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[发明专利]一种离子源栅网的加工方法-CN202310706231.3在审
发明人： 袁祖浩;龚俊;李明;李勇;袁伟;鲁彤;王佳方 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C22F1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子源栅网的加工方法，该加工方法包括以下步骤：将钼板材加工成栅网；在加热速率≥20℃/min的条件，将栅网加热至1200℃以上进行真空退火处理，完成对栅网的加工。本发明中，通过将栅网快速升温到1200℃以上进行真空退火处理，可将加工成型的栅网再结晶退火，去除内应力，使栅孔加工变形附近组织再结晶，以此改善组织结构，增加均匀性，增加栅网的稳定性，最终提高离子源栅网的使用寿命。进一步的，本发明中通过加工前和加工后的真空退火处理，可改善钼板材的加工性能、力学和物理性能，进而达到进一步改善栅网使用性能，提高稳定性和增加使用寿命的效果。
一种离子源加工方法

[发明专利]一种用于射频离子源的放电室及射频离子源-CN202310479641.9在审
发明人： 袁祖浩;李勇;龚俊;李明;鲁彤;袁伟;何秋福 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于射频离子源的放电室及射频离子源，放电室包括：支撑筒、第一栅格和第二栅格，第二栅格嵌套在第一栅格内周，第一栅格嵌套在支撑筒内周，支撑筒的中心位置设有进气接口，第一栅格上均布有n个第一通孔，第二栅格上均布有n个第二通孔，第一通孔的体积大于第二通孔的体积，且第一通孔的中心与第二通孔的中心对齐。本发明还公开了包含上述放电室的射频离子源。本发明具有结构紧凑、原理简单且能够延长离子源使用寿命等优点，解决了因放电室表面生成污染物而导致电磁场无法进入放电室、加速放电室的屏蔽、射频离子源无法电离等问题，提高了装置的稳定性，降低了装置的使用和维护成本。
一种用于射频离子源放电

[发明专利]一种镀膜角度可调的镀膜工件台-CN202310206905.3在审
发明人： 袁祖浩;龚俊;李勇;李明;鲁彤;张双景;周立平 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种镀膜角度可调的镀膜工件台，包括安装板、翻转轴、旋转轴、基片架、基片架安装组件、用于驱动翻转轴旋转的第一旋转驱动机构及用于驱动旋转轴旋转的第二旋转驱动机构，旋转轴可转动的安装于安装板上，翻转轴穿过旋转轴，且两端向外延伸，翻转轴可相对旋转轴转动，基片架安装组件设于安装板下方，旋转轴底部通过连接组件与基片架安装组件连接，翻转轴底部设有主动齿圈，基片架设有多个，多个基片架以翻转轴为中心沿周向间隔布置在基片架安装组件上，基片架两端均通过转轴与基片架安装组件转动连接，其中一端的转轴上设有从动齿轮，从动齿轮与主动齿圈啮合。本发明具有镀膜角度可调、无需手动开腔、提高镀膜效率的优点。
一种镀膜角度可调工件

[实用新型]一种用于生产型多靶磁控溅射系统的基片架升降装置-CN202320684440.8有效
发明人：佘鹏程;袁祖浩;龚俊;王建青;李勇;何秋福 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于生产型多靶磁控溅射系统的基片架升降装置，包括：基片架、中心管、支架组件和丝杆驱动组件；丝杆驱动组件设置在支架组件底部，中心管的一端与丝杆驱动组件的输出端连接，中心管的另一端穿过支架组件顶部与基片架连接，且支架组件上沿着中心管外周设有密封件；在丝杆驱动组件的驱动下，中心管带动基片架沿竖直方向往复升降，以实现基片架在生产型多靶磁控溅射系统的工艺腔内往复升降。本实用新型具有结构紧凑、运行稳定、定位精度高且清洁度高等优点，解决了由于液压驱动系统定位不精准且容易漏油而导致基片架升降控制难、真空腔体内部污染等问题，有利于减小基片架与扫描小车之间的交互距离，减少真空腔体尺寸。
一种用于生产型多靶磁控溅射系统基片架升降装置

[发明专利]一种用于刻蚀及溅射的工件台-CN202210842130.4在审
发明人：龚俊;袁祖浩;张双景;佘鹏程;李勇 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于刻蚀及溅射的工件台，包括腔室封板、安装座、第一驱动组件，腔室封板安装于工艺腔室上，第一驱动组件设于腔室封板上并用于驱动安装座旋转，以实现安装座相对水平面倾斜或垂直布置，安装座上设有载片台和用于驱动载片台自传的第二驱动组件，载片台上设有用于压紧基片的压紧组件，工件台还包括用于驱动压紧组件上升或下降的第三驱动组件。该工件台具有能够避免基片在工艺时移位，提高工艺的稳定性，防止基片表面受到污染，提高刻蚀或溅射时的均匀性等优点。
一种用于刻蚀溅射工件

