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[发明专利]一种金属网栅的网格图形设计方法及相关设备-CN202210395523.5在审
发明人：胡震恒;李超波;解婧;孙大鹏 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G06F30/18 文献下载
摘要：本申请公开一种金属网栅的设计方法及相关设备，涉及电磁屏蔽技术领域，能够改善透过可见光的不均匀高级次衍射分布的问题，弱化甚至消除透过可见光的图形化成像，提高透光成像质量，改善透光效果。金属网栅的网格图形设计方法，包括：以目标金属网栅表面的几何中心点为原点，构建坐标系，以得到周期性排列的多个预设网格对应的多个预设中心坐标，其中，所述预设中心坐标为所述预设网格的几何中心点的坐标；对所述预设中心坐标进行随机化处理，得到目标网格中心坐标；将相邻所述目标网格中心坐标之间连线的中垂线作为目标网格的边线，以得到目标网格图形，其中，所述边线相交形成的封闭图形为所述目标网格，多个所述目标网格形成所述目标网格图形。
一种金属网网格图形设计方法相关设备

[发明专利]一种SERS基底-CN201910357477.8有效
发明人：刘丽花;李超波;远雁;解婧;王欢 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-04-29 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明实施例提供的一种SERS基底，所述SERS基底包括：衬底、贵金属纳米颗粒以及保护层；所述贵金属纳米颗粒附着于所述衬底上，所述保护层覆盖在所述衬底表面，所述贵金属纳米颗粒位于所述衬底与所述保护层之间。本发明解决了目前的SERS基底可靠性较低，性能衰减快，难以重复使用的问题。
一种 sers 基底

[发明专利]一种铁电电容制作方法、音频存储方法及相关设备-CN202210104609.8在审
发明人：胡震恒;尹楚君;田飔莹;李超波;解婧 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H10N97/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种铁电电容制作方法及相关设备。该方法包括：将待处理底电极器件进行退火处理以获取目标底电极器件，其中，所述待处理底电极器件是带有铁电薄膜且具有P型硅衬底的TiN底电极；在所述目标底电极器件上生成钨合金顶电极以获取所述铁电电容。本申请实施提供的铁电电容制备方法，在将待处理底电极器件进行退火处理以获取目标底电极器件，通过进行退火处理对铁电材料的正交相形成的结晶过程产生影响，从而促进铁电极化现象产生，改善铁电电容的性能，对目标底电极器件生成钨合金顶电极后便形成具有良好铁电性能的铁电电容。
一种电容制作方法音频存储方法相关设备

[发明专利]一种核酸检测设备及系统-CN202310214107.5在审
发明人：解婧;范涛;刘金虎;王欢;孙大鹏;邢建鹏;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C12M1/34 文献下载
摘要：本申请公开了一种核酸检测设备及系统，涉及生物检测技术领域，该设备包括：显示模块、气控模块、进样口、处理模块；所述显示模块位于所述气控模块的上表面，所述处理模块位于所述气控模块的下表面，所述进样口位于所述气控模块的侧表面；所述进样口，用于接收待检测的生物样品；所述气控模块，用于液体管路中的液体流动或停止流动，所述液体管路中的液体为所述生物样品与对应的试剂的混合物；所述处理模块，用于基于所述混合物，进行核酸检测，得到检测结果；所述显示模块，用于显示所述检测结果。该核酸检测设备能够优化核酸检测流程。
一种核酸检测设备系统

[实用新型]一种供氧调节装置-CN202220583323.8有效
发明人：李政阳;张刚;朱煜;解婧;李磊;韦鹏飞;孙诗博;李亚明;周贺;库尔班·尼亚孜 -专利权人：中国人民解放军陆军边海防学院乌鲁木齐校区
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： A61M16/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种供氧调节装置，包括用于监测人体状态和环境参数的手环，以及无线通信模块。所述供氧阀包括监测氧气流量的传感器、氧气流量控制阀、二号微型处理器、微型供电器及无线通信模块，一端与供氧装置密封连接，另一端通过输氧软管与呼吸面罩密封连接；所述手环内设置有监测器、一号微型处理器、微型供电器及无线通信模块，监测器包括监测血氧的传感器、监测大气压的传感器、监测人体心率的传感器、测量环境温度的传感器。供氧阀与手环通过无线通信模块进行信号传输，并根据手环监测到的数据调节供氧流量。
一种供氧调节装置

