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- [实用新型]一种硅晶片的厚度测量装置-CN202321191025.5有效
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黄杰;贾泓超;范正斌
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浙江艾科半导体设备有限公司
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2023-05-17
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2023-10-27
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H01L21/66
- 本实用新型公开了一种硅晶片的厚度测量装置，属于硅晶片加工技术领域，包括测量台、设置于测量台上的置物座和位于测量台上的测量机构，所述置物座上形成有硅晶片置物槽，所述测量台顶壁上固定焊接有呈倒U形的承接架，所述承接架的底壁焊接有内安装盘和外安装盘，测量机构包括安装于内安装盘底壁的多个第一距离传感器、安装于外安装盘底壁的多个第二距离传感器、安装于承接架侧壁的显示屏和控制器，多个所述第一距离传感器在内安装盘上圆周阵列分布，多个所述第二距离传感器在外安装盘上圆周阵列分布。该硅晶片的厚度测量装置，在确保硅晶片保持水平的状态下得出其厚度值，使得测量的厚度值更准确。
- 一种晶片厚度测量装置
- [实用新型]一种应用于清洗机的加热设备-CN202321191048.6有效
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范正斌;殷杰毅;贾泓超
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浙江艾科半导体设备有限公司
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2023-05-17
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2023-10-27
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B08B3/10
- 本实用新型公开了一种应用于清洗机的加热设备，属于清洗机加热技术领域，包括加热槽和安装于加热槽内腔四角的电热管，所述加热槽其中一侧壁固定安装有电机，且所述加热槽内腔中水平焊接有横梁杆，所述横梁杆的底壁开设有活动槽，所述电机的输出轴穿过加热槽并同轴连接有螺杆，所述螺杆上螺纹套设有内滑块，且所述内滑块的顶壁与活动槽的顶壁贴合，所述内滑块的下方固定连接有下沿杆，且所述下沿杆的底壁安装有温度传感器，所述加热槽位于电机所在一侧安装有显示屏和控制器，其中所述温度传感器和显示屏均与控制器耦合连接。该应用于清洗机的加热设备，便于根据加热槽内的状况及时控制电热管的开关，从而更准确地调整温度。
- 一种应用于清洗加热设备
- [实用新型]一种清洗机用干燥装置-CN202320362010.4有效
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全晓霞;贾泓超;许程超
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浙江艾科半导体设备有限公司
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2023-02-23
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2023-10-27
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F26B23/00
- 本实用新型公开了一种清洗机用干燥装置，包括进料机械模块、干燥模块和出料机械模块，所述进料机械模块靠近所述干燥模块的进料单元并且所述出料机械模块靠近所述干燥模块的出料单元，所述进料单元包括进料安装座、进料气缸和进料槽部。本实用新型公开的一种清洗机用干燥装置，进料区域设有若干经过清洗需要干燥的工件，通过进料机械模块夹取工件然后放入进料槽部，启动气缸，将工件推入传送带的一端，以在干燥单元进行干燥，干燥完成后传送带的另一端将工件传输到出料滚轮，最后下落到位于出料槽部下方的出料区域，最终使得出料机械模块夹取其中的工件进行有序排放。
- 一种清洗干燥装置
- [实用新型]一种清洗机的机身结构-CN202320352647.5有效
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殷杰毅;范正斌;贾泓超
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浙江艾科半导体设备有限公司
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2023-02-23
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2023-10-27
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B08B3/02
- 本实用新型公开了一种清洗机的机身结构，用于清洗工件，包括主体模块和清洗模块，所述清洗模块安装于所述主体模块，所述主体模块包括外壳单元、工件通道单元、防溅单元和高度调节单元，所述工件通道单元和所述防溅单元均位于所述外壳单元的内部，所述工件通道单元呈弧形并且所述工件通道单元包括进料端和出料端，所述防溅单元位于所述工件通道单元的上方。本实用新型公开的一种清洗机的机身结构，其通过工件通道单元将待清洗的工件移动到清洗端口，然后通过清洗单元进行单独清洗并且将清洗后的工件进行快速传输，其具有使用方便、清洗干净和效率高等优点。
- 一种清洗机身结构