[外观设计]外延设备-CN202230240881.X有效
发明人：胡志坤;胡凡;巴赛;陈国钦;袁祖浩 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：外延设备。2.本外观设计产品的用途：用于碳化硅外延生长的设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
外延设备

[发明专利]一种离子束镀膜设备及其镀膜方法-CN202110063794.6有效
发明人：范江华;佘鹏程;周立平;巴塞;袁祖浩;程文进 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2021-01-18 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C23C14/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子束镀膜设备及其镀膜方法，该设备包括传送腔室和连接在传送腔室上的装卸片腔室、镀膜腔室和清洗腔室，它们之间设有隔离阀，传送腔室内设有转运机构。镀膜方法采用的是上述设备进行镀膜处理。本发明中，装卸片腔室，用于存放不同类型的基片，传送腔室，实现基片在装卸片腔室、镀膜腔室和清洗腔室之间的转运，镀膜腔室，可实现对多个基片进行同时镀膜，也可实现多种类型膜层的制备，清洗腔室，可去除基片表面的脏污及氧化物，提高薄膜与基片之间的附着力。本发明离子束镀膜设备可实现基片的连续清洗和连续镀膜，可实现连续生产，提高生产效率，降低生产成本，能够满足基片(如红外器件)对大尺寸、低损伤、低温镀膜工艺的要求。
一种离子束镀膜设备及其方法

[实用新型]一种基片台装置-CN202120536380.6有效
发明人：胡凡;龚俊;袁祖浩 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基片台装置，包括真空腔室、设于真空腔室内的基片台、以及穿设于真空腔室上并与基片台相连的转轴，所述转轴与所述基片台相连的一端套设有用于对基片台加热的加热盘，所述基片台内设有冷却液流道，所述转轴内设有与所述冷却液流道连通的冷却液输入通道和冷却液输出通道。本实用新型具有能对基片进行加热、冷却并带动基片旋转，适应不同的镀膜工艺需求等优点。
一种基片台装置

[发明专利]一种适用于外延炉的衬底传送装置-CN202110320187.3在审
发明人：陈国钦;胡凡;袁祖浩;巴赛 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于外延炉的衬底传送装置，包括依次相连的机械手、悬臂以及托盘，所述悬臂上设有沿悬臂长度方向布置的移动杆以及与移动杆配合的位置传感器，所述移动杆上设有定位块，所述悬臂与所述移动杆之间设有弹性复位件。本发明具有结构简单、有利于提高高温环境下的重复传送精度等优点。
一种适用于外延衬底传送装置

[发明专利]一种碳化硅外延炉反应室-CN202110137060.8在审
发明人：巴赛;胡凡;陈国钦;袁祖浩;巩小亮;林伯奇;龙长林 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种碳化硅外延炉反应室，包括石英管、第一密封法兰、第二密封法兰以及密封件，所述石英管外周设有水冷夹套且内部设有反应装置，所述第一密封法兰套设于所述石英管外周并与所述水冷夹套抵接，所述第二密封法兰与所述第一密封法兰相连，所述密封件夹设于第一密封法兰与第二密封法兰之间，所述第二密封法兰内设有隔热筒，所述隔热筒端部与所述反应装置抵接。本发明具有结构简单、可靠，有利于防止密封圈高温失效等优点。
一种碳化硅外延反应

[发明专利]一种锆铌合金表面非化学计量比氧化膜及其制备方法-CN201711156469.4有效
发明人：汪瑞军;詹华;关成军;袁祖浩 -专利权人：北京金轮坤天特种机械有限公司;中国农业机械化科学研究院
申请日： 2017-11-20 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： C23C8/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种锆铌合金表面非化学计量比氧化膜及其制备方法，将锆铌合金材料表面依次进行研磨和抛光，在含氧气氛炉中对锆铌合金进行直接氧化处理。本发明在锆铌合金材料表面获得锆氧比为1:(1～2)的非化学计量比的氧化膜，膜层的努氏硬度可达1200～1500HK。本发明所提供的锆铌合金材料表面制备非化学计量比氧化锆膜的方法，可有效改善锆铌合金的努氏硬度、提高表面氧化膜的致密性，从而改善其耐磨性和耐蚀性。
锆铌合金非化学计量比氧化膜制备努氏硬度耐磨性和耐蚀性表面氧化膜含氧气氛炉研磨和抛光氧化锆膜直接氧化致密性膜层锆氧