[发明专利]一种纳米线传感器及其制备方法-CN202110694304.2在审
发明人：解婧;宋宏岩;邢建鹏;王欢;范涛;刘金虎;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米线传感器及其制备方法。该纳米线传感器，包括：衬底；传感元件，位于所述衬底的表面，所述传感元件包括若干纳米线传感单元。本发明中的纳米线传感单元在衬底上形成了若干个传感区域，每个纳米线传感单元均能够独立感知复杂结构对应区域的响应信息，提高了传感器的分辨率，同时多种纳米线传感单元可以采用不同类型的传感单元，以此采集多种传感信号，提高了传感器的灵敏度，另外各个纳米线传感单元之间形成冗余配合，提高了传感器的稳定性和响应度。本发明提供的纳米线传感器能够对目标检测结构形成分区域感知和响应，实现了对大面积复杂结构的信号的精密感知响应。
一种纳米传感器及其制备方法

[发明专利]一种热塑性微流控芯片的键合装置以及键合方法-CN202110542343.0在审
发明人：王欢;解婧;邢建鹏;范涛;刘金虎;宋宏岩;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种热塑性芯片的键合装置以及键合方法。其中的键合装置包括键合模块、储液模块以及废液回收模块，键合模块包括键合容器、上压板以及下基板，所述上压板以及所述下基板均设置在所述键合容器内，所述上压板以及所述下基板可沿竖向相对开合运动，待键合的芯片上板和待键合的芯片下板放入到所述上压板和所述下基板之间进行键合操作；所述储液模块包括存储有溶剂的溶剂储液容器以及存储有水溶液的水溶液储液容器，所述溶剂储液容器和所述水溶液储液容器均和所述键合容器连通；所述废液回收模块和所述键合容器连通。本发明可改善溶剂键合中由于溶剂残留而导致的微通道变形和尺寸损失的问题，进而提高热塑性芯片的键合质量。
一种塑性微流控芯片装置以及方法

[发明专利]一种热塑性芯片的键合方法-CN202110543108.5在审
发明人：王欢;解婧;邢建鹏;范涛;刘金虎;宋宏岩;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种热塑性芯片的键合方法，属于芯片键合技术领域，所述方法包括：通过溶剂键合的方式将两块热塑性芯片进行预键合，获得预键合体；将所述预键合体进行加压并浸没于40～80℃的水中，在0.5～5MPa压力下进行水浴键合，获得键合体。该方法能够有效改善溶剂键合中由于溶剂残留而导致的微通道变形和尺寸损失的问题，进而提高热塑性芯片的键合质量。
一种塑性芯片方法

[实用新型]一种太极运动教学用辅助装置-CN202221661544.9有效
发明人：常汶茜;安琳莎;刘凡锐;王玥悦;张硕航;解婧 -专利权人：郑州大学
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： A63B69/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太极运动教学用辅助装置，属于运动辅助装置技术领域，其包括底座，所述底座的上表面固定连接有套筒，所述套筒内滑动连接有调节柱，所述调节柱的底端固定连接有弹簧，所述弹簧的底端与底座的上表面固定连接，所述调节柱的表面开设有若干个固定槽，其中一个固定槽内设置有固定螺栓。该太极运动教学用辅助装置，通过设置调节结构、防滑层和转动结构，首先操作调节结构运动，使得调节结构可以与防滑层之间接触，并且通过调节结构对防滑层不同程度的挤压，进而可以实现调节壳筒的旋转阻力作用，则可以满足不同训练人员推动太极训练结构进行训练，并且通过调节可以满足不同程度的训练。
一种太极运动教学辅助装置

[发明专利]一种纳米线压力传感器及传感器阵列-CN201911109189.7有效
发明人：解婧;李超波;邢建鹏;林琳;王欢;郜晨希;郑旭 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明实施例提供的一种纳米线压力传感器及传感器阵列，包括：基底、纳米线阵列以及至少两个金属电极，所述金属电极和所述纳米线阵列均位于所述基底的同一面；所述纳米线阵列分布在所述金属电极之间，所述纳米线阵列含有两个以上的纳米线单元，每个所述纳米线单元至少与一个所述金属电极连接，所述金属电极用于给所述纳米线阵列施加电压。本发明中的纳米线压力传感器及传感器阵列具备高灵敏度可进行大面积应用。
一种纳米压力传感器传感器阵列

