“理查德·H·古尔德”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果19个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于衬底处理系统的装载站和衬底处理工具-CN201710681134.8有效
发明人： 理查德·H·古尔德;坎迪·克里斯托弗森;古斯塔沃·G·弗兰肯;詹姆斯·范高赫;本杰明·W·莫瑞 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2017-08-10 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及用于衬底处理系统的装载站，含第一和第二竖直堆叠的装载站。第一装载站含第一气锁容积及布置在第一装载站相应端部的第一和第二阀。第一和第二阀构造成选择性提供到第一气锁容积的路径并包括分别构造成打开和关闭第一阀和第二阀的第一和第二致动器且第一和第二致动器从第一装载站向下延伸。第二装载站含第二气锁体积及布置在第二装载站相应端部的第三和第四阀。第三和第四阀构造成选择性提供到第二气锁容积的路径并包括分别构造成打开和关闭第三和第四阀的第三和第四致动器。涉及衬底处理工具，包括装载站；与装载站相邻的第一处理模块，其中第一处理模块配置为经由装载站接收晶片；和布置在第一处理模块上方的第二处理模块。
用于衬底处理系统装载工具

[发明专利]具有自动化转动式预对准的边缘环传送-CN202180010849.5在审
发明人：达蒙·蒂龙·格内蒂;达瑞尔·安吉洛;理查德·H·古尔德;罗伊·斯科特·鲍威尔 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-01-20 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种系统包含机械手，其被配置为在衬底处理系统内传送衬底和边缘环中的任一者；衬底对准器，其被配置为相对于所述机械手的末端执行器来调整所述衬底或所述边缘环中的任一者的转动位置；以及载运板，其被配置为支撑所述边缘环。所述机械手被配置为用所述末端执行器取回所述载运板、使用被支撑在所述末端执行器上的所述载运板取回所述边缘环、以及将所述载运板和所述边缘环传送至所述衬底对准器。
具有自动化转动对准边缘传送

[发明专利]占用面积减小的晶片搬运平台-CN201980041184.7在审
发明人：克里斯多夫·W·伯克哈特;理查德·H·古尔德;坎迪·克里斯托弗森;迈克尔·诺丁;理查德·M·布兰克;安海博信 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种系统包含设备前端模块(EFEM)、真空传送模块(VTM)、多个四重站处理模块(QSM)。EFEM被构造成接收多个晶片。EFEM包含EFEM传送机械手。真空传送模块(VTM)被构造成从EFEM接收多个晶片。VTM包含VTM传送机械手。多个四重站处理模块(QSM)耦合至VTM。VTM传送机械手被构造成在VTM与多个QSM之间传送晶片。EFEM传送机械手被构造成在EFEM与VTM之间传送晶片。
占用面积减小晶片搬运平台

[发明专利]干法-湿法集成晶片处理系统-CN201710153000.9有效
发明人：索斯藤·利尔;安德列亚斯·费希尔;理查德·H·古尔德;迈克尔·米斯洛沃伊;菲利普·恩格赛;哈拉尔德·奥科伦-施密特;安德斯·乔尔·比约克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2017-03-15 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及干法‑湿法集成晶片处理系统。一种用于处理晶片状物品的装置包括真空传送模块和大气传送模块。第一气锁将真空传送模块和大气传送模块互连。大气处理模块连接到所述大气传送模块。气体供应系统被配置为将气体单独地且以不同的受控流供应到所述大气传送模块、所述第一气锁和所述大气处理模块中的每一个，以便致使：(i)当所述第一气锁和所述大气传送模块朝向彼此打开时，气体从所述第一气锁流向所述大气传送模块，以及(ii)当所述大气传送模块和所述大气处理模块朝向彼此打开时，气体从所述大气传送模块流向所述大气处理模块。
湿法集成晶片处理系统

