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[实用新型]用于自动光学检测的载台压框装置及包含其的自动光学检测系统-CN202321208917.1有效
发明人：林佳民;许峰瑞 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于自动光学检测的载台压框装置及包含其的自动光学检测系统，载台压框装置包括一框架定位机构以及一转接框，框架定位机构设置于一载台上，框架定位机构包括至少一枢转机构；转接框配置为与一待测物的尺寸相符，并用于压制待测物；转接框可拆卸地设置于框架定位机构的至少一枢转机构上，使转接框通过至少一枢转机构来相对载台启闭。本实用新型相较于现有技术，能够有效的整平待测物，增加待测物于载台上的平坦度，此外，转接框可依照实际检测的待测物不同，快速更换为不同的尺寸，有效的提升装置的通用性以及有效减少更换不同尺寸待测物时检测设备的前置时间。
用于自动光学检测载台压框装置包含系统

[发明专利]整合型光源装置及其光学检测系统-CN202310329016.6在审
发明人：黄冠勋;李岳龙;曹语晴;黄宇滕 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明提供一种整合型光源装置及其光学检测系统，整合型光源装置包括一第一光源、一导光组件、一第二光源以及一分光组件。第一光源通过一第一照明光路，提供一第一光束。导光组件具有一引导部及一反射部。引导部通过第一照明光路引导第一光束。第二光源通过一第二照明光路，提供一第二光束至反射部。分光组件通过第二照明光路，引导自反射部反射的第二光束。第一光束与第二光束汇聚至一预设焦点处。本发明在同一光源装置中整合了同轴光源以及侧向光源，并利用将导光组件的一外侧面设置成反射部，将同轴光源与侧向光源整合配置在相同水平高度上，以此有效的减少装置整体的体积，缩减了备有多种光源装置所需要的结构空间，降低对场地使用的影响。
整合光源装置及其光学检测系统

[发明专利]量测孔状结构的自动光学检测系统-CN202010042222.5有效
发明人：邹嘉骏;林伯聪;黄冠勋;张勋豪 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种量测孔状结构的自动光学检测系统，包括一光源装置、一远心镜头摄影机以及一图像处理装置。所述光源装置提供至一待测物的一孔状结构，其中所述孔状结构包括一壁特性区域与一面特性区域。所述远心镜头摄影机朝向所述孔状结构，用以获得所述孔状结构的影像，其中所述远心镜头摄影机具有一收光锥角。所述图像处理装置根据所述孔状结构影像的影像特征差异，判断所述孔状结构影像上的所述壁特性区域与所述面特性区域。
量测孔状结构自动光学检测系统

[发明专利]一种用于量测孔状结构的自动光学检测系统以及方法-CN201910319373.8有效
发明人：邹嘉骏;林伯聪;黄冠勋;张勋豪 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于量测孔状结构的自动光学检测系统以及方法。该系统包含一光源装置、一影像捕获设备以及一图像处理装置。该光源装置提供至一待测物的一孔状结构，其中该孔状结构包括一壁特性区域与一面特性区域。该影像捕获设备朝向该孔状结构，以获得一孔状结构影像，其中该影像捕获设备具有一预设视角与一数值孔径。该图像处理装置根据该孔状结构影像的一影像特征差异与该预设视角，判断该孔状结构影像上的该壁特性区域与该面特性区域。
一种用于量测孔状结构自动光学检测系统以及方法

[发明专利]利用深度学习系统的自动光学检测分类设备及其训练设备-CN201811141019.2有效
发明人：安比卡帕亚鲁木鲁甘;林建仲;谢承桦 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2018-09-28 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G06V10/764 文献下载
摘要：本发明提供一种利用深度学习系统的自动光学检测分类设备，包括摄影机、以及处理器。该处理器加载储存单元后执行深度学习系统，包括：输入层；神经网络群层，用以对输入影像执行特征提取并于最终获取多个影像特征，该神经网络群层包括一或多个神经网络子区块层、以及最大值池化层，该神经网络子区块层中包括具有共同输入的第一运算符集及第二运算符集、进行残差运算的残差映像层、以及进行非线性化运算的线性整流单元；以及全连接群层用以依据权重比例进行分类，最终输出检测结果。
利用深度学习系统自动光学检测分类设备及其训练

