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[发明专利]聚焦环及形成其的方法、等离子体型半导体处理工具-CN202210176180.3在审
发明人：黄圣杰;左正光;李宙峰;郑钟秀;陈智圣;陈俊彦;许志贤;洪景泰 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种聚焦环及形成其的方法、等离子体型半导体处理工具。用于等离子体型半导体处理工具的聚焦环被设计为在等离子体蚀刻工艺期间提供和/或确保整个晶片的蚀刻速率均匀性。聚焦环可以包括远离聚焦环的中心倾斜以将等离子体引导至晶片的倾斜内壁。倾斜内壁的角度可以相对于晶片的顶表面大于近似130度和/或可以相对于聚焦环的相邻下部表面小于近似50度，以减少和/或消除在晶片上重叠等离子体的区域(否则会导致不均匀的蚀刻速率)。此外，内径可以被配置为在近似209毫米到214毫米的范围内，以进一步减少和/或消除晶片上重叠等离子体的区域。
聚焦形成方法等离子体型半导体处理工具

[发明专利]痕量元素的测量装置及方法-CN202011614058.7在审
发明人：卢水淼;夏晓峰;许志贤;韩乃旭;胡建坤;俞晓峰;李鹰 -专利权人：杭州谱育科技发展有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： G01N35/10 文献下载
摘要：本发明提供了痕量元素的测量装置及方法，所述痕量元素的测量装置包括分析仪器；切换模块用于使第一多通阀的端口选择性连通待测液、标液和清洗液；第一储液部件的两端连通第一多通阀的端口；第二储液部件的两端连通第二多通阀的端口；第三储液部件的两端连通第三多通阀的端口；通过第二多通阀的切换，第二泵经过和不经过第三储液部件地连通所述分析仪器；多个泵，第一泵连通所述第一多通阀的端口，第二泵连通所述第三多通阀的端口，第三泵连通所述第二多通阀；第四泵和第五泵用于提供液体并连通所述第二多通阀的端口。本发明具有检测准确等优点。
痕量元素测量装置方法

[发明专利]制造半导体结构的方法-CN201811333215.X有效
发明人：孟庆豪;许志贤;陈智圣;李安基;黄琳清;江煜培 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：提供了包括以下步骤的制造半导体结构的方法。在半导体衬底上形成掩模层。各向异性地蚀刻由掩模层露出的半导体衬底，直至在半导体衬底中形成腔体，其中，各向异性地蚀刻由掩模层露出的半导体衬底包括实施多个第一循环以及在实施第一循环之后实施多个第二循环，第一和第二循环中的每个循环分别包括实施钝化步骤以及在实施钝化步骤之后实施蚀刻步骤。在第一循环期间，蚀刻步骤与钝化步骤的第一持续时间比率是可变的并且逐步增加。在第二循环期间，蚀刻步骤与钝化步骤的第二持续时间比率是恒定的，并且第一持续时间比率小于第二持续时间比率。本发明实施例涉及制造半导体结构的方法。
制造半导体结构方法

[发明专利]具有灵敏度可调功能的液体泄漏检测传感器-CN201880050239.6在审
发明人： 许志贤;崔相贤 -专利权人：韩国自动传感器公司;许志贤;崔相贤
申请日： 2018-05-18 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： G01M3/38 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有灵敏度可调功能的液体泄漏检测传感器，本发明能检测到由发光部放出并且被漏液接受的光强的变化而简单便利地测出泄漏与否而具备了便利性，还根据泄漏液体的粘度及安装场所倾斜率等因素调整传感器传感位置而能不受泄漏液体粘度高低影响地调节可传感的时间，即，可调整传感器的传感灵敏度，本发明作为利用光源的液体泄漏检测传感器，包括：固定式连接件，其包括设有固定孔的固定板、和该固定板为一体并且形成有用于调节角度的突起的连接部；插入式连接件，以让固定式连接件的用于调节角度的突起夹入的方式插入；基板，安装了和插入式连接件结合的壳体、以插入方式安装在壳体内侧并且接受光的受光部及发出光的发光部；镜头部，安装在壳体。
具有灵敏度可调功能液体泄漏检测传感器