[发明专利]前开式环形盒-CN201911281036.0在审
发明人：斯科特·王;达蒙·蒂龙·格内特;德里克·约翰·威特科维基;亚历克斯·帕特森;理查德·H·古尔德;奥斯丁·恩戈;马克·艾斯托奎 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2016-10-24 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及前开式环形盒。用于与处理模块交换消耗部件的盒包括具有前侧、后侧以及第一和第二横向侧的底板。第一支撑柱设置在邻近前侧的第一横向侧上。第二支撑柱设置在邻近前侧的第二横向侧上。第三支撑柱设置在邻近后侧的第一横向侧上，而第四支撑柱设置在邻近后侧的第二横向侧上。每个支撑柱包括沿纵向分布并且指向内部的多个支撑指状物。第一硬质止动柱平行于第三支撑柱设置，第二硬质止动柱平行于第四支撑柱设置。连接到底板的外壳结构被配置为包围第一、第二、第三和第四支撑柱、顶板和第一和第二硬质止动柱，并且包括设置在底板的前侧上的前开口。门与前开口配合，并且包括用于当消耗部件被接纳在盒中时将消耗部件固定在盒中的保持组件。
前开式环形

[发明专利]前开式环形盒-CN201610944877.5有效
发明人：斯科特·王;达蒙·蒂龙·格内特;德里克·约翰·威特科维基;亚历克斯·帕特森;理查德·H·古尔德;奥斯丁·恩戈;马克·艾斯托奎 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2016-10-24 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及前开式环形盒。用于与处理模块交换消耗部件的盒包括具有前侧、后侧以及第一和第二横向侧的底板。第一支撑柱设置在邻近前侧的第一横向侧上。第二支撑柱设置在邻近前侧的第二横向侧上。第三支撑柱设置在邻近后侧的第一横向侧上，而第四支撑柱设置在邻近后侧的第二横向侧上。每个支撑柱包括沿纵向分布并且指向内部的多个支撑指状物。第一硬质止动柱平行于第三支撑柱设置，第二硬质止动柱平行于第四支撑柱设置。连接到底板的外壳结构被配置为包围第一、第二、第三和第四支撑柱、顶板和第一和第二硬质止动柱，并且包括设置在底板的前侧上的前开口。门与前开口配合，并且包括用于当消耗部件被接纳在盒中时将消耗部件固定在盒中的保持组件。
前开式环形

[发明专利]采用线性真空传送模块减少占用面积平台架构-CN201880018373.8在审
发明人： 理查德·H·古尔德;理查德·布兰克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2018-03-14 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种用于衬底处理工具的大气至真空(ATV)传送模块包括：第一侧，其被构造成与至少一个装载站接合；传送机械手组件，其被布置在所述ATV传送模块内；以及与所述第一侧相对的第二侧。所述传送机械手组件被配置为在所述至少一个装载站和布置在ATV传送模块和真空传送模块(VTM)之间的至少一个装载锁之间传送衬底。所述第二侧被构造成与所述至少一个装载锁接合。所述传送机械手组件邻近所述第二侧布置，并且所述至少一个装载锁延伸穿过所述第二侧到达所述ATV传送模块的内部容积中。
传送模块传送机械手装载锁接合装载站衬底处理平台架构线性真空延伸穿过衬底传送邻近占用配置

[发明专利]用于提供平板显示器环境隔离的方法和设备-CN200880024416.X无效
发明人： 理查德·H·古尔德;安东尼·C·伯诺拉;迈克尔·克罗拉克 -专利权人：村田自动化机械有限公司
申请日： 2008-07-12 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： B65D85/86 文献下载
摘要：提供一种用于支撑加工用的基板的容器。该容器包括底部、顶部及连接底部和顶部的侧板。容器中设有支撑结构。该支撑结构构造成支撑容器内的基板。支撑结构具有横贯容器宽度延伸的多行多个拉伸构件。每行的多拉伸构件构造成支撑一个基板，其中，一个侧板包括使得能够进入容器的可移动柔性膜。用于柔性膜的支撑结构包括用于使柔性膜与加工工具的容置模块的门或加工工具的门同步移动的同步机构。
用于提供平板显示器环境隔离方法设备