- [实用新型]一种自动清洗机-CN202320349409.9有效
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范正斌;贾泓超;全晓霞
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浙江艾科半导体设备有限公司
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2023-02-23
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2023-10-27
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B08B3/02
- 本实用新型公开了一种自动清洗机，包括进料传送模块、出料传送模块、清洗模块和主体模块，所述进料传送模块包括进料传送带、进料电机、第一进料支架、第二进料支架、第一进料主滚轮、第二进料主管轮和若干进料副滚轮，所述进料传送带位于所述第一进料支架和所述第二进料支架之间。本实用新型公开的一种自动清洗机，进料传送模块和出料传送模块位于清洗模块之间，进料传送模块用于将待清洗的工件传输到清洗模块，然后在清洗模块清洗完成后通过出料传送模块进行传送出来，不仅效率高，而且安全性高。
- 一种自动清洗
- [实用新型]一种自动硅晶片清洗装置-CN202321191099.9有效
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许程超;沈飞;贾泓超
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浙江艾科半导体设备有限公司
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2023-05-17
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2023-10-27
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种自动硅晶片清洗装置，包括底板，还包括清洗机构，所述底板的板顶出安装有清洗机构，所述清洗机构由箱体、超声波发声器、超声波发声头、风机、框架、加热丝、清洗槽A和清洗槽B组合构成，所述底板的板顶出固定安装有箱体，所述箱体的箱顶处分别开设有清洗槽A与清洗槽B，所述底板的板顶处安装有超声波发声器，所述清洗槽A的槽内壁处安装有超声波发声头，所述清洗槽B的槽内壁处通过螺栓固定安装有框架，所述框架的框内壁处安装有若干组加热的加热丝，所述箱体的箱壁处通过螺栓固定安装有连通的风机。通过清洗机构能够对清洗后的硅晶片清洁后烘干，增加清洁效率。
- 一种自动晶片清洗装置
- [发明专利]一种硅片清洗机用机械手-CN202211003151.3有效
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吴昆;张春雷;贾泓超;孙文兵
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浙江艾科半导体设备有限公司
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2022-08-20
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2023-08-15
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B08B3/02
- 本发明公开了硅片清洗技术领域的一种硅片清洗机用机械手一种硅片清洗机用机械手，包括机械手本体，所述机械手本体底部安装有清洗框，所述清洗框为C字形，所述清洗框内设置有限位架，所述限位架上转动连接有两个呈对称布置的弧形夹杆；所述弧形夹杆的转动轴上套装有用于其复位的扭簧；所述弧形夹杆的侧边均设置有夹持组件，两个所述夹持组件呈圆周对称布置，所述清洗框上还设置有驱动组件，所述驱动组件用于驱动限位架夹紧硅片后带动限位架和硅片移动；本发明可以使硅片在清洗槽进行不规则移动加快硅片清洗，还可以使硅片清洗得更加的彻底，且本发明可以根据实际需求来设计限位架的个数，可以批量清洗硅片，可以大大提高硅片清洗的效率。
- 一种硅片清洗机械手
- [实用新型]一种晶圆背面磨床的磨削吸盘-CN202022647290.2有效
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陆吴强;王佳鑫;王涛;徐海刚;贾泓超
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天通日进精密技术有限公司
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2020-11-16
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2021-08-10
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B24B41/06
- 本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的磨削吸盘，所述磨削吸盘包括吸盘主体以及调节吸管体，所述吸盘主体上端面处设置有若干个吸气孔组，若干个所述吸气孔组以吸盘主体的轴线为中心线环形阵列设置，所述吸气孔组包括至少两个吸气孔体，所述吸气孔体不贯穿所述吸盘主体，所述吸盘主体侧曲面上均匀的设置有若干个插孔，所述插孔与吸气孔体相连通，所述调节吸管体插入设置在插孔内，所述调节吸管体内部中空，所述调节吸管体的侧曲面上沿其轴线方向的均匀设置有若干个通气孔组，每个所述通气孔组均包括不同数量的通气孔体，所述通气孔体与吸气孔体相配合。本实用新型适配不同规格的晶圆，提高了装配以及生产效率，保证了产品质量。
- 一种背面磨床磨削吸盘
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