[实用新型]一种电驱动汽车制动能量回收装置-CN201320550631.1有效
发明人：许黄龙;谢竹生;曾晓鹏;李琦;袁祖浩;史国栋 -专利权人：长沙理工大学
申请日： 2013-09-06 - 公布日： 2014-03-05 - 主分类号： B60L7/10 文献下载
摘要：一种电驱动汽车制动能量回收装置，包括制动踏板传感器、油门踏板传感器、转速传感器、常闭式电磁离合器、电机及电机自带的电机控制器、小齿轮、大齿轮、常开式电磁离合器、转角传感器、联轴器、扭杆弹簧及控制器。所述电驱动汽车制动能量回收装置安装在电机与汽车的驱动桥之间，汽车制动时，电机处于发电机模式发电，回收制动能量，当汽车制动至较低车速时，电机转速下降，能量回收率低，此时扭杆弹簧被加载储能，停车、解除制动或者扭杆弹簧达极限扭转角且驾驶员未踩油门踏板时，扭杆弹簧释放能量带动电机发电，再一次回收能量。本专利在现有电动汽车制动能量回收的基础上，增加为数不多的零件，较多的回收汽车制动能量，提高了电驱动汽车的制动能量回收利用率。
一种驱动汽车制动能量回收装置

[发明专利]一种电驱动汽车制动能量回收装置-CN201310400085.8有效
发明人：谢竹生;许黄龙;曾晓鹏;李琦;袁祖浩;史国栋 -专利权人：长沙理工大学
申请日： 2013-09-06 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： B60L7/10 文献下载
摘要：一种电驱动汽车制动能量回收装置，包括制动踏板传感器、油门踏板传感器、转速传感器、常闭式电磁离合器、电机及电机自带的电机控制器、小齿轮、大齿轮、常开式电磁离合器、转角传感器、联轴器、扭杆弹簧及控制器。所述电驱动汽车制动能量回收装置安装在电机与汽车的驱动桥之间，汽车制动时，电机处于发电机模式发电，回收制动能量，当汽车制动至较低车速时，电机转速下降，能量回收率低，此时扭杆弹簧被加载储能，停车、解除制动或者扭杆弹簧达极限扭转角且驾驶员未踩油门踏板时，扭杆弹簧释放能量带动电机发电，再一次回收能量。本发明在现有电动汽车制动能量回收的基础上，增加为数不多的零件，较多的回收汽车制动能量，提高了电驱动汽车的制动能量回收利用率。
一种驱动汽车制动能量回收装置

[实用新型]一种弹簧储能式汽车制动能量回收装置-CN201320307041.6有效
发明人：史国栋;谢竹生;袁祖浩;许黄龙;曾晓鹏;李琦;张子宁 -专利权人：长沙理工大学
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： B60T17/00 文献下载
摘要：一种弹簧储能式汽车制动能量回收装置，包括齿轮、发电机、轴承、闭式离心离合器、电磁离合器、控制器、扭杆弹簧、转速传感器、制动踏板位置传感器、转角传感器。所述弹簧储能式汽车制动能量回收装置安装在汽车的驱动桥之前，从传动轴获取动力。汽车制动时，传动轴通过接合的电磁离合器带动发电机发电，发出的电能给蓄电池充电，回收制动能量，当汽车制动至较低车速时，发电机转速下降，能量回收率低，此时扭杆弹簧被加载储能，解除制动或者扭杆弹簧达极限扭转角时，扭杆弹簧释放能量带动发电机发电，再一次回收能量。发电机发电及扭杆弹簧被加载吸收机械能产生的制动力是有别于车轮制动器的非摩擦式制动力，安全高效。
一种弹簧储能式汽车制动能量回收装置

[发明专利]一种弹簧储能式汽车制动能量回收装置-CN201310210159.1有效
发明人：谢竹生;史国栋;袁祖浩;许黄龙;曾晓鹏;李琦;张子宁 -专利权人：长沙理工大学
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2013-08-28 - 主分类号： B60L7/10 文献下载
摘要：一种弹簧储能式汽车制动能量回收装置，包括齿轮、发电机、轴承、闭式离心离合器、电磁离合器、控制器、扭杆弹簧、转速传感器、制动踏板位置传感器、转角传感器。所述弹簧储能式汽车制动能量回收装置安装在汽车的驱动桥之前，从传动轴获取动力。汽车制动时，传动轴通过接合的电磁离合器带动发电机发电，发出的电能给蓄电池充电，回收制动能量，当汽车制动至较低车速时，发电机转速下降，能量回收率低，此时扭杆弹簧被加载储能，解除制动或者扭杆弹簧达极限扭转角时，扭杆弹簧释放能量带动发电机发电，再一次回收能量。发电机发电及扭杆弹簧被加载吸收机械能产生的制动力是有别于车轮制动器的非摩擦式制动力，安全高效。
一种弹簧储能式汽车制动能量回收装置

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