专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体结构及其形成方法-CN201811450645.X有效
  • 倪志荣;周全启;蔡耀庭 - 华邦电子股份有限公司
  • 2018-11-30 - 2023-07-14 - H01L29/06
  • 本发明提供一种半导体结构及其形成方法,包括基板、栅极结构、以及第一间隔物。上述栅极结构包括浮动栅极结构、栅极间介电层、及控制栅极结构。上述浮动栅极结构设置在基板上。上述栅极间介电层设置在浮动栅极结构上。上述控制栅极结构设置在栅极间介电层上,且包括电极层、接触层及盖层。电极层设置在栅极间介电层上。接触层设置在电极层上。盖层设置在接触层上。上述第一间隔物设置在上述控制栅极结构的侧壁上,并覆盖电极层、接触层、及盖层,且第一间隔物的底面介于电极层的底面及顶面间。本发明可避免制造半导体结构时所发生的扩散现象,防止发生字线漏电的问题,减轻在沉积牺牲多晶硅时所产生的孔洞或缝隙,从而增加工艺良率。
  • 半导体结构及其形成方法
  • [发明专利]存储装置及其制造方法-CN202111625514.2在审
  • 庄哲辅;蔡耀庭;廖修汉 - 华邦电子股份有限公司
  • 2021-12-28 - 2023-07-11 - H10B41/35
  • 本发明提供一种存储装置,包括:堆叠结构及位于堆叠结构两侧的衬底中的第一源极/漏极区与第二源极/漏极区;第一自对准接触窗,连接第一源极/漏极区;第二自对准接触窗,位于第二源极/漏极区上;第一衬层结构,位于第一自对准接触窗与堆叠结构的第一侧壁之间;第二衬层结构,位于第二自对准接触窗与堆叠结构的第二侧壁之间。第一衬层结构与第二衬层结构不连接,且未覆盖在堆叠结构上方。
  • 存储装置及其制造方法
  • [发明专利]非易失性存储器装置及其制造方法-CN201810908682.4有效
  • 陈建廷;蔡耀庭;张荣和;廖修汉 - 华邦电子股份有限公司
  • 2018-08-10 - 2023-04-07 - H10B41/30
  • 本发明提供一种非易失性存储器装置及其制造方法,该方法包括以下步骤:形成多个隔离结构于基板中;形成第一多晶硅层于基板上且位于两个相邻的隔离结构之间;进行第一注入工艺,以将第一掺质注入于第一多晶硅层及隔离结构中;部分地移除隔离结构,以使隔离结构的每一者的剩余部分具有实质平坦的顶表面;在部分地移除隔离结构之后进行退火工艺,以使第一掺质均匀扩散于第一多晶硅层中;形成介电层于第一多晶硅层上,以及形成第二多晶硅层于介电层上。通过本发明能够改善非易失性存储器装置的电性效能、良率及可靠度。
  • 非易失性存储器装置及其制造方法
  • [发明专利]非挥发性存储器装置的制造方法-CN202011580103.1在审
  • 吴建贤;林俊宏;蔡高财;蔡耀庭 - 华邦电子股份有限公司
  • 2020-12-28 - 2022-06-10 - H01L27/11521
  • 本发明提供了一种非挥发性存储器装置的制造方法。此方法包括形成沟槽穿过牺牲层且延伸至基板中,填入第一绝缘材料于沟槽中,以及通过注入工艺将掺质注入于第一绝缘材料中。之后,部分地移除第一绝缘材料,以形成第一凹口于牺牲层之间。第一凹口的最低点低于基板的顶表面。此方法包括填入第二绝缘材料于第一凹口中,以及移除牺牲层,以形成第二凹口相邻于第二绝缘材料。此方法包括形成第一多晶硅层于第二凹口中,以及依序形成介电层及第二多晶硅层于第一多晶硅层上。
  • 挥发性存储器装置制造方法
  • [发明专利]存储元件及其制造方法-CN201610666685.2有效
  • 庄哲辅;廖修汉;蔡耀庭 - 华邦电子股份有限公司
