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[发明专利]一种采用多层薄膜介质的声表面波气体传感器-CN202210338243.0在审
发明人：王文;崔柏乐;薛蓄峰;程利娜;张玉凤 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用多层薄膜介质的声表面波气体传感器，所述声表面波气体传感器包括压电晶体(4)、加热电阻丝(3)、电气输入引脚(7)、电气输出引脚(8)、第一个叉指换能器(5)以及第二个叉指换能器(6)，在第一个叉指换能器(5)和第二个叉指换能器(6)的表面以及第一个叉指换能器(5)和第二个叉指换能器(6)中间的声传播路径上沉积温补介质薄膜(2)，在温补介质薄膜(2)表面沉积大面积气敏薄膜(1)。本发明可获得快速响应、高灵敏度、低温漂以及具有较高表面温度均匀性的声表面波气体传感器。
一种采用多层薄膜介质表面波气体传感器

[发明专利]一种利用气敏薄膜加热的声表面波气体传感器-CN202210338245.X在审
发明人：王文;崔柏乐;薛蓄峰;程利娜;张玉凤 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用气敏薄膜加热的声表面波气体传感器，所述声表面波气体传感器包括电气引脚(1)、金属基座(2)、电气引线(3)、声表面波器件(4)、保护薄膜(5)以及气敏薄膜(6)，气敏薄膜(6)包括蛇形气敏薄膜与块状气敏薄膜，蛇形气敏薄膜与声表面器件(4)中的叉指换能器形状相同，块状气敏薄膜与声表面器件(4)中的叉指换能器之间的声传播路径形状相同；蛇形气敏薄膜与块状气敏薄膜采用并联或串联的方式通过电气引线(3)连接电气引脚(1)。本发明能够有效增强气敏薄膜吸附特性，调节并控制器件温度以及表面温度分布，进而提高声表面波气体传感器响应速度、灵敏度以及稳定性。
一种利用薄膜加热表面波气体传感器

[发明专利]一种具有局部表面超高温度均匀性的微加热器-CN202111550625.1在审
发明人：王文;崔柏乐;薛蓄峰;程利娜 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H05B3/02 文献下载
摘要：本发明涉及微加热器领域，特别涉及一种具有局部表面超高温度均匀性的微加热器，包括：衬底(1)、蛇形加热电阻丝(2)和引线引脚(3)；蛇形加热电阻丝(2)沿衬底(1)宽度方向以相同长度的方式折叠排布，并沿衬底(1)长度方向以等间距的方式折叠排布；其阻值沿衬底(1)长度方向，按照沿衬底(1)长度方向变化的权函数变化，使蛇形加热电阻丝(2)在靠近衬底(1)的边缘处，具有最小的宽度和/或厚度，在衬底(1)中心对应位置具有最大的宽度和/或厚度。本发明提供的微加热器对蛇形加热电阻丝(2)进行加权设计，通过对衬底边界处热损失的补偿来实现局部表面超高温度均匀性的微加热器设计。
一种具有局部表面超高温度均匀加热器

[实用新型]一种应用于电力开关柜局部放电检测的特高频传感器-CN202221519584.X有效
发明人：王文;薛蓄峰;邹颖;程利娜 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用于电力开关柜局部放电检测的特高频传感器，所述特高频传感器包括传感器外壳(101)、传感器主体(102)、传感器底座(103)、底座固定组件(104)和SMA射频接口(105)；所述传感器主体(102)固定在传感器底座(103)上，传感器外壳(101)将传感器主体(102)罩在内部并固定在传感器底座(103)上；传感器主体(102)上焊接SMA射频接口(105)，SMA射频接口(105)从传感器外壳(101)上的开口伸出；所述传感器底座(103)的底面上设置底座固定组件(104)。传感器结构简单合理，具有超薄、易于生产调试、成本低和安装方便的优点。
一种应用于电力开关柜局部放电检测高频传感器

[发明专利]一种延迟线型声表面波电压传感器及电压检测方法-CN202211011822.0在审
发明人：王文;崔柏乐;薛蓄峰;程利娜 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种延迟线型声表面波电压传感器及电压检测方法。所述电压传感器包括：压电晶体；第一叉指电极；第二叉指电极；敏感薄膜；线圈。本申请所设计的延迟线型声表面波电压传感器通过线圈将待测电压信号所产生的磁场作用于敏感薄膜，诱导敏感薄膜产生磁阻或者磁致伸缩效应，并作用于声表面波，从而利用电‑磁‑声之间的转换机制，可以从声表面波的频率/相位/幅度等信息中解耦出电压信息，本申请所设计的延迟线型声表面波电压传感器具有微型、快速响应以及高灵敏度的特点。
一种延迟线型表面波电压传感器检测方法

