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[发明专利]使用氟碳等离子体的工件的加工-CN202180031744.8有效
发明人： 王善禹;C·闫 -专利权人：玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：提供了用于加工工件的方法。提供了在工件上执行热处理。工件包含至少一层金属。该方法可以包括：从工艺气体生成一种或多种物质。工艺气体可以包括氢气或氘气。该方法可以包括过滤一种或多种物质，以产生经过滤的混合物，并将工件暴露于经过滤的混合物。提供了在工件上的氧化工艺。该方法可以在低于350℃的工艺温度下执行。
使用等离子体工件加工

[发明专利]使用沉积工艺和刻蚀工艺的工件处理-CN202310102290.X在审
发明人： 王善禹;C·闫;仲華;杨晓晅;宋采文;张祺 -专利权人：玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：提供了一种用于对工件进行刻蚀去除工艺的装置，系统和方法。该方法可包括使用等离子体源在等离子体腔室中由沉积工艺气体产生等离子体，以在高纵横比结构的某些层上沉积钝化层。该方法可包括使用等离子体源在等离子体腔室中由刻蚀工艺气体产生等离子体，以从高纵横比结构中去除某些层。该方法可包括以比高纵横比结构上的二氧化硅层更快的刻蚀速率去除氮化硅层。
使用沉积工艺刻蚀工件处理

[发明专利]工件的加工-CN202110744685.0在审
发明人：张祺;王善禹;高常锐 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了加工工件的方法。该工件可以包括钌层和铜层。在一个示例性实施方案中，用于加工工件的方法可以包括在工件支撑件上支撑工件。该方法可以包括在工件上向钌层的至少一部分实施臭氧蚀刻工艺。该方法还可以包括对工件实施氢自由基处理工艺以去除铜层上的至少一部分氧化物层。
工件加工

[发明专利]使用沉积工艺和刻蚀工艺的工件处理-CN202080004346.2在审
发明人： 王善禹;C·闫;仲華;杨晓晅;宋采文;张祺 -专利权人：玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：提供了一种用于对工件进行刻蚀去除工艺的装置，系统和方法。该方法可包括使用等离子体源在等离子体腔室中由沉积工艺气体产生等离子体，以在高纵横比结构的某些层上沉积钝化层。该方法可包括使用等离子体源在等离子体腔室中由刻蚀工艺气体产生等离子体，以从高纵横比结构中去除某些层。该方法可包括以比高纵横比结构上的二氧化硅层更快的刻蚀速率去除氮化硅层。
使用沉积工艺刻蚀工件处理

[实用新型]一种新型警用盾牌-CN201620681492.X有效
发明人： 王善禹 -专利权人： 王善禹
申请日： 2016-07-01 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： F41H5/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型警用盾牌，属于防护用具技术领域；它包含绑缚带、盾牌主体、手柄护板；所述的绑缚带上设有卡扣；所述的盾牌本体的一侧设有插扣；所述的盾牌主体通过插扣与卡扣的配合与绑缚带连接；所述的盾牌本体上设有四个齿轮；齿轮之间相互啮合，且每个齿轮与三个叶片配合；所述的手柄护板插设在盾牌主体中；且所述的手柄护板的外端镶嵌有手电筒。它结构设计合理，操作方便，灵活性好，稳定性高，防护面可调节，且可以保护手部，能提高整装效率。
一种新型盾牌

[实用新型]一种新型多功能防暴盾牌-CN201520450310.3有效
发明人： 王善禹 -专利权人： 王善禹
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2015-10-14 - 主分类号： F41H5/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型多功能防暴盾牌，属于防护用具技术领域，所述的正面防护面板的正面设有一圈凹槽一，凹槽一的中间均有设有数个镂空四角星一，镂空四角星一的上方设有一排钉孔一，正面防护面板反面的右侧设有握柄，握柄内设有手电筒，握柄的右侧设有握柄调节面板，且所述的握柄调节面板与正面防护面板的右端连接，握柄调节面板正面的上方设有数个调节点，调节点的正下方设有与其对应的数个对位钉孔，它结构设计合理，操作方便，灵活性好，功能多样，可以有效的保护使用者，且能有效的抵御外敌，还可以当作汽车拦截的刀具，它提高了瞄准的精准度，提高了使用者的舒适度。
一种新型多功能防暴盾牌

