时采集监控；通过专家系统进行评判，并结合实际参数值，确定下一次焊接的修正参数，并将较佳的焊接工艺参数加以保存，丰富判定规则。
一种基于温度监测人机交互控制连续摩擦

[实用新型]一种铜片上料装置-CN202020051271.0有效
发明人：黄河;赵益春;丁军;陈海祥;李帅;田耕;胡景茂;杜浩东;沈宗彪 -专利权人：北京阿李自动化科技有限公司
申请日： 2020-01-10 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： B65G27/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铜片上料装置，包括摄像头、光电开关、振动上料盘、剔除气嘴、送料口、底板和立柱；振动上料盘呈螺旋形上升，固定安装于底板上，振动上料盘的末端与送料口连通；剔除气嘴设置于振动上料盘的螺旋轨道上；立柱上设有摄像头和光电开关，且摄像头和光电开关所处位置的高度均高于振动上料盘的顶端，光电开关用于检测指定区域内是否存在铜片，摄像头用于判断铜片处于正面或者反面；剔除气嘴用于将处于反面的铜片从振动上料盘的螺旋轨道上吹落。可对铜片进行正面或者反面的判断，使得处于正面的铜片从送料口进入下一流程，使得反面的铜片通过剔除气嘴吹落，从而实现对铜片在上料时进行正面和反面识别，防止铜片上料时出错。
一种铜片装置

[实用新型]一种斜楔顶丝组合式微调装置-CN202020051263.6有效
发明人：丁军;胡景茂;黄河;田耕;赵益春;陈海祥;杜浩东;沈宗彪;李帅 -专利权人：北京阿李自动化科技有限公司
申请日： 2020-01-10 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种斜楔顶丝组合式微调装置，包括基板、导栓、拧定螺帽、锁紧螺帽、导销和垫块；所述导栓贯穿式地安装于所述基板内；所述导销部分设置于所述基板内，并与所述导栓的长度方向垂直；所述垫块设有盲孔，所述导销部分设置于所述盲孔内；所述导栓与所述导销接触的部分为斜面；通过旋转调节所述拧定螺帽来推动所述导栓在所述基板内移动，利用所述导栓的斜面推动所述导销将所述垫块顶出，进而实现微调，并用所述锁紧螺帽来锁定。通过旋转调节拧定螺帽来推动螺栓在基板中移动，利用导栓的斜面推动导销将垫块顶出，实现微调，具有结构巧妙，调整便捷，定位后保持牢靠的特点。
一种斜楔顶丝组合式微调装置

[实用新型]一种立式连续摩擦焊机-CN202020019908.8有效
发明人： 赵益春;丁军;陈海祥;胡景茂;田耕;黄河;杜浩东;沈宗彪;李帅 -专利权人：北京阿李自动化科技有限公司
申请日： 2020-01-06 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种立式连续摩擦焊机，包括底座、立柱、三爪卡盘、四爪卡盘、回转盘、滑座、第一从动带轮、回转缸、丝杠、第二从动带轮、第一同步带、第一主动带轮、进给伺服电机、液压缸、主轴电机、第二主动带轮、第二同步带和导轨；底座上安装于立柱，滑座通过导轨安装于立柱上，并可沿着导轨移动；三爪卡盘安装在滑座上，用于夹持铝棒；四爪卡盘与三爪卡盘相对设置，安装于回转盘或者底座上，三爪卡盘由回转缸驱动来实现对铝棒的夹取，三爪卡盘的旋转由主轴电机驱动第二主动带轮，通过第二同步带转动第一从动带轮来实现；滑座由丝杠驱动至特定位置，丝杠的端部装有第二从动带轮，由进给伺服电机驱动第一主动带轮，实现丝杠的旋转。
一种立式连续摩擦

[实用新型]一种圆柱铝棒的卡盘夹取止推固定结构-CN201922475737.X有效
发明人：丁军;沈宗彪;赵益春;田耕;黄河;胡景茂;陈海祥;杜浩东;李帅 -专利权人：北京阿李自动化科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： B23B31/103 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种圆柱铝棒的卡盘夹取止推固定结构，包括液压缸，适配座，卡盘，卡爪、托筒、导套、止挡棒、联接扣和推拉螺母；所述液压缸固定连接于所述适配座的一端，所述卡盘安装于所述适配座的另一端；所述托筒安装于所述卡盘上，所述导套扣入到所述托筒内，所述导套内安装有所述止挡棒；所述液压缸通过所述联接扣与所述卡盘中的所述推拉螺母相连，并通过所述导套和止挡棒驱动卡爪的开合，实现夹持或者松开圆柱铝棒，结构简单，更换方便，克服止挡棒拆装更换的繁琐问题，准确修配标定止推长度，不会出现定长止推的误差，压扣结构夹取固定可靠。
一种圆柱卡盘夹取止推固定结构

[实用新型]一种方形铜片的卡盘夹取止推固定结构-CN201922487858.6有效
发明人：丁军;杜浩东;黄河;赵益春;田耕;胡景茂;陈海祥;沈宗彪;李帅 -专利权人：北京阿李自动化科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： B23B31/103 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种方形铜片的卡盘夹取止推固定结构，包括主轴，适配座，卡盘，卡爪、挡块、挡板、防尘盖、T形块、活爪、槽块、拉杆、扣板和推拉螺母；适配座固定连接于主轴；卡盘为标准件，其套设于适配座上；卡爪装配在卡盘上；防尘盖安装在卡盘内，挡块通过挡板安装在防尘盖上；拉杆通过推拉螺母与卡盘内的用扣板扣合的槽块相连，进而通过槽块的斜楔结构拉动径向移动，驱动通过固定安装在活爪上的卡爪的开合，实现夹持或松开方形铜片，活爪为标准件，部件的通用性强，更换方便，兼顾通用性和便捷性，克服因特制卡盘而造成选择面窄的现实问题，并可对卡盘的个别零件进行改进替代更换，准确修配标定方形铜片止推厚度，夹取结构稳定可靠。
一种方形铜片卡盘夹取止推固定结构

