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[发明专利]硅晶片清洗工艺-CN201610200329.1有效
发明人：邹文龙;张力峰;田利中;白青松;梁会宁 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种清洗效率更高的硅晶片清洗工艺，清洗车间温度25±3℃；湿度30％‑60％，采用带有九个池的清洗设备对硅晶片进行清洗，其中一号池水温30℃；二号池内是室温下的柠檬酸溶液，柠檬酸与水的质量比是1∶20；三号池水温40℃；四号池和五号池均是温度为50℃的0.25ml/pcs的碱溶液，六号池、七号池和八号池均是温度为60℃的纯水，九号池内是温度为70℃的纯水，将硅晶片依次通过一号至九号池，一号至八号池均停留190s，待硅晶片进入九号池后进行慢拉脱水，时间控制在25～35s，出水后的硅晶片放入温度为75℃的烘道烘干，30s后取出。本发明的优点是：清洗效果明显，合格率高。
硅晶片清洗工艺池水清洗柠檬酸柠檬酸溶液慢拉脱水清洗设备清洗效果清洗效率时间控制碱溶液质量比出水放入烘道烘干取出合格率车间停留

[发明专利]一种硅棒切片机用的断线监测装置-CN201510274118.8有效
发明人：张力峰 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2015-05-26 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅棒切片机用的断线监测装置，机架，所述机架上安装有第一安装座，该第一安装座上固定有第一金属感应探头，所述第一金属感应探头设置于硅棒切片机的主辊外侧且位于主辊的金刚线进线端，该第一金属感应探头的端部与主辊外缘之间的间距为2‑3mm，该第一金属感应探头与控制切片机运行的控制装置电连接。该断线监测装置在线头未与报警杆碰撞时依旧可以检测是否断线，金刚线断线时第一时间被检测，使切片机及时停机，尽可能的降低了硅棒的浪费量。
一种切片机断线监测装置

[实用新型]一种硅晶片生产装置-CN201620262900.8有效
发明人：邹文龙;张力峰;田利中;白青松;梁会宁 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型一种硅晶片生产装置，属于硅晶片生产领域，包括多晶硅盛放箱，所述多晶硅盛放箱设有第一挡板，所述多晶硅盛放箱通过传送带连接超高温熔解炉，所述超高温熔解炉内腔设有第二挡板，所述第二挡板两侧底部均设有移动滑板，所述移动滑板顶部分别设有P型石英坩埚、N型石英坩埚，所述高温熔解炉一侧连接冷却箱，所述冷却箱从左到右依次连接切断装置、滚圆装置、切片装置与倒角装置，所述倒角装置从上到下依次连接研磨装置、腐蚀装置、抛光装置、清洗装置与检验装置，所述检验装置一侧连接自动包装装置，本实用新型通过两种放有不同掺杂剂的石英坩埚，经过一系列的工艺可以生产出具有不同电特性的硅晶片，结构简单，设计合理，实用性强。
一种晶片生产装置

[实用新型]一种硅片切削油的蒸馏回收系统-CN201620434435.1有效
发明人：田利中;张力峰;白青松;邹文龙;梁会宁 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-05-13 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： B01D3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片切削油的蒸馏回收系统，包括蒸馏釜，所述蒸馏釜上设置有进液口、出液口和蒸馏口，所述进液口连接有进液管路，所述出液口连接有出液管路，所述蒸馏口与蒸馏管道的一端连通，该蒸馏管管道的另一端换热器的蒸馏介质入口连通，换热器的蒸馏介质出口与水泵的入口连通，所述水泵的出口连接收集箱，该收集箱的顶部设置有出气口，所述换热器的换热介质入口和换热介质出口与换热介质供应装置连接。该蒸馏回收系统在对回收的切削油蒸馏时可以将蒸馏的切削油进行回收，避免切削油的浪费。
一种硅片切削油蒸馏回收系统

[实用新型]过滤罐用不锈钢过滤网袋-CN201620267756.7有效
发明人：田利中;张力峰;白青松;邹文龙;梁会宁 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2016-10-19 - 主分类号： B01D29/31 文献下载
摘要：本实用新型涉及过滤网袋技术领域，尤其是一种过滤罐用不锈钢过滤网袋，包括外袋体，所述外袋体上均匀开设有若干个规格相同的过滤孔一，外袋体的顶部平滑设置有无孔安装段，所述无孔安装段的顶部设置有安装法兰盘，外袋体的底部平滑设置有无孔持握段，所述无孔持握段的底部平滑设置有外袋底，所述外袋底上均匀开设有若干个规格相同的过滤孔二,外袋体内设置与安装法兰盘相连的内袋体，内袋体由不锈钢网卷曲而成，内袋体的底部设置有内袋底，内袋底为半球形不绣钢网。该不锈钢过滤网袋对切割产生的大颗粒能有效过滤，可反复冲洗再利用，半年使用可收回使用成本；在节约成本的同时，也减少了固体污染物的处理费用，保护了环境。
过滤不锈钢网袋