[发明专利]一种离子注入制作SERS基底的方法-CN201910357475.9有效
发明人：远雁;李超波;刘丽花;解婧;王欢 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-04-29 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C23C14/48 文献下载
摘要：本发明实施例提供的一种离子注入制作SERS基底的方法，包括：采用等离子体浸没离子注入的方式对单晶硅进行处理，使单晶硅的表面形成纳米柱阵列结构；在形成有纳米柱阵列的单晶硅表面蒸镀贵金属膜，使纳米柱阵列结构的侧壁上形成贵金属纳米点阵列，获得SERS基底；本发明制作的SERS基底，增强了基底的拉曼信号，解决了现有技术中基底纳米点阵列不够灵敏的缺点。
一种离子注入制作 sers 基底方法

[发明专利]一种纳米线压力传感器制备方法-CN201911109178.9有效
发明人：解婧;李超波;邢建鹏;林琳;刘金虎;刘瑞琪;郜晨希 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01L5/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供的一种纳米线压力传感器制备方法，所述方法包括：获取有机材料基底；根据需要获取的纳米线阵列结构，在所述基底上制备凹槽阵列；在所述凹槽阵列中填充导电材料，形成纳米线阵列；其中，所述纳米线阵列中包含多个纳米线单元；在所述基底上附着与所述纳米线阵列相连的金属电极，获得纳米线压力传感器；其中，每个所述纳米线单元至少连接一个所述金属电极。本发明提供的方法可制备高感知度的压力传感器，并且适用于大范围的压力传感器的制备。
一种纳米压力传感器制备方法

[发明专利]一种芯片封装的压紧装置-CN202110383132.7在审
发明人：范涛;解婧;邢建鹏;王欢;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-09 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： F16B11/00 文献下载
摘要：本发明属于微流控技术领域，公开了一种芯片封装的压紧装置，包括：基台、滑轨、载片台、滚轮、滚轮支座以及升降支架；所述滑轨固定在所述基台上，所述载片台可滑动地固定在所述滑轨上；所述滚轮两端可转动地固定在所述滚轮支座上，所述滚轮支座固定在所述升降支架上；其中，所述滚轮横跨布置在所述滑轨和所述载片台上方。本发明提供的芯片封装的压紧装置能够提升芯片双面胶结密封质量。
一种芯片封装压紧装置

[发明专利]微流体芯片-CN202110268570.9在审
发明人：刘金虎;李超波;范涛;解婧;邢建鹏;王欢 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种微流体芯片，包括：流体反应单元，流体反应单元包括进样端和出样端；进样管道，连通于流体反应单元的进样端；出样管道，连通于流体反应单元的出样端；第一气管，连通于进样管道；第二气管，连通于出样管道。该微流体芯片能够大大缩短微流体反应单元内通道的长度，能够使微流体芯片小型化、降低微流体芯片的生产成本、提高微流体芯片的便携性。
流体芯片

[发明专利]微流体芯片温控装置-CN202110268606.3在审
发明人：刘金虎;李超波;范涛;解婧;邢建鹏;王欢 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种微流体芯片温控装置，包括：恒温组件，恒温组件包括多个恒温模块，多个恒温模块间隔设置；承载件，承载件可运动地设置在恒温组件上，承载件用于承载微流体芯片。该微流体芯片温控装置，流体芯片设置在承载件上，可以基于流体芯片对反应温度的需求，分别设置每个恒温模块的恒温温度，承载件承载着流体芯片在恒温组件上运动，使得流体芯片依次经过多个恒温模块，即可使流体芯片的微室在不同温度内进行反应实现样品的扩增。在样品扩增过程中无需再次调整恒温模块的温度，无需改变恒温模块的功率，能够大大提高温控的准确性，无需频繁进行升温与降温，能够节省温度调节所需的时间，大大提高微流体芯片的反应效率。
流体芯片温控装置

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