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[发明专利]一种柔轮用特殊钢及其制备工艺-CN202210529639.3有效
发明人：郭奇勋;于广华;王学敏;滕蛟;黄意雅;徐秀兰;朱冠伦;任宏宇;何强 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C22C38/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种柔轮用特殊钢及其制备工艺，所述柔轮用特殊钢采用中碳高强度特殊钢制成，所述中碳高强度特殊钢的化学成分按质量百分含量包括：C：0.38％‑0.40％、Si：0.15％‑0.25％、Mn：1.0％‑1.20％、Cr：0.8％‑2.20％、Ni：0.5％‑0.8％、Mo：0.20％‑0.25％、B：0.0005％‑0.0010％、Sn：0.01‑0.02％、P≤0.012％、S≤0.005％、Cu：0.30％‑0.40％，余量为Fe及不可避免的杂质。本申请解决了现有技术柔轮材料的耐候性较差的技术问题。
一种柔轮用特殊及其制备工艺

[发明专利]一种高效率MEMS高温薄膜热电偶传感器的制造方法-CN202111216093.8有效
发明人：薛美霞;滕蛟;吴宇 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种高效率MEMS高温薄膜热电偶传感器的制造方法，涉及MEMS制造领域与传感器领域。包括：基片选择、绝缘层/过渡层材料选择与生长工艺、热偶层特定材料的厚度确定与沉积工艺、保护层材料选择与生长工艺。本发明针对高温恶劣环境，设计了传感器的耐高温膜层材料及结构，优化了薄膜溅射、剥离、退火等制备工艺，采用磁控溅射沉积、化学气相沉积技术，与MEMS工艺线相互兼容，解决了钨铼合金湿法图形化腐蚀的难题，攻克了大尺寸厚金属膜制备的应力问题，实现了可在1000℃下使用的微型化高温薄膜热电偶传感器的批量生产，制造良品率100％。
一种高效率 mems 高温薄膜热电偶传感器制造方法

[发明专利]一种磁性本征拓扑绝缘体MnBi2Te4薄膜的制备方法-CN202110642910.X有效
发明人：黄意雅;郭奇勋;滕蛟;徐秀兰;张辉;于广华 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种磁性本征拓扑绝缘体MnBi2Te4薄膜的制备方法，属于发光材料制备及应用技术领域，包括如下步骤：S1.清洁并干燥基片后，将其置于磁控溅射镀膜仪的真空腔内；S2.室温下，利用磁控多靶共溅射法，将Mn源、Bi源和Te源共溅射在所述基片上制备非晶态的薄膜；S3.共溅射结束后，原位溅射生长一层Al膜作为保护层；S4.将所述非晶态的薄膜移入真空退火炉中，退火保温一段时间后制得。本发明的磁性本征拓扑绝缘体MnBi2Te4薄膜的制备方法，仅需在目标温度下进行一轮退火便可得到，工艺简单，可操作性更强；能够最大限度地节约时间成本，使效率最大化，适用于大批量生产；无需进行任何人工转移操作可避免污染、损坏；降低了设备成本，有利于工业化生产。
一种磁性拓扑绝缘体 mnbi2te4 薄膜制备方法

[发明专利]一种垂直膜面方向具有硬磁性能且在面内方向具有软磁性能的磁性薄膜及其制备方法-CN202110708000.7有效
发明人：于广华;刘冕宸;徐秀兰;冯春;滕蛟;李明华 -专利权人：广东麦格智芯精密仪器有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01F10/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种垂直膜面方向具有硬磁性能且在面内方向具有软磁性能的磁性薄膜及其制备方法，属于磁性薄膜制备技术领域。本发明所述磁性薄膜是利用磁控溅射仪于室温下在基底材料上沉积而成，包括从下而上依次层叠的基底、AlNiCo永磁合金和Ag。所述制备方法包括：利用磁控溅射仪于室温条件下通过直流溅射金属靶材，在基底材料上依次沉积AlNiCo永磁合金和Ag；再将薄膜材料从磁控溅射仪中取出，放入超高真空退后炉中，在真空度优于5.0×10‑7Torr的条件下进行退火处理，退火温度为750℃‑900℃。利用该制备方法得到的磁性薄膜沿面内方向具有软磁性能且同时沿具垂直膜面方向有硬磁性能，拓宽了AlNiCo薄膜材料的使用性能，不仅可以用作磁码盘材料，还可用作磁传感器材料。
一种垂直方向具有磁性薄膜及其制备方法