[发明专利]一种复合焊接头及具有其的激光焊接机-CN202010159156.X在审
发明人： 赵益春;陈海祥;杜浩东;田耕;丁军;崔海云;黄河;胡景茂;沈宗彪 -专利权人：北京阿李自动化科技有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合焊接头及具有其的激光焊接机，其中，复合焊接头包括并排设置的第一通道、第二通道、复合同轴聚焦模块和调节装置，其中，所述第一通道包括相互连通的第一激光输入头和第一激光准直模块；所述第二通道包括相互连通的第二激光输入头和第二激光准直模块；所述第一激光准直模块的出口与所述第二激光准直模块的出口均与所述复合同轴聚焦模块的入口连通，所述复合同轴聚焦模块的出口与所述调节装置连通。通过复合同轴聚焦模块实现同轴输出第一激光和第二激光，通过调节装置对第一激光和第二激光进行聚焦，实现第一激光和第二激光同时通过一个焊接头进行焊接，操作过程简单，效率高，且同步性明显提高。
一种复合焊接具有激光焊接机

[发明专利]一种斜楔顶丝组合式微调装置-CN202010027197.3在审
发明人：丁军;胡景茂;黄河;田耕;赵益春;陈海祥;杜浩东;沈宗彪;李帅 -专利权人：北京阿李自动化科技有限公司
申请日： 2020-01-10 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种斜楔顶丝组合式微调装置，包括基板、导栓、拧定螺帽、锁紧螺帽、导销和垫块；所述导栓贯穿式地安装于所述基板内；所述导销部分设置于所述基板内，并与所述导栓的长度方向垂直；所述垫块设有盲孔，所述导销部分设置于所述盲孔内；所述导栓与所述导销接触的部分为斜面；通过旋转调节所述拧定螺帽来推动所述导栓在所述基板内移动，利用所述导栓的斜面推动所述导销将所述垫块顶出，进而实现微调，并用所述锁紧螺帽来锁定。通过旋转调节拧定螺帽来推动螺栓在基板中移动，利用导栓的斜面推动导销将垫块顶出，实现微调，具有结构巧妙，调整便捷，定位后保持牢靠的特点。
一种斜楔顶丝组合式微调装置

[发明专利]一种铜片上料装置-CN202010027224.7在审
发明人：黄河;赵益春;丁军;陈海祥;李帅;田耕;胡景茂;杜浩东;沈宗彪 -专利权人：北京阿李自动化科技有限公司
申请日： 2020-01-10 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： B65G27/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜片上料装置，包括摄像头、光电开关、振动上料盘、剔除气嘴、送料口、底板和立柱；振动上料盘呈螺旋形上升，固定安装于底板上，振动上料盘的末端与送料口连通；剔除气嘴设置于振动上料盘的螺旋轨道上；立柱上设有摄像头和光电开关，且摄像头和光电开关所处位置的高度均高于振动上料盘的顶端，光电开关用于检测指定区域内是否存在铜片，摄像头用于判断铜片处于正面或者反面；剔除气嘴用于将处于反面的铜片从振动上料盘的螺旋轨道上吹落。可对铜片进行正面或者反面的判断，使得处于正面的铜片从送料口进入下一流程，使得反面的铜片通过剔除气嘴吹落，从而实现对铜片在上料时进行正面和反面识别，防止铜片上料时出错。
一种铜片装置

[实用新型]一种往复式压缩机气量无级调节系统-CN201721577418.4有效
发明人： 赵益春;栗桂芳;卢江波;张佳;高杨;马静;代立民;陈秀芳 -专利权人：北京航天石化技术装备工程有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： F04B49/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及缩机气量调节技术领域，具体公开了一种往复式压缩机气量无级调节系统，包括控制系统、机械执行机构和液压系统，所述的控制系统控制机械执行机构动作，液压系统通过进油管路为机械执行机构提供高压液压力，通过回流管路和漏油管路将机械执行机构中的油液回流至油站中，实现油液循环利用。本实用新型气量调节系统带有故障监控功能和冗余功能，保证了系统的可靠性和安全性，在能够实现往复式压缩机气量无级调节功能的基础上，最大限度节省能源。
机械执行机构气量无级调节往复式压缩机本实用新型控制系统液压系统气量调节系统故障监控回流管路进油管路气量调节冗余功能循环利用油液回流高压液漏油管缩机油液油站能源保证

[实用新型]一种用于往复式压缩机气量调节系统的电液执行机构-CN201721572298.9有效
发明人： 赵益春;代立民;卢江波;何睿;冉治通;边玲;翟启超;廖从军 -专利权人：北京航天石化技术装备工程有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： F15B15/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及压缩机气量调节技术领域，具体公开了一种用于往复式压缩机气量调节系统的电液执行机构，包括电磁阀、设于电磁阀下方的液压缸、设于液压缸下方的氮封装置和设于液压缸上的温度传感器。本实用新型装置密封性能良好，可实现液压油与压缩机气缸内工艺介质的双向密封，无外泄漏，同时可以有效地隔离压缩机气缸内的危险气体。
液压缸电液执行机构气量调节系统往复式压缩机本实用新型压缩机气缸电磁阀装置密封性能温度传感器氮封装置工艺介质气量调节双向密封危险气体压缩机液压油有效地泄漏隔离

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