[发明专利]一种聚苯胺敏感膜声表面波氨气传感器及其镀膜方法-CN202210496696.6在审
发明人：王文;陆铭慧;孙鑫洋;薛蓄峰;何新军;高旭;刘勋丰;朱颖 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚苯胺敏感膜声表面波氨气传感器及其镀膜方法，所述声表面波氨气传感器包括压电基底(1)，其上表面对置声表面波叉指换能器(2)，对置的声表面波叉指换能器(2)的中间部分为镀膜区(3)，镀膜区(3)表面涂覆聚苯胺敏感层(4)。本发明对氨气具有良好的室温气敏性能，提高了传感器的响应速度，使得传感器在室温条件下对氨气具有快速响应时间的特点。
一种苯胺敏感表面波氨气传感器及其镀膜方法

[实用新型]一种敏感膜图形化的谐振型声表面波湿度传感器-CN202220558893.1有效
发明人：王文;陆铭慧;何新军;薛蓄峰;高旭;刘勋丰;朱颖 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2022-03-15 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01N29/036 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种敏感膜图形化的谐振型声表面波湿度传感器，所述湿度传感器包括压电基底(1)，压电基底(1)的上表面设置声表面波叉指换能器(2)，声表面波叉指换能器(2)的两侧分别设置声表面波反射栅(4)，在声表面波叉指换能器(2)和声表面波反射栅(4)的表面涂覆图形化敏感膜(3)。本实用新型通过敏感膜图形化的方法降低了谐振器器件损耗，采用耐辐射性强的敏感膜结构、铌酸锂压电基底及铝电极结构，确保了传感器在辐射环境下的稳定性，在相对湿度区间为10％‑100％的条件下，可以达到3％的灵敏度，用于核电站反应堆冷却系统管道泄露监测可解决核冷却管道泄露高湿度监控布线难、维护难的问题。
一种敏感图形谐振表面波湿度传感器

[实用新型]一种反射延迟线型声表面波湿度传感器-CN202220558502.6有效
发明人：王文;陆铭慧;何新军;薛蓄峰;高旭;刘勋丰;朱颖 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2022-03-15 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种反射延迟线型声表面波湿度传感器，所述声表面波湿度传感器包括压电基底(1)，压电基底(1)上表面设置声表面波叉指换能器(2)和声表面波反射栅(4)，声表面波反射栅(4)设置在声表面波叉指换能器(2)的两侧，在声表面波叉指换能器(2)和一侧的声表面波反射栅(4)之间设置镀膜区(3)，镀膜区(3)的表面涂覆敏感层(5)。本实用新型通过采用耐辐射性强的敏感层结构、铌酸锂压电基底及铝电极结构，确保了传感器在辐射环境下的稳定性，相对湿度区间为10％‑100％的条件下，可以达到5％的灵敏度，用于核电站反应堆冷却系统管道泄露监测的可解决核冷却管道泄露高湿度监控布线难、维护难的问题。
一种反射延迟线型表面波湿度传感器

[发明专利]一种声表面波气体传感器的镀膜方法-CN202210365600.2在审
发明人：王文;陆铭慧;何新军;薛蓄峰;高旭;刘勋丰;朱颖 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面波气体传感器的镀膜方法，所述镀膜方法的步骤包括：1)旋涂或滴涂SXFA溶液至镀膜区(3)；2)将声表面波气体传感器在50‑80℃的烘干温度下，进行1‑2小时的烘干；3)在烘干期间，镀膜专用声表面波叉指换能器(6)交替产生声表面波，驱动SXFA溶液均匀分布在镀膜区(3)的金属膜(7)的表面上；4)烘干完成后去除镀膜专用声表面波叉指换能器(6)。本发明减少了烘干过程中产生的聚合物分子团聚现象，降低了传感器器件损耗，提高了传感器响应幅度。
一种表面波气体传感器镀膜方法

[发明专利]一种敏感膜图形化的谐振型声表面波湿度传感器-CN202210252451.9在审
发明人：王文;陆铭慧;何新军;薛蓄峰;高旭;刘勋丰;朱颖 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2022-03-15 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01N29/036 文献下载
摘要：本发明公开了一种敏感膜图形化的谐振型声表面波湿度传感器，所述湿度传感器包括压电基底(1)，压电基底(1)的上表面设置声表面波叉指换能器(2)，声表面波叉指换能器(2)的两侧分别设置声表面波反射栅(4)，在声表面波叉指换能器(2)和声表面波反射栅(4)的表面涂覆图形化敏感膜(3)。本发明通过敏感膜图形化的方法降低了谐振器器件损耗，采用耐辐射性强的敏感膜结构、铌酸锂压电基底及铝电极结构，确保了传感器在辐射环境下的稳定性，在相对湿度区间为10％‑100％的条件下，可以达到3％的灵敏度，用于核电站反应堆冷却系统管道泄露监测可解决核冷却管道泄露高湿度监控布线难、维护难的问题。
一种敏感图形谐振表面波湿度传感器