[发明专利]一种残余奥氏体调节的柔轮用特殊钢及其制备方法-CN202110521703.9有效
发明人：于广华;王学敏;徐秀兰;冯春;滕蛟;李明华 -专利权人：广东麦格智芯精密仪器有限公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： C22C38/02 文献下载
摘要：本发明的实施例公开一种残余奥氏体调节的柔轮用特殊钢及其制备方法，属于柔轮用特殊钢的技术领域。所述柔轮用特殊钢采用中碳高强度特殊钢制成，以质量百分比计，所述中碳高强度特殊钢的化学成分为：C 0.44％～0.50％、Si 0.15％～0.25％、Mn 1.0％～1.20％、Cr 0.8％～2.20％、Ni 2.51％～2.80％、Mo 0.20％～0.25％、Nb 0.030％～0.04％、P≤0.012％、S≤0.005％，Cu 0.30％～0.40％；余量为Fe及不可避免的杂质。所述制备方法包括对柔轮用特殊钢的钢坯进行固溶热处理+两阶段热轧+一次正火+两次临界热处理+高温回火来控制晶粒细化和残余奥氏体组织。
一种残余奥氏体调节柔轮用特殊及其制备方法

[发明专利]一种Fe-Cr-Al合金钢板及其制备方法-CN202110538497.2有效
发明人：徐秀兰;王学敏;于广华;陈冷;冯春;滕蛟;潘月斗 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： C22C38/06 文献下载
摘要：本申请提供的Fe‑Cr‑Al合金钢板，包括如下成分和重量百分比含量的物质：C:0.00～0.012％、Nb:0.10～0.40％、Cr:10.00～16.00％、Al:4.01～9.00％、Cu:0.20‑0.49％、B:0.003～0.015％、Ti:0.09～0.12％、S:≤0.005％、P:≤0.005％、其余为Fe，本申请采用Cr、Al、Nb、Cu、Ti间耐蚀作用相互关联性，尤其是Al‑Cr复合钝化作用，使得材料具有优异的抗氯离子腐蚀能力。另外，本申请还提供了一种所述的Fe‑Cr‑Al合金钢板的制备方法。
一种 fe cr al 合金钢板及其制备方法

[发明专利]一种钴基多层膜及其制备方法-CN202110205965.4有效
发明人：徐秀兰;于广华;冯春;滕蛟;黄意雅 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种钴基多层膜及其制备方法，该钴基多层膜包括：基底以及依次位于基底一侧面的第一覆盖层、氮掺杂钨层、Co基软磁层以及第二覆盖层。本发明还提供了该钴基多层膜的制备方法，其通过选择氮原子作为与铁磁金属产生轨道杂化对象，诱发其界面结构的改变，无需后续的真空退火处理，通过界面处的Co‑N轨道杂化工程来调节铁磁金属界面处的轨道结构，得到有益的、适度的Co‑N轨道杂化状态，使得界面处呈现不同程度的处轨道杂化状态，增加了调节的范围和可控性，从而引起Co基多层膜磁性能的改变。
一种基多及其制备方法

[实用新型]一种阳极自动测高及更换装置-CN202121546610.3有效
发明人：江勇;徐秀兰;于广华;冯春;滕蛟;李明华 -专利权人：广东麦格智芯精密仪器有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： C25C3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种阳极自动测高及更换装置，包括天车的基座和安装在天车基座上的机械臂；在机械臂上设置有拉绳，在机械臂的底端安装有得以夹持阳极的夹具，在夹具上安装有检测传感器，在机械臂上靠近基座的一端装有连接拉绳的机械臂拉绳编码器，机械臂拉绳编码器得以测量阳极的高度；在基座上安装有升降杆，在升降杆上设置有拉绳，在升降杆的底端安装有机器视觉测距装置，机器视觉测距装置得以测量阳极的位置，在升降杆上靠近基座的一端装有连接拉绳的升降杆拉绳编码器，升降杆拉绳编码器得以测量机器视觉测距装置的高度。实现自动对新旧阳极底掌平面的自动测量、定位及更换；消除了在更换阳极过程中产生的随机误差，保证了更换阳极质量。
一种阳极自动测高更换装置

[实用新型]一种纳米薄膜制备及化学状态测试系统-CN202121325962.6有效
发明人：于泠然;徐秀兰;于广华;冯春;滕蛟;李明华;王学敏 -专利权人：广东麦格智芯精密仪器有限公司
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： G01N23/2273 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种纳米薄膜制备及化学状态测试系统，系统包括制备室以及与制备室连接的分析室，制备室和分析室均为真空，且制备室的真空度小于分析室的真空度；制备室内具有氩离子枪和制备平台；分析室内具有X射线光电子能谱分析仪，X射线光电子能谱分析仪用于对制备室制备得到的薄膜材料的表面原子进行化学状态测试；系统还包括设置在制备室和分析室内的样品输送装置，样品输送装置用于将制备室制备得到的薄膜材料输送至分析室内。本方案中制备的薄膜材料不会经历空气的曝光，不需要用Ar离子枪把薄膜材料表面的氧化层蚀刻掉，从而避免薄膜材料中电子结合能的变化，因此可以提高薄膜材料的表面原子的化学状态的测试的准确度。
一种纳米薄膜制备化学状态测试系统