[发明专利]一种硅片切割砂浆回收方法-CN201610333171.5在审
发明人：张力峰;田利中;白青松;邹文龙;梁会宁;周晓明 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-05-19 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： C10M175/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片切割砂浆回收方法，包括以下步骤：一次离心，离心后的第一滤饼经过一次调和、一次配置后再进入二次离心，二次离心后的第二滤饼经过二次调和、二次配置后再进入到粗成品罐中，而第一滤液和第二滤液则经过加热、压滤后的压滤液与第一滤饼调合，蒸馏后的回收液与第二滤饼调合；该回收方法可以硅片切割过程中的砂浆，回收的砂浆无污染，完全满足硅片的再切割。
一种硅片切割砂浆回收方法

[实用新型]一种硅晶片的清洗工件-CN201620262899.9有效
发明人：白青松;张力峰;田利中;邹文龙;梁会宁 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅晶片的清洗工件，属于硅晶片工装领域，包括工件底座，所述工件底座上设有滑槽，所述滑槽上设有滑块，所述滑块顶部连接旋转电机，所述旋转电机顶部连接减速器，所述减速器顶部连接硅第一支撑杆，所述第一支撑杆从上到下依次设有储水槽与转速传感器，所述储水槽底端设有出水口，所述第一支撑杆顶端连接硅晶片框，所述工件底座一侧连接第二支撑杆，所述第二支撑杆一侧设有冲洗喷头，本实用新型专利结构简单，通过设置旋转电机，使硅晶片在冲洗过程中可以自由旋转，又可控制转速，从而使清洗更加彻底，节约了冲洗过程中的用水，同时设置了滑槽，使硅晶片框可以在工件底座上水平移动，方便了硅晶片的安装，又使清洗工作更加省力。
一种晶片清洗工件

[实用新型]一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置-CN201620433934.9有效
发明人：周晓明;许建松;邹文龙;李卡;白青松;蒋娜娜 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-05-13 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： B01D19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片切削液回收系统中的油气分离装置，包括上腔体和下腔体，所述上腔体的底部和下腔体之间通过出油口连通，所述上腔体的顶部设置有出气口，所述上腔体的侧壁上设置有进气口，所述上腔体内设置有处于溢油口和出气口之间的滤油弹性体，所述上腔体内滑动安装有对滤油弹性体进行挤压的挤压装置，所述下腔体的底部设置有放油口。该油气分离装置结构简单，可对从搅拌釜中抽出的含油空气进行油气分离，使切削油回收，减少污染和原料浪费。
一种硅片切削回收系统中的油气分离装置

[实用新型]一种硅棒切割用晶托板脱胶装置-CN201620434087.8有效
发明人：李小坡;白青松;李虎;骆益民 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-05-13 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅棒切割用晶托板脱胶装置，包括脱胶槽和用于对脱胶槽进行加热的蒸汽加热装置，所述蒸汽加热装置包括蒸汽加热管，蒸汽加热管缠绕于脱胶槽的外部，该脱胶装置还包括至少一个用于将脱胶槽内杂质分离的分离隔板，所述分离隔板上设置有若干通孔，分离隔板活动安装于脱胶槽内，该脱胶装置一方面采用蒸汽加热管对脱胶槽进行加热，蒸汽加热管缠绕于脱胶槽的外部，脱胶槽受热均匀，脱胶速度快、脱胶效果好，从而可实现晶托板的再次使用，提高晶托板的利用率，节约生产成本，另一方面利用分离隔板有利于及时有效的将脱胶产生的杂质去除，提高了脱胶效率。
一种切割用晶托板脱胶装置

[实用新型]一种硅片切割用钢丝对焊装置-CN201620441662.7有效
发明人：白青松;张力峰;梁会宁;田利中 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-05-16 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： B23K11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片切割用钢丝对焊装置，包括固定夹钳和活动夹钳，固定夹钳上安装有第一槽座，该第一槽座上设置有第一对接槽，活动夹钳上设置有第二槽座，该第二槽座上设置有第二对接槽，所述固定夹钳上安装有第一压紧机构，活动夹钳上安装有第二压紧机构；所述第一槽座和第二槽座分别与控制柜电连接，所述机座上设置有调节活动夹钳挤压固定夹钳的挤压力的压力调节机构。该对焊装置可将断裂的钢丝进行组对焊接，使焊接后的钢丝完全符合硅片的切割要求。
一种硅片切割钢丝装置