[发明专利]调频驱动电路、调频驱动方法、驱动装置-CN202210262842.9在审
发明人：陈显平;薛蓄峰;王文 -专利权人：重庆大学
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： B05B17/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种调频驱动电路、调频驱动方法、驱动装置，调频驱动电路能够与雾化器连接，包括：处理器；频率跟踪模块，用于获取雾化器的工作参数，处理器根据工作参数确定雾化器的谐振频率；频率综合模块，处理器控制频率综合模块同步生成信号频率为谐振频率的第一激励信号；功率放大模块，功率放大模块的输入端与频率综合模块的第二端相连，处理器控制功率放大模块将第一激励信号调整为目标电平的驱动信号，并输出驱动信号。本发明提供的调频驱动电路，通过频率跟踪模块实时监测雾化器在雾化过程中由升温引起的谐振频率变化情况，并根据监测信息调整输出激励信号的频率与幅度参数，提高了能量利用率，延长了雾化器的使用寿命。
调频驱动电路方法装置

[发明专利]一种MEMS-IDT加速度传感器-CN201910842007.0有效
发明人：王文;范淑瑶;薛蓄峰;梁勇;刘梦伟 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS‑IDT加速度传感器，所述加速度传感器包括：硅基悬臂梁及制备于悬臂梁应力集中之处的声表面波敏感元件以及制备于硅基悬臂梁自由端的质量振子。所述的硅基悬臂梁为采用深度刻蚀工艺制备的单自由度梁。所述的声表面波敏感元件包括低阻抗温补层、压电基片和钝化层。其中，所述低阻抗温补层沉积在所述硅基悬臂梁上；所述压电基片沉积在所述低阻抗温补层上；所述压电基片的上表面设置有声表面波器件图形；所述钝化层沉积于声表面波器件图形表面。该加速度传感器通过MEMS硅基悬臂梁与多层复合薄膜结构的温补型SAW相结合，解决了传统MEMS加速度传感器的大温漂问题，并具有微纳体积、高灵敏度和低功耗等特点。
一种 mems idt 加速度传感器

[发明专利]一种反射延迟线型声表面波湿度传感器-CN202210252230.1在审
发明人：王文;陆铭慧;何新军;薛蓄峰;高旭;刘勋丰;朱颖 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2022-03-15 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种反射延迟线型声表面波湿度传感器，所述声表面波湿度传感器包括压电基底(1)，压电基底(1)上表面设置声表面波叉指换能器(2)和声表面波反射栅(4)，声表面波反射栅(4)设置在声表面波叉指换能器(2)的两侧，在声表面波叉指换能器(2)和一侧的声表面波反射栅(4)之间设置镀膜区(3)，镀膜区(3)的表面涂覆敏感层(5)。本发明通过采用耐辐射性强的敏感层结构、铌酸锂压电基底及铝电极结构，确保了传感器在辐射环境下的稳定性，相对湿度区间为10％‑100％的条件下，可以达到5％的灵敏度，用于核电站反应堆冷却系统管道泄露监测的可解决核冷却管道泄露高湿度监控布线难、维护难的问题。
一种反射延迟线型表面波湿度传感器

[发明专利]一种基于FPC基板的系统级芯片-CN202110425143.7在审
发明人：王文;薛蓄峰;齐敏 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： H01L23/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于FPC基板的系统级芯片，涉及集成电路封装技术领域，能够进一步实现系统级芯片的小型化，且具有不易形变、容易键合的特点；该芯片包括封装管壳、有源器件、无源器件和FPC板；所述封装管壳设有内凹空间，所述FPC板设置于所述内凹空间底部；所述有源器件和所述无源器件布设在所述FPC板上；所述内凹空间的顶部用密封胶封装；FPC板采用四周环绕绝缘胶的方式固定在所述内凹空间的底部。本发明提供的技术方案适用于系统级芯片封装设计、制造的过程中。
一种基于 fpc 系统芯片

[发明专利]一种基于反射延迟线的声表面波结冰传感器及其系统-CN201911075381.9在审
发明人：王文;尹怡宁;贾雅娜;刘梦伟;梁勇;薛蓄峰 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G01S15/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于反射延迟线的声表面波结冰传感器及其系统，该传感器包括：压电晶片基片、叉指换能器、第一反射器、储水装置、第二反射器、第三反射器；还包括波导层和与叉指换能器连接的信号传输天线；信号传输天线用于与外部射频读取模块进行信号交互。该系统，包括：前述声表面波结冰传感器和射频读取模块。根据第一反射器、第二反射器和第三反射器形成的反射波，确定储水装置的结冰状态。采用微流控芯片来储存水，并结合宽带低损耗的微带天线与高分辨率的步进调频雷达，实现一种具有高灵敏度、良好的温度稳定性以及快速响应的新型无线无源声表面波结冰传感器。
一种基于反射延迟线表面波结冰传感器及其系统

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