[发明专利]用于基于等离子体的制程的装置-CN201910695394.X在审
发明人：李安基;陈智圣;黄士哲;许志贤;黄志豪;王明治;江煜培;陈俊彦 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-07-30 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种使用一气体挡板控制晶圆均匀性的装置及方法。在一范例中，公开有用于基于等离子体的制程的一装置。此装置包括：一壳体及一挡板。壳体定义一加工腔室。挡板安排在加工腔室中的一晶圆上方。挡板配置以控制在晶圆上的等离子体分布。挡板具有一圆环的一形状，包括一第一圆环区及一第二圆环区。第一圆环区具有一第一内半径。第二圆环区具有不同于第一内半径的一第二内半径。
圆环晶圆挡板加工腔室等离子体等离子体分布挡板安排挡板配置壳体定义气体挡板均匀性壳体制程

[发明专利]电浆为主的工艺所用的装置-CN201910702423.0在审
发明人：李安基;陈智圣;黄士哲;许志贤;黄志豪;王明治;江煜培;陈俊彦 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开提供一种电浆为主的工艺所用的装置。装置包括壳体定义工艺腔室，以及气体分布板配置于工艺腔室中。壳体包括气体入口，设置以接收工艺气体，以及气体出口，设置以排出工艺后的气体。气体分布板设置以分布工艺气体于工艺腔室中。气体分布板具有多个孔洞平均分布其上。气体分布板包括第一区与第二区。第一区比第二区靠近气体出口。第一区中的至少一孔洞关闭。
气体分布板工艺腔室第一区孔洞气体出口分布工艺工艺气体壳体定义平均分布气体入口电浆壳体排出配置

[发明专利]光刻衬底标记工具及形成衬底识别标记的方法-CN201610741879.4有效
发明人：林胡伟;许志贤;邱昱玮;陈海茵;王英豪;吴育恒 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：在一些实施例中，本发明涉及光刻衬底标记工具。光刻衬底标记工具具有第一光刻曝光工具，该第一光刻曝光工具布置在共用的壳体内并且配置为在多次曝光期间生成第一类型的电磁辐射。可移动的中间掩模具有多个不同的中间掩模域，该多个不同的中间掩模域分别配置为阻挡第一类型的电磁辐射的一部分，以将衬底识别标记暴露在半导体衬底上面的感光材料内。横向元件配置为移动该可移动的中间掩模，从而使得多个中间掩模域中的各中间掩模域在多次曝光中的各曝光期间暴露至感光材料上。因此，可移动的中间掩模允许使用相同的中间掩模将衬底识别标记的不同字符串形成在感光材料内，由此提供光刻衬底标记的经济效益。本发明的实施例还涉及光刻晶圆标记工具以及形成衬底识别标记的方法。
光刻衬底标记工具形成识别方法

[发明专利]制造半导体装置的方法-CN201811042898.3在审
发明人：房汉文;钟嘉麒;许志贤;曾建华;吴建升;陈俊彦;黄天志;陈韦达;苏雅屏 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-09-07 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明公开一种制造半导体装置的方法。提供包括半导体装置元件的衬底。在所述衬底之上将顶部导电垫及减反射涂层图案化。所述减反射涂层设置在所述顶部导电垫上。在所述衬底及所述减反射涂层之上形成至少一个钝化膜。刻蚀所述至少一个钝化膜及所述减反射涂层以在所述至少一个钝化膜及所述减反射涂层中形成沟槽来暴露出所述顶部导电垫的一部分。
减反射涂层半导体装置导电垫钝化膜衬底图案化刻蚀制造暴露

[发明专利]RFID卡的无缝圆边包覆方法-CN201110141881.5无效
发明人： 许志贤 -专利权人： 许志贤
申请日： 2011-05-30 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： G06K19/077 文献下载
摘要：本发明有关一种RFID卡的无缝圆边包覆方法，其主要方法是将一与RFID卡呈相同形状且周围边尺寸大于RFID卡的透明膜片先结合于RFID卡的其中一面，再于RFID卡的两面分别滴附方式各滴上一层透明环氧树脂层，在过程中等其中一面先滴附的透明环氧树脂硬化后，再于RFID卡的另一面滴附透明环氧树脂，待另一面透明环氧树脂硬化后，而使RFID卡的两面透明环氧树脂层的周边大于RFID卡并与透明膜片呈相同大小，使透明环氧树脂层可将RFID卡包括其周边垂直面均被完全包覆，进而使RFID卡达到圆边、无接缝、更精致美化及降低生产成本目的的方法。
rfid 无缝圆边包覆方法