[发明专利]一种熔融旋甩快速制备Bi_1-xSb_x热电材料的方法-CN201110424342.2无效
发明人：唐新峰;罗婷婷;王善禹;李涵 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2011-12-16 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： C22C12/00 文献下载
摘要：本发明属于新能源材料领域，具体涉及一种熔融旋甩快速制备Bi1-xSbx热电材料的方法。一种熔融旋甩快速制备Bi1-xSbx热电材料的方法，其特征在于它包括如下步骤：1)以Bi粒和Sb粒为原料，按Sb/(Bi+Sb)摩尔比x＝0～0.22称料，将原料置于石英玻璃管中，抽真空并密封；2)将步骤1)中原料于700℃～800℃熔融反应1h，将熔融得到的产物进行淬火；3)将步骤2)所得产物进行熔体旋甩，然后将得到的带状产物研磨成细粉；4)将步骤3)所得细粉进行放电等离子体烧结，得到Bi1-xSbx热电材料。该方法反应周期短、工艺简单易控、原料廉价易得，适用于大规模制备。
一种熔融快速制备 bi sub sb 热电材料方法

[发明专利]Bi_1-xSb_x热电合金粉体的超声化学快速制备方法-CN201110086251.2无效
发明人：唐新峰;罗婷婷;王善禹;李涵 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2011-04-07 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： C22C12/00 文献下载
摘要：本发明属于新能源材料领域，具体涉及一种Bi1-xSbx(x＝0～0.22)热电合金粉体的超声化学快速制备方法。Bi1-xSbx热电合金粉体的超声化学快速制备方法，其特征在于它包括如下步骤：1)配制BiCl3和SbCl3的混合溶液A，其中Sb/(Bi+Sb)摩尔比x＝0～0.22；配制NaOH溶液和NaBH4溶液，将其混合后得到溶液B；2)将溶液B缓慢加入溶液A中，在55～65℃下超声化学反应2～5h，得产物C；3)对产物C进行离心、洗涤和真空冷冻干燥，得到Bi1-xSbx热电合金粉体。本发明所用原料成本低廉、设备和工艺简单易控、反应温度低、反应时间短、能耗低、安全无污染、重复性好，且可用于大规模制备Bi1-xSbx热电合金粉体。
bi sub sb 热电合金粉超声化学快速制备方法

[发明专利]一种快速制备n型Bi₂(Se_xTe_1-x)₃热电材料的方法-CN200910063194.9无效
发明人：唐新峰;王善禹;谢文杰;鄢永高;张清杰 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2009-07-17 - 公布日： 2009-12-30 - 主分类号： C22C1/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种快速制备n型Bi₂(Se_xTe_1-x)₃热电材料的方法。一种快速制备n型Bi₂(Se_xTe_1-x)₃热电材料的方法，其特征在于它包括如下步骤：1)按照Bi粉、Te粉、Se粉的摩尔比为2∶3x∶(3-3x)，称取Bi粉、Te粉和Se粉，其中x为0.08～0.12；将Bi粉、Te粉和Se粉混合后在压片机上压成块体材料；2)将压制好的块体材料通过高频感应加热熔融获得均匀的碲化铋熔体，然后通过单辊急冷法，控制喷气压力和铜辊的转速，得到薄带材料；3)将薄带材料碾碎，装采用放电等离子体烧结技术，通过控制烧结温度、时间、压力，得到n型Bi₂(Se_xTe_1-x)₃热电材料。该方法具有工艺简单、制备时间短的特点。
一种快速制备 bi sub se te 热电材料方法

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