[发明专利]晶片机-CN200710007932.9有效
发明人：安东尼·C·博诺拉;理查德·H·古尔德;罗杰·G·海纳;迈克尔·克罗拉克;杰里·斯皮斯尔 -专利权人：阿赛斯特技术公司
申请日： 2002-08-30 - 公布日： 2007-07-11 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于传递晶片的晶片机。该晶片机包括用于沿x轴移动晶片的线性驱动器、用于绕一θ轴转动晶片的旋转驱动器、用于沿z轴移动晶片的线性驱动器、以及用于沿一径向轴移动晶片的线性驱动器。用于沿z轴移动晶片的线性驱动器偏离于旋转驱动器。当旋转驱动器绕θ轴转动时，Z轴和径向轴驱动器也绕θ轴转动。优选地，用于沿一径向轴移动晶片的线性驱动器是一种具有上末端执行器以及下末端执行器的双向或快速交换滑动体机构。该滑动体机构优选还具有用于校准晶片的装置以及执行各种检测和标记工序的装置。
晶片

[发明专利]用于半导体材料处理系统的一体化机架-CN200710007933.3无效
发明人：安东尼·C·博诺拉;理查德·H·古尔德;罗杰·G·海纳;迈克尔·克罗拉克;杰里·斯皮斯尔 -专利权人：阿赛斯特技术公司
申请日： 2002-08-30 - 公布日： 2007-07-11 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种一体化脊柱构件，EFEM组件例如晶片操纵机械手和SMIF箱推进部件可安装在该一体化脊柱构件上。机架包括多根安装在上支撑件和下支撑件上的直立支柱。使垂直支柱与两支撑件结构连接，从而生成一种支撑EFEM组件的刚性体。该直立支柱还为校准EFEM组件提供一个公共的参照基准。这避免了需要相互地校准每个EFEM组件。因此，如果移除一个EFEM组件，将不会影响剩余EFEM组件的对齐和校准。该一体化机架还为SMIF箱门及进出口门生成一个隔离的存放区域，该SMIF箱门及进出口门位于与外部大气条件相隔离的环境中。
用于半导体材料处理系统一体化机架

[发明专利]半导体材料处理系统-CN02820488.3有效
发明人：安东尼·C·博诺拉;理查德·H·古尔德;罗杰·G·海纳;迈克尔·克罗拉克;杰里·A·斯皮斯尔 -专利权人：阿赛斯特技术公司
申请日： 2002-08-30 - 公布日： 2005-01-26 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：半导体材料处理系统是一种EFEM，可以安装到一个加工工具的前端，或者结合到加工工具中。EFEM由一个一体式构架构成，EFEM的部件、例如一个晶片机和一个SMIF箱前送板可以安装到一体构架上。所述构架作为一个共用安装构架，EFEM的部件可以将它作为对准用的基准。由于EFEM部件不必对准彼此的位置，因此，校准大为简化。EFEM还具有减小的占地面积，使EFEM安装到一个加工工具的前端，而不延伸到加工厂的地面。这样，EFEM和加工厂地面之间的空间被释放。例如，该空间可以作为加工工具的一个维修入口区域，无需先卸下EFEM。
半导体材料处理系统

[发明专利]晶片机-CN02819331.8有效
发明人：安东尼·C·博诺拉;理查德·H·古尔德;罗杰·G·海纳;迈克尔·克罗拉克;杰里·斯皮斯尔 -专利权人：阿赛斯特技术公司
申请日： 2002-08-30 - 公布日： 2005-01-05 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于传递晶片的晶片机。该晶片机包括用于沿x轴移动晶片的线性驱动器、用于绕一θ轴转动晶片的旋转驱动器、用于沿z轴移动晶片的线性驱动器、以及用于沿一径向轴移动晶片的线性驱动器。用于沿z轴移动晶片的线性驱动器偏离于旋转驱动器。当旋转驱动器绕θ轴转动时，Z轴和径向轴驱动器也绕θ轴转动。优选地，用于沿一径向轴移动晶片的线性驱动器是一种具有上末端执行器以及下末端执行器的双向或快速交换滑动体机构。该滑动体机构优选还具有用于校准晶片的装置以及执行各种检测和标记工序的装置。
晶片