[发明专利]在具有多个沟槽的半导体基板上形成层的方法-CN201010578003.5有效
发明人：郑钟秀;吴士豪;许志贤;钟嘉麒;曾伟岳 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2010-12-02 - 公布日： 2012-02-08 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请描述了一种制造半导体器件的方法。提供具有多个沟槽的基板。该多个沟槽包括具有不同宽度的沟槽。在包括多个沟槽的基板上形成第一层。第一层的形成在叠加在沟槽(例如，宽沟槽)上的区域中在第一层中产生凹陷。在凹陷中形成第二层。第一层被蚀刻，同时第二层保留在凹陷中。该第二层可以防止凹陷区域的厚度进一步减小。在一个实施例中，第一层是多晶硅并且第二层是光刻胶的BARC。
具有沟槽半导体基板上形成层方法

[实用新型]RFID无方向性感应智能卡-CN201020244070.9无效
发明人： 许志贤 -专利权人： 许志贤
申请日： 2010-06-29 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： G06K19/077 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种RFID无方向性感应智能卡，尤指一种3D天线装置结构设计，其主要结构设计是以平面式天线线圈绕制完成后，以串联、并联方式，可以将平面式传统绕制天线连接成三角锥体或六角锥体3D天线结构，使得此种3D天线结构可与读卡器天线线圈发射出的磁力线以任何方向接近90°角的切割产生电流以唤醒IC晶体工作，以得到最大感应电能与信息，感应不受方向限制，而达使用方便的目的。
rfid 无方向性感应智能卡

[外观设计]耳机-CN02361697.0无效
发明人： 许志贤 -专利权人：深圳市龙岗区龙岗龙东龙丰五金耳机厂
申请日： 2002-09-13 - 公布日： 2003-05-21 - 主分类号： 14-01 文献下载
摘要：
耳机

[实用新型]多功能蒸发节能器-CN00203091.8无效
发明人： 许志贤 -专利权人： 许志贤
申请日： 2000-01-28 - 公布日： 2001-02-28 - 主分类号： F24C13/00 文献下载
摘要：本实用新型属于节能装置,涉及一种多功能蒸发节能器,它解决了燃气燃烧不足而产生的浪费和污染,它包括容器、蒸发管、支托,容器外壁是圆柱形,内壁是圆锥形,容器内外壁之间的封闭了的空间是水套,容器的中心底部设置有内圆孔,螺旋状的蒸发管装入水套中,内圆孔上设有支托。本实用新型具有燃烧彻底,加温速度快,节能率达35—50%,热水能得到全部利用。
多功能蒸发节能

[实用新型]拉力式刮胡刀-CN94223553.3无效
发明人： 许志贤 -专利权人： 许志贤
申请日： 1994-10-12 - 公布日： 1995-06-21 - 主分类号： B26B19/14 文献下载
摘要：一种拉力式刮胡刀架，是通过拉绳拉动驱动轮转动，再由该驱动轮通过其斜形齿驱动单向转轮，进而驱动飞轮转动的，不断重复拉动拉绳，可使飞轮快速转动。由于该飞轮的支轴套接刮胡刀架，故可驱动刮胡刀架进行刮胡子，并籍助其中的蜗形弹簧的弹力而使驱动轮与单向转轮复位，以准备第二次拉动。该装置兼具手动操作方便、不需电能和电动刮胡刀速度快的优良性能。
拉力刮胡刀

[实用新型]活动腰裤-CN90208398.8在审
发明人：金永钊;周可健;许志贤;张桂英 -专利权人：绍兴市飞达服装厂
申请日： 1990-06-07 - 公布日： 1992-06-03 - 主分类号： A41D1/06 文献下载
摘要：一种活动腰裤，包括裤身，裤腰，其特征在于在裤腰的前后连接处对称地装有活动轧，辅助条、尼龙轨道，固定钉，活动轧包括头面，底座，轨道固定销，当活动轧头面和底座开启时，活动轧可在尼龙轨道上自由移动调节腰围，腰围调节好后，活动轧合拢，轨道固定销嵌入尼龙轨道内，即可使用。本实用新型设计合理，结构紧凑，适宜于各种类型的裤子、高中档衣料的大批量制裤。
活动

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