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- [实用新型]半导体设备-CN202222865663.2有效
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王福金;韩彬
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北京七星华创集成电路装备有限公司
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2022-10-28
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2023-03-10
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E06B5/00
- 本实用新型提供一种半导体设备，包括用于开关晶圆盒的门体的开关门机构，开关门机构的驱动部件设于装配基体上，提供往复驱动力，开关锁组件转动设于装配基体上，能与门体的锁孔配合，并通过传动结构与驱动部件连接；传动结构的第一传动件与驱动部件的输出轴固定连接，能在往复驱动力带动下往复摆动，第二传动件的两端分别与第一传动件和开关锁组件转动连接，能在第一传动件带动下相对往复移动，带动开关锁组件相对往复转动，通过开关锁组件解锁或锁紧门体。本实用新型提供的半导体设备能够减少颗粒物的出现，降低晶圆受污染的概率，从而能够提高晶圆的生产良率，降低晶圆报废的概率，降低生产成本，并且，能够减少传动种类，降低设计复杂程度。
- 半导体设备
- [实用新型]一种地埋线缆监测装置-CN202221745494.2有效
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王福金;姜志勇;代君;王春宝;梁超;周智峰
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山东钛龙信息科技有限公司
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2022-07-06
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2022-10-04
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G01D21/02
- 本实用新型涉及一种地埋线缆监测装置，包括桩体组件以及连接至桩体组件的电源供给模块、数据处理模块以及传感器模块、通讯模块，所述桩体组件包括壳体，所述电源供给模块分别和数据处理模块、传感器模块、通讯模块电连接，所述传感器模块和数据处理模块电连接，用于实时采集异动信息，并传输至数据处理模块，数据处理模块和通讯模块电连接；所述电源供给模块包括可拆卸的连接于壳体外壁的太阳能板组件。通过本实用新型可以实时采集线缆、管路周围的异动信息数据并将数据传送到系统管理平台，实现对线缆、管路的监测与管理，提高了线缆、管路运维水平，减少外破事件，达到提高供电及通信可靠性的目的。
- 种地线缆监测装置
- [实用新型]一种热装配辅助装置-CN202221158708.6有效
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韩慧珏;王福金
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陕西北元化工集团股份有限公司
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2022-05-16
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2022-09-13
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B25B11/00
- 本申请公开了一种热装配辅助装置，包括第一支架、第二支架、安装平台、第二支架、第二伸缩杆、安装平台、加热轴、可调节支座。第一支架的底部固定连接于安装平台上，且第一支架在竖直方向上设置有第一滑槽。第二支架的底部可转动连接于安装平台上，第二支架在竖直方向上设置有第二滑槽。第二伸缩组件安装于第二支架的顶部，且第二伸缩组件的自由端连接于第二滑槽内的第二滑块上。加热轴的一端固定连接于第一滑块上，加热轴的另一端可拆卸连接于第二滑块上。可调节支座设置于加热轴的下部，并用于支撑加热轴或者调节热装配件相对于加热轴的高度。可调节支座位于第一支架和第二支架之间。本申请解决了现有技术中热装配件内孔加热不均匀的问题。
- 一种装配辅助装置
- [实用新型]一种阀板研磨装置-CN202221159257.8有效
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韩慧珏;王福金
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陕西北元化工集团股份有限公司
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2022-05-16
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2022-08-30
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B24B37/00
- 本申请公开了一种阀板研磨装置，包括箱体、锥形皮带轮、电机、研磨盘支架、以及研磨盘。箱体内安装有锥形皮带轮和电机。锥形皮带轮包括主动轮、从动轮、以及皮带。主动轮和从动轮通过皮带连接。主动轮的转轴与电机的动力输出轴相连接。从动轮的旋转轴位于箱体外的部分连接于研磨盘支架的旋转轴。研磨盘支架的顶部安装有研磨盘。研磨盘内设置有容纳腔和排料通道。容纳腔和排料通道均关于研磨盘轴线对称。排料通道的进料口与容纳腔相连通，排料通道的出料口设置于研磨盘的研磨面上。本申请解决了现有技术中阀板打磨自动化程度低的问题。
- 一种研磨装置