[发明专利]移载机构、投收料设备及处理设备-CN202310129314.0在审
发明人：林佳民 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B65G47/52 文献下载
摘要：一种移载机构、投收料设备及处理设备，移载机构适于移载料片。移载机构包括循环式传动总成及两个第一取放总成。两个第一取放总成设置于循环式传动总成且彼此相间隔。其中一个第一取放总成由取料位置拾取料片，并移动至放料位置时，另一个第一取放总成由放料位置复位回取料位置。从而，能提升移载料片的速度及效率。
机构投收料设备处理

[发明专利]真空吸附滚轮及包含真空吸附滚轮的光学检测装置-CN202210465764.2在审
发明人：王人杰;张铭杰;陈育裕;林佳民 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B65G13/07 文献下载
摘要：本发明提供一种真空吸附滚轮及包含真空吸附滚轮的光学检测装置，真空吸附滚轮包括定向轴心以及外轮体。定向轴心具有中空腔室以及至少一定向通孔。中空腔室设置于定向轴心的内周侧。外轮体套设于定向轴心的外周侧并具有多个吸孔。吸孔分布于外轮体的表面上并分别径向贯穿外轮体。至少一定向通孔径向贯穿定向轴心并连通于中空腔室，以此通过负压装置提供负压至中空腔室，使对应于至少一定向通孔的吸孔产生吸附力。本发明利用真空吸附滚轮进行待测工件的移载，可降低设备的整体体积，减少设置设备所需的容纳空间；提供于外轮体的部份表面形成真空吸附力的真空吸附滚轮，避免待测工件随转动的外轮体而卷覆于外轮体上，有效提升光学检测的工作效率。
真空吸附滚轮包含光学检测装置

[发明专利]整平装置及整平方法-CN202211533835.4在审
发明人：赖宪平 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种整平装置，适于整平基板。整平装置包括载台、压制件及弹性密封环。载台用以承载并吸附基板。压制件设置于载台上方，用以向下压制基板，以使基板的外周缘靠近载台。弹性密封环设置于载台并能被载台吸附，当压制件压制基板且弹性密封环被载台吸附时，弹性密封环紧密贴附于载台及基板的外周缘，以使弹性密封环、载台及基板之间形成气密室，气密室进而被载台抽气而形成真空状态以吸附基板，使基板完整地平贴于载台。本发明还提供一种整平基板的整平方法。
平装平方

[发明专利]用于蚀刻工艺的补偿方法、补偿系统及深度学习系统-CN202210835651.7在审
发明人：邹嘉骏;徐敏堂;王怡桦;李伟圣 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提出一种用于蚀刻工艺的补偿方法、补偿系统及深度学习系统，该补偿方法包括：拍摄经一蚀刻工艺的一工件，以获得一蚀刻影像；根据该蚀刻影像量测该工件，以获得该工件的一线路量测信息；根据该线路量测信息，计算一蚀刻补偿信息；依据该蚀刻补偿信息产生欲成像的一曝光影像；以及传送欲成像的该曝光影像至一曝光装置，以更新该蚀刻工艺的曝光底片。本发明可以进行全部及全面性的量测，以此通过全自动快速补偿值设定以及全自动生产中间监控以及实时回馈调整的功能，达到快速进入量产、快速达到最佳补偿值设定、智能生产中监控以及提升及稳定质量的效果。
用于蚀刻工艺补偿方法系统深度学习

