专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]存储单元的制造方法-CN202211392884.0在审
  • 王惠姿;汪柏澍;王伟民 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2018-07-12 - 2023-01-31 - H10B63/00
  • 本发明的实施例提供了一种存储单元的制造方法,包括:提供衬底;在衬底中形成晶体管的源极/漏极部件;在衬底上方形成第一介电层;在第一介电层中形成晶体管的栅极;在第一介电层上方形成第二介电层;在第二介电层中形成第一接触部件;形成完全包围并直接接触第一接触部件的顶面、底面和侧面的第一阻挡层;形成设置在第一接触部件上方的电阻材料层;形成设置在电阻材料层上方的第二接触部件;形成完全包围并直接接触第二接触部件的顶面、底面和侧面的第二阻挡层;在第一介电层内形成导电插塞,其中,导电插塞将第一接触部件电连接至源极/漏极部件。
  • 存储单元制造方法

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