[实用新型]一种硅片切割用钢丝对焊机-CN201620441323.9有效
发明人：白青松 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-05-16 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片切割用钢丝对焊机，包括机座、固定夹钳和活动夹钳，固定夹钳固定安装于机座上，活动夹钳摆动安装于机座上且与固定夹钳配合，固定夹钳上安装有第一槽座，该第一槽座上设置有第一对接槽，活动夹钳上设置有第二槽座，该第二槽座上设置有第二对接槽，第一对接槽和第二对接槽相互配合，固定夹钳上安装有第一压紧机构，活动夹钳上安装有第二压紧机构；第一槽座和第二槽座分别与控制柜电连接，机座上设置有放大镜头，该放大镜头与显示器连接，机座上设置有调节活动夹钳挤压固定夹钳的挤压力的压力调节机构，机座上设置有锁紧活动夹钳的锁紧机构。该对焊机可以将钢丝进行对焊，使焊接后的钢丝完全复合硅片切割的要求。
一种硅片切割钢丝对焊机

[实用新型]用于压滤硅片切削废渣的压滤机上的废渣收集装置-CN201620435827.X有效
发明人：张力峰;田利中;白青松;邹文龙;周晓明;许建松 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-05-13 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了用于压滤硅片切削废渣的压滤机上的废渣收集装置，包括水平设置的收集筒，该收集筒的一端设置有出料口，收集筒的上部设置有若干个进料口，每个进料口均通过输送装置与压滤机的出渣斗连接，所述收集筒内水平滑动安装有挤压板，该挤压板由挤压动力装置驱动，收集筒的出料口处设置有将挤出的废渣进行打包装袋的打包机。该废渣收集装置可将废渣压实打包，既方便了运输，减少了污染，又减少了人力，降低了成本。
用于压滤硅片切削废渣收集装置

[实用新型]用在硅棒切片过程中的自动报警装置-CN201620267310.4有效
发明人：张力峰;田利中;白青松;邹文龙;梁会宁 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2016-09-21 - 主分类号： G08B21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种在切割线断裂后能及时处理的用在硅棒切片过程中的自动报警装置，包括两相互平行的辊子，辊子上缠绕有切割线，两辊子的下方分别设置有在切割线断裂后能被切割线打断的铜线，两铜线串联且在同一主电路中，该主电路包括主电源、继电器和两电阻，两铜线位于两电阻之间，主电路与硅棒切片电路联动。本实用新型的优点是：利用切割线断裂后打断铜线使得主电路断开，同时使得硅棒切片电路断开，即切片机停止工作，这样操作人员能及时接上切割线，保证断裂处的硅棒能得到有效的处理，保证后续的所有切割线还能同时切割。
切片过程中的自动报警装置

[发明专利]硅晶片脱胶工艺-CN201610200158.2在审
发明人：白青松;张力峰;田利中;邹文龙;梁会宁 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种同一晶托上的胶体一起脱落的硅晶片脱胶工艺，采用如下脱胶机，该脱胶机包括一号槽、二号槽、三号槽、四号槽、五号槽和六号槽，一号槽和二号槽的水温是25～30℃，三号槽和四号槽的水温是30℃，五号槽里的是乳酸溶液且温度为65～70℃，乳酸与水的质量比是1∶1.5，六号槽的水温40～45℃，硅晶片先在一号槽和二号槽内分别喷淋550s，然后将硅晶片放到三号槽和四号槽中分别超声处理90s，之后将硅晶片放入五号槽中浸泡450s～500s，最后将硅晶片放入六号槽浸泡50s后取出。本发明的优点是：乳酸的软化胶体就能保证所有硅晶片上的胶体一起脱落，从而避免在脱胶的过程中部分硅晶片氧化。
晶片脱胶工艺

[实用新型]一种硅晶片自动定位切割机-CN201620262898.4有效
发明人：田利中;张力峰;白青松;邹文龙;梁会宁 -专利权人： 苏州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅晶片自动定位切割机，包括机架与滑轨，所述机架上设置有支杆，所述支杆上端连接着滑轨，所述滑轨下端设置有装刀座，所述装刀座上设置有驱动电机，所述装刀座与滑轨之间设置有滑轮，所述装刀座下端设置有旋转台，所述旋转台上连接有两个切割刀片，所述旋转台中间设置有红外传感器，所述机架上设置有原料夹具，所述原料夹具上设置有红外信号发生器，通过滑轨可以很好的调节设备的位置，对于不同的原料能很好的将刀片对准，利用红外传感器接收红外信号，自动对刀，整个装置结构紧凑，具有很好的使用价值，通过红外信号对刀更加精密准确，不会出现刀片偏移的情况，提高了硅晶片的生产速率，保证了硅晶片的质量，值得推广。
一种晶片自动定位切割机

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