- [实用新型]半导体工艺腔室和半导体工艺设备-CN202122905763.9有效
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王福金;蔡志辉
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北京七星华创集成电路装备有限公司
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2021-11-24
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2022-06-14
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C23C14/56
- 本实用新型提供一种半导体工艺腔室，包括腔体、加热器、支撑装置、控制装置、电源和可控硅元件，加热器和支撑装置设置在腔体中，支撑装置用于承载基板，加热器用于对承载于支撑装置上的基板进行加热；电源用于通过可控硅元件向加热器提供随时间变化的电源信号功率，控制装置用于在支撑装置上承载有基板后，控制可控硅元件向加热器提供随着时间变化的电源信号，以使加热器按预设曲线输出逐渐减小的加热功率。在本实用新型中，控制装置能够控制可控硅元件调节加热功率，使其按预设曲线逐渐减小，从而使基板的升温速率随时间增大逐渐减小，在保证基板升温效率的同时，提高了基板在升温工艺结束时温度的可控性。本实用新型还提供一种半导体工艺设备。
- 半导体工艺工艺设备
- [实用新型]一种渣浆泵机械密封结构-CN202121937876.0有效
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韩慧珏;雷强;王福金
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陕西北元化工集团股份有限公司
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2021-08-18
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2022-03-25
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F04D29/10
- 本申请公开了一种渣浆泵机械密封结构，包括轴套、泵盖、泵体组件、两个动环、两个静环、两个弹性组件以及两个静环座组件；两个静环座组件、两个静环、两个动环以及两个弹性组件均关于泵体组件的中心线向两侧依次对称设置，两个静环座组件固定连接于泵体组件的两端，两个静环分别固定连接于两个静环座组件，两个动环套接于轴套的两端，两个弹性组件固定连接于轴套的两端；动环的一端与静环接触连接，动环的另一端与弹性组件连接，泵体组件内部开设有空腔与冷却水通道，冷却水通道与空腔相通，两个静环处于空腔内。本申请实现了动环浮动性提升，避免弹簧堵塞，减少了介质对动环的挤压力，避免了密封端面混入杂质颗粒的目的。
- 一种渣浆泵机械密封结构
- [实用新型]一种压滤机轴-CN202120154862.5有效
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叶鹏云;韩慧珏;王福金;武林
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陕西北元化工集团股份有限公司
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2021-01-20
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2021-10-26
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B01D25/12
- 本申请公开了一种压滤机轴，用以解决现有技术中压滤机的轴结构细长，容易断裂的问题。一种压滤机轴，包括联轴器和两个主轴组件；两个主轴组件分别连接于联轴器的两端；主轴组件包括第一轴段、第二轴段和轴承室；第一轴段和第二轴段一体连接；第一轴段上套设轴承室；第二轴段的远离第一轴段的一端连接联轴器。本实用新型实施例通过采用了联轴器，将压滤机的细长的轴，改进成两个通过联轴器连接的轴，并在轴上设置了轴承室，增加支撑点，有效解决了压滤机的轴由于结构细长，高强度工作下容易发生断裂的问题，进而实现了减少维修费用，保障机械的可靠运行。
- 一种压滤机轴
- [实用新型]一种取样器-CN202022909861.5有效
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韩慧珏;王福金;武林;杨贵平
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陕西北元化工集团股份有限公司
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2020-12-08
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2021-10-26
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G01N1/20
- 本公开提供了一种取样器，涉及物料取料技术领域，能够解决取样器的取料量受限的问题。取样器包括壳本体、螺旋输送件和转动手柄，壳本体的周壁上开设进料槽和下料口，进料槽、壳本体的内腔以及下料口均连通，进料槽靠近壳本体的进料端开设，下料口靠近壳本体的出料端开设；螺旋输送件的两端分别通过轴承安装在壳本体的端面，螺旋输送件的螺旋叶片位于进料槽；转动手柄位于壳本体的外部，转动手柄与螺旋输送件连接，转动手柄带动螺旋输送件旋转。本公开的转动手柄带动螺旋输送件旋转，螺旋输送件旋转过程中把进料槽处的物料输送到下料口，实现取样器的随时随地取样，既操作方便还使用范围广。
- 一种取样
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