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- [实用新型]一种半导体设备陶瓷件-CN202320982471.1有效
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周小琳
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2023-04-26
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2023-10-10
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F16L41/08
- 本实用新型公开了一种半导体设备陶瓷件，涉及半导体加工技术领域，该半导体设备陶瓷件，包括第一陶瓷圆盘和安装在第一陶瓷圆盘一侧表面的第二陶瓷圆盘，所述第一陶瓷圆盘的另一侧表面安装有气密连接机构，所述第二陶瓷圆盘的内部开设有主气动孔，所述主气动孔外侧的第二陶瓷圆盘一侧表面开设有若干个延展槽，所述延展槽之间连接有连接横槽，所述延展槽外侧的第二陶瓷圆盘一侧表面开设有防落槽。本实用新型通过气动接管连通主气动孔，通过连接横槽进一步连接至延展槽，同时通过防落槽和加强吸附孔进一步增大吸附面积和吸附力，保证了晶圆转移过程中的稳定性，避免由于晶圆存在翘曲变形的情况，导致在搬运此类晶圆时发生真空泄露的问题。
- 一种半导体设备陶瓷
- [发明专利]一种晶圆搬运装置-CN202310721552.0在审
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周小琳;张峰宁
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2023-06-19
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2023-08-25
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H01L21/677
- 本申请涉及一种晶圆搬运装置，涉及搬运设备领域，为了解决自动化程度高的工厂对晶圆的搬运精准便捷，且机械手的适应性更高，但与此同时，自动化程度高的设备价格都较高的问题，本申请的方案包括横纵移动机构，所述横纵移动机构上设置有伸缩气缸，所述伸缩气缸的活塞杆上铰接有第一转动板和第二转动板，所述第一转动板和第二转动板之间设置有控制两者角度的角度调节组件；所述第一转动板远离伸缩气缸的一端设置有第一夹持板，所述第二转动板远离伸缩气缸的一端设置有第二夹持板，所述第一夹持板和第二夹持板相对方向的侧壁均设置有柔软垫。本申请具有实现晶圆搬运且适应性高的基础设备的效果。
- 一种搬运装置
- [发明专利]一种等离子体清洗设备-CN202310686079.7在审
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周小琳;张峰宁
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2023-06-12
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2023-08-11
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B08B7/00
- 本申请涉及一种等离子体清洗设备，涉及半导体行业中对基板清洗的领域，尤其是涉及一种等离子体清洗设备。其包括等离子体喷射模块及基板输送模块，所述基板输送模块包括输送轨道、经过输送轨道的输送带、分布于输送带上的若干基板座，所述基板座转动设置有安装平台，所述输送轨道或所述基板座设置有用于驱使安装平台相对于基板座转动的驱动件。实际加工过程中，基板安装至安装平台上，安装平台随输送带的传送沿输送轨道运动，运动过程中，驱动件持续地驱使安装平台转动，从而使得等离子体喷射模块喷出的等离子体最终落在持续旋转的基板上，这样，即可使得等离子体的实际喷射均匀度不易受到基板输送速度不均带来的影响。
- 一种等离子体清洗设备
- [实用新型]一种高精度半导体设备气体喷淋头-CN202320720048.4有效
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周小琳
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2023-04-04
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2023-08-08
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C23C16/455
- 本实用新型公开了一种高精度半导体设备气体喷淋头，属于气体喷淋头领域。一种高精度半导体设备气体喷淋头，包括：喷淋头本体，所述喷淋头本体上部连接有连接管，所述连接管内侧腔体部位由上到下依次设置有过滤板、喷淋板；本实用新型中，通过在喷淋头本体的侧边中心对称设置三组固定件可有效将喷淋板连接固定在喷淋头本体底部，利用固定件上滑槽及按压组件上插杆的相互配合可快速完成对喷淋板的装配与拆卸，同时方便了操作人员对喷淋板与喷淋头本体内过滤板检修及更换；设置驱动组件可驱动清扫组件上的内侧刮板、外侧刮板分别对喷淋板内外表面沉积的副产物进行及时清除，避免了喷淋板上的喷淋气孔堵塞，确保了气体的输送效率。
- 一种高精度半导体设备气体喷淋