  • 2016-08-15 - 2022-05-10 - H01L27/11521
  • 本发明涉及一种存储元件及其制造方法,所述存储元件包括基底与栅极结构。栅极结构位在基底上。栅极结构包括堆叠栅极以及位在堆叠栅极旁的选择栅极。选择栅极的最高顶面低于堆叠栅极的最高顶面。通过在现有的存储元件的堆叠栅极区域中形成堆叠栅极与选择栅极。在不增加栅极面积的情况下,本发明存储元件可具有高程序化效率、减少干扰、增加数据保持与循环耐久裕度、低功率消耗以及避免过度抹除等功效。
  • 存储元件及其制造方法
  • [发明专利]半导体结构及其制造方法与闪存-CN202010797928.2在审
  • 蔡耀庭;廖修汉;庄哲辅 - 华邦电子股份有限公司
  • 2020-08-10 - 2022-02-22 - H01L27/11526
  • 本发明提供一种半导体结构及其制造方法与闪存。所述半导体结构包括衬底、多个第一隔离结构、栅极结构以及氧化物层。第一隔离结构在衬底的周边区中将衬底界定出第一有源区。氧化物层设置于第一有源区中的衬底上,且被第一隔离结构覆盖。氧化物层与第一隔离结构界定出暴露衬底的开口。栅极结构设置于第一有源区中的衬底上,且包括设置于开口中的衬底上的栅介电层以及设置于栅介电层上的栅极。氧化物层位于栅介电层的周围。栅极的底表面的宽度小于第一有源区的顶表面的宽度。
  • 半导体结构及其制造方法闪存
  • [发明专利]半导体装置-CN201810047661.8有效
  • 陈伦伦;廖修汉;蔡耀庭 - 华邦电子股份有限公司
  • 2018-01-18 - 2021-05-28 - H01L23/544
  • 本发明提供一种半导体装置,包括:基板、位于基板上的介电层、位于介电层中的引线孔以及位于介电层上的测试垫,其中测试垫于其俯视图中包括:至少三个第一导电带,第一导电带彼此间隔开且排列在不同行上,其中第一导电带通过第一导电条电性及物理连接,第一导电条在不同行间以交错的方式排列;其中引线孔设置在第一导电带下。本发明可改进分割速度并可增加良品率。
  • 半导体装置
  • [实用新型]一种铸造模具抽芯结构-CN202020456511.5有效
  • 宣闯;蔡耀庭 - 无锡千百川机械有限公司
  • 2020-04-01 - 2021-03-02 - B22C9/10
  • 本实用新型提供一种铸造模具抽芯结构,其结构简单,其较好的避免了抽芯过程中砂芯的抽断,较好地保证了砂芯的成型,避免了浪费,较好地降低了生产成本,其包括模具体,所述模具体内设置有砂芯型腔,所述模具体上对应所述砂芯型腔设置有抽块,其特征在于:所述抽块上对应所述砂芯型腔设置有顶杆,所述顶杆端部设置有压紧装置,所述模具体上对应所述顶杆设置有限位杆。
  • 一种铸造模具结构
  • [发明专利]半导体组件及其制造方法-CN201910716001.9在审
  • 蔡耀庭;陈江宏;庄哲辅;洪文 - 华邦电子股份有限公司
  • 2019-08-05 - 2021-02-05 - H01L23/00
  • 本发明提供一种半导体组件及其制造方法,所述制造方法包括以下步骤。在衬底上形成彼此分离的第一密封环与第二密封环。在所述衬底上形成保护层,覆盖所述第一密封环与所述第二密封环,其中所述第一密封环与所述第二密封环之间的所述保护层具有凹面。移除位于所述凹面处的所述保护层以及所述第一密封环上的部分所述保护层,于所述第一密封环的侧壁形成间隙壁,并在所述保护层中形成开口,所述开口的宽度大于所述第一密封环的宽度,且所述开口裸露出所述第一密封环的顶面以及所述间隙壁。
  • 半导体组件及其制造方法

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