[发明专利]用于半导体材料处理系统的一体化机架-CN02819377.6有效
发明人：安东尼·C·博诺拉;理查德·H·古尔德;罗杰·G·海纳;迈克尔·克罗拉克;杰里·斯皮斯尔 -专利权人：阿赛斯特技术公司
申请日： 2002-08-30 - 公布日： 2005-01-05 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种一体化脊柱构件，EFEM组件例如晶片操纵机械手和SMIF箱推进部件可安装在该一体化脊柱构件上。机架包括多根安装在上支撑件和下支撑件上的直立支柱。使垂直支柱与两支撑件结构连接，从而生成一种支撑EFEM组件的刚性体。该直立支柱还为校准EFEM组件提供一个公共的参照基准。这避免了需要相互地校准每个EFEM组件。因此，如果移除一个EFEM组件，将不会影响剩余EFEM组件的对齐和校准。该一体化机架还为SMIF箱门及进出口门生成一个隔离的存放区域，该SMIF箱门及进出口门位于与外部大气条件相隔离的环境中。
用于半导体材料处理系统一体化机架

[发明专利]通用模块化晶片输送系统-CN02819312.1无效
发明人：安东尼·C·博诺拉;理查德·H·古尔德;罗杰·G·海纳;迈克尔·克罗拉克;杰里·斯皮斯尔 -专利权人：阿赛斯特技术公司
申请日： 2002-09-03 - 公布日： 2005-01-05 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在隔离环境内、在多个室之间输送单个晶片的晶片输送系统。在一个实施例中，一个晶片由一个晶片穿梭件输送，晶片穿梭件在一个晶片输送容器内运行。晶片输送容器内部与晶片加工设备周围的大气环境相隔离。这样，单个晶片可以在整个晶片加工设备中输送，无需使整个设备保持一种洁净室环境。晶片穿梭件可以采用各种技术、例如(但不限于)磁悬浮或气垫技术进行推进。晶片穿梭件也可以同时输送多个晶片。输送容器内部也可以是真空的、充气的或充入过滤空气。
通用模块化晶片输送系统

[发明专利]集成辊子运输舱及异步运输机-CN99807745.3无效
发明人：安东尼·C·博诺拉;理查德·H·古尔德 -专利权人：阿赛斯特技术公司
申请日： 1999-06-24 - 公布日： 2003-12-10 - 主分类号： B65G25/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于输送物品的系统。输送系统包括一个运输系统，运输系统包括：一用于在工作站之间支承至少一个物品的运输装置；一用于支撑所述运输装置的驱动导轨，所述驱动导轨包括一个用于在工作站之间推进所述运输装置的驱动系统；一个平行并与所述驱动导轨间隔开用于支撑所述运输装置的支撑导轨；至少一个由所述运输装置支承的靴座，所述靴座构造成可以支靠在所述支撑导轨上用于可移动地将所述运输装置支撑在所述支撑导轨。输送系统还包括一种用于沿一个运输系统运送多个物品的保护容器，运输系统包括一个驱动导轨和一个与驱动导轨间隔开并平行的用于支撑所述容器的支撑，驱动导轨包括一个用于沿驱动和支承导轨推进和引导所述容器的驱动系统，所述容器包括：一个包围一构造成可以保存多个物品的内舱的外壳，所述外壳具有一个可定位在运输系统的驱动和支撑导轨上的底面，所述底面构造成可以与驱动系统配合，这样驱动系统的致动沿驱动和支撑导轨推进外壳；以及至少一个由所述外壳支承的靴座，所述靴座构造成可以支靠在运输系统的支撑导轨上，以在支撑导轨上可移动地支撑所述外壳。输送系统还包括一种用于在工作站之间输送物品的方法，包括以下步骤：提供一个运输装置，用于保存至少一个物品，并具有一个底部和至少一个由底部支承的靴座；定位运输装置，使运输装置的底部支撑在一个驱动导轨上，而由运输装置支承的靴座支撑在一运输系统的一支撑导轨上；以及致动一个由驱动导轨支承的驱动系统，以沿驱动导轨和支撑导轨推进运输装置。
集成辊子运输异步运输机

1
2
下一页»
尾页
共 19 条