- [实用新型]一种半导体蚀刻工艺专用石英环-CN202320717292.5有效
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周小琳
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2023-04-04
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2023-08-01
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H01L21/683
- 本实用新型公开了一种半导体蚀刻工艺专用石英环，属于半导体蚀刻工艺领域。一种半导体蚀刻工艺专用石英环，包括：石英保护环，所述石英保护环内侧嵌合设置有晶圆承载盘，所述石英保护环外侧嵌合设置有接地承载盘；本实用新型中，通过在石英保护环上设置吸附区，方便了在对石英保护环整体向上拆卸过程中配合拆装装置上的弧形吸嘴吸附，且吸附区微微凹入，增大了弧形吸嘴的吸附面积，使得真空负压吸附时更为紧固；石英保护环上的凸点与接地承载盘上圆孔相互匹配卡接，防止了石英保护环在工作时脱离偏位，再配合石英保护环上嵌入环、凸块与圆槽一、平口及圆槽二的相互匹配嵌合，保证了石英保护环安装过程中位置更加精准，装配质量更加稳定。
- 一种半导体蚀刻工艺专用石英
- [实用新型]一种蚀刻去胶机用半导体刮胶设备-CN202220546827.2有效
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周小琳
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2022-03-14
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2023-02-17
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H01L21/67
- 本实用新型涉及半导体封装技术领域，且公开了一种蚀刻去胶机用半导体刮胶设备，包括基板及设置在所述基板表面的晶片，所述晶片的上方设置有支撑架，所述支撑架的内部包括有调节机构。该蚀刻去胶机用半导体刮胶设备，在对晶片进行刮胶时，启动驱动齿轮的连接电机，驱动齿轮与调节齿板啮合传动，进而在调节腔内部移动，在移动过程中，驱动齿轮带动连接轴及夹块底部的刮片移动，通过限位板的限制，刮片对晶片侧面溢出的胶水进行刮除，当晶片尺寸改变时，通过调节机构可调节刮片的位置再次对胶水刮除，不需要移动晶片及基板，达到了在晶片及基板被装夹固定时，调节刮片位置便于对不同尺寸晶片刮胶的目的。
- 一种蚀刻去胶机用半导体设备
- [实用新型]一种黄光烤箱的石英托盘-CN202220545822.8有效
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周小琳
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2022-03-14
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2022-07-19
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F26B9/06
- 本实用新型涉及石英托盘技术领域，且公开了一种黄光烤箱的石英托盘，包括托盘主体，固定板，所述固定板固定安装在烤箱的内壁上，所述托盘主体的底部固定安装有支架，所述支架的内部开设有安装孔，两个所述安装孔相对的一侧转动安装有转轮，所述转轮的顶部固定安装有热缩杆，所述安装孔顶部的内壁固定安装有制动板，所述固定板的内部开设有滑道，所述转轮在所述滑道内部滑动。通过托盘主体放置到烤箱内部后，由于烤箱工作过程中温度会不断升高，将会引起热缩杆收缩，热缩杆带动着转轮竖直向上移动，转轮将会与制动板接触，制动板对转轮进行制动，避免了烤箱工作过程中，托盘主体因为滑动将托盘主体上方的物品掉落的问题。
- 一种烤箱石英托盘
- [实用新型]一种12寸晶圆炉管搬运治具-CN202220546832.3有效
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周小琳
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2022-03-14
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2022-07-19
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B62B3/02
- 本实用新型涉及晶圆技术领域，且公开了一种12寸晶圆炉管搬运治具，包括底板，所述底板的底部安装有支撑轮，所述底板的顶部安装有拉杆，所述底板的顶部固定连接有固定柱，所述固定柱的内部螺纹连接有升降丝杆，所述升降丝杆的外壁传动连接有皮带。该12寸晶圆炉管搬运治具，转动调节盘，此时升降丝杆在固定柱的内部上下运动，进一步使得升降滑槽带动滑动板上下运动，推动把手，滑动板可以在升降滑槽的内部运动，从而达到了便于调节高度和位置方便晶圆炉管搬运的效果。转动旋钮，此时移动块在限位槽的限制下沿着横向丝杆的外壁运动，进一步使得两个固定板相互靠近，从而达到了便于对不同尺寸的晶圆炉管进行固定的效果。
- 一种12寸晶圆炉管搬运
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