[发明专利]荧光线路量测系统及方法-CN202210812454.3在审
发明人：林伯聪;黄冠勋;张勋豪 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本发明提供一种荧光线路量测系统及方法，该系统包括量测平台、光源装置、第一影像捕获设备以及图像处理装置。该光源装置设置于该量测平台的相对侧，提供一激发光至该待测基板上，使该待测基板产生一荧光照射于该金属线路的侧壁区域上，以此在该金属线路的上表面区域与侧壁区域产生一荧光亮度差异。该第一影像捕获设备设置于该量测平台的俯视方向侧用于。该图像处理装置连接至该第一影像捕获设备，根据该俯视影像与该荧光亮度差异，产生线路信息。本发明可以有效的提升待测基板上金属线路的侧壁区域以及上表面区域之间的对比度，通过设定适当的阈值进行便可以获得金属线路的边界，通过图像处理获取有效的线路信息。
荧光线路系统方法

[发明专利]利用人工智能的瑕疵检测系统及其方法-CN201811472668.0有效
发明人：安比卡帕亚鲁木鲁甘;徐敏堂;陆家樑;方志恒 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2018-12-04 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种利用人工智能的瑕疵检测系统及其方法。所述瑕疵检测系统，连接于自动外观检测装置，包括下列装置。复检伺服站接收瑕疵图像与瑕疵位置。训练终端存储已训练模块。分类终端接收瑕疵图像与瑕疵位置，读取已训练模块中相应瑕疵图像的目标训练模块，依据目标训练模块分类瑕疵图像以产生并传送标记瑕疵图像至复检伺服站。复检终端接收标记瑕疵图像，接收并传送相应标记瑕疵图像的验证操作至复检伺服站。标记复检终端接收验证操作与标记瑕疵图像，并接收相应标记瑕疵图像的标记结果。复检伺服站传送标记结果与标记瑕疵图像至训练终端，以使训练终端据此训练对应的训练模块。
利用人工智能瑕疵检测系统及其方法

[发明专利]基板承载结构以及基板检测装置-CN202211335310.X在审
发明人：江宏伟;赖宪平 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板承载结构以及基板检测装置。基板承载结构用以承载基板，基板承载结构包括载台以及弹性支撑部件。载台具有承载面，其中容置槽形成于承载面上并围绕载台的中心。弹性支撑部件设置于容置槽内，且弹性支撑部件突出于承载面。基板接触弹性支撑部件，以形成密闭空间，并使弹性支撑部件产生变形并位于承载面之下。由此，本发明所提供的基板承载结构能改善基板翘曲的问题，以提高工艺的准确性与稳定性。
承载结构以及检测装置

[发明专利]光学检测方法、光学检测装置及光学检测系统-CN201811366351.9有效
发明人：安比卡帕亚鲁木鲁甘;徐敏堂;陆家樑;方志恒 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明的实施例提供一种光学检测方法，其用于包括光学镜头的光学检测装置。所述方法包括：经由所述光学镜头获取待测物的第一图像；对所述第一图像执行边缘检测，以获得具有边缘图案的第二图像；以及基于神经网络架构对所述第二图像执行瑕疵检测操作，以检测所述第二图像中的瑕疵图案。此外，本发明的实施例也提供一种光学检测装置与光学检测系统。
光学检测方法装置系统

[发明专利]光学系统及荧光检测系统-CN202210799096.7在审
发明人：林伯聪;黄冠勋;李岳龙;黄建文 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：一种用于荧光检测的光学系统。光学系统包括第一光源以及第一滤光器。第一滤光器对应地设置于第一光源的光路上，且过滤第一光源的光束，以提供激发光束照射至样品，使样品产生荧光。第一滤光器的表面与第一光源的光束的出射方向呈非正交关系。一种荧光检测系统亦被提出。
光学系统荧光检测系统

[发明专利]荧光光学系统以及荧光图像检测系统-CN202211083907.X在审
发明人：林伯聪;黄冠勋;李岳龙 -专利权人： 由田新技股份有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明提供一种荧光光学系统以及荧光图像检测系统，荧光光学系统包括一平台、至少一光源装置以及至少一第一滤波片。平台用以设置一待测样本。至少一光源装置用以照射待测样本，使待测样本产生一荧光。至少一第一滤波片对应设置于至少一光源装置的光路上，使一激发光束通过至少一第一滤波片。激发光束与平台之间形成一入射角度，入射角度小于90°。
荧光光学系统以及图像检测系统

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