[发明专利]一种超高各向异性磁电阻薄膜材料及其制备方法-CN201911073937.0有效
发明人：于泠然;祝荣贵;于广华;滕蛟 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H01L43/08 文献下载
摘要：本发明提供一种超高各向异性磁电阻薄膜材料及其制备方法，属于磁性薄膜材料的技术领域。所述超高各向异性磁电阻薄膜材料为Ta/M/MgO/NiFe/MgO/M/Ta结构，其中的M为Hf或Pt。所述制备方法是通过磁控溅射在磁控溅射仪的玻璃基片上依次沉积并经过真空磁场热处理，从而制备得到超高各向异性磁电阻薄膜材料。本发明由于Ta/M双层膜对MgO的化学状态调控相比于单一Ta层对MgO的结构调控要好，因此新提出的结构界面自旋电子散射效果更好，磁电阻值更大，能满足高磁电阻需求。
一种超高各向异性磁电薄膜材料及其制备方法

[发明专利]阻变存储器的存储状态的调控方法-CN201710264856.3有效
发明人：龙世兵;李磊磊;滕蛟;刘琦;吕杭炳;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2017-04-20 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： H01L45/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种阻变存储器的存储状态的调控方法。阻变存储器包括两个电极层与两个电极层之间的绝缘层，两个电极层分别是第一电极层与第二电极层，至少一个电极层为铁磁电极层，存储状态的调控方法包括：步骤S1，向两个电极层之间施加第一电压，使得至少一个铁磁电极层的电势高于另一个电极层的电势，使得绝缘层中形成磁通道；步骤S2，向两个电极层之间施加第二电压，使得一个铁磁电极层中的铁磁材料发生相变。该调控方法不涉及到导电细丝的断裂过程，缓解了电阻转变的波动性，使得RRAM形成的RRAM阵列得到更广泛地应用，该调控方法操作简单，能降低存储器外围电路设计成本低，有利于其大规模集成和实际应用。
存储器存储状态调控方法

[发明专利]磁性纳米线器件、其制作方法与磁性纳米线的构筑方法-CN201710264857.8有效
发明人：龙世兵;李磊磊;滕蛟;刘琦;吕杭炳;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2017-04-20 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： H01L43/08 文献下载
摘要：本申请提供了一种磁性纳米线器件、其制作方法与磁性纳米线的构筑方法。该磁性纳米线器件包括依次叠置设置的衬底、第一电极层、绝缘层、原子阻挡层和第二电极层，其中，第一电极层与第二电极层中的一个电极层为铁磁电极层，另一个电极层为非磁性电极层，磁性纳米线器件还包括设置在铁磁电极层与绝缘层之间的原子阻挡层，原子阻挡层包括纳米通孔。本申请的磁性纳米线器件可以有效精确地控制磁性纳米线的宽度以及位置，实现了纳米线的限域与稳定。该磁性纳米线器件实现了磁电耦合效应，为研究新型多级存储器件提供了载体。
磁性纳米器件制作方法构筑方法

[发明专利]纳米线的构筑方法及数据存储方法-CN201710261469.4在审
发明人：龙世兵;李磊磊;滕蛟;刘琦;吕杭炳;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2017-04-20 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： H01L43/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种纳米线的构筑方法及数据存储方法。该纳米线的构筑方法包括以下步骤S1，在衬底上顺序层叠设置下电极层、绝缘层和上电极层，且上电极层或下电极层为铁磁电极层；S2，向铁磁电极层上施加正扫描电压，使下电极层与上电极层之间具有正电势差，形成纳米线。相比于现有技术中纳米线的构筑方法，本发明的上述构筑方法大大简化了制备工艺，降低了制备成本，提高了工艺稳定性与制备效率，进而能够被广泛推广和应用；并且，将上述纳米线的构筑方法应用于M/I/M的存储器结构中后，能够同时实现阻变存储效应和自旋相关效应，从而在简单的结构中实现了多态操作以及多值存储，通过磁电耦合效应为多级存储器件提供了载体。
纳米构筑方法数据存储

[发明专利]一种霍尔自旋天平材料及元器件-CN201210421031.5无效
发明人：于广华;王守国;张石磊;刘洋;张静言;滕蛟;冯春 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2012-10-29 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： H01L43/10 文献下载
摘要：本发明涉及磁性功能薄膜和以磁性多层膜材料为基础的新型材料及其元器件。一种霍尔自旋天平材料，所述材料包括多层薄膜，由两个具有垂直磁各向异性的磁性层，中间被非磁性绝缘层隔离所组成；其中一磁性层被反铁磁层钉扎，另外一磁性层与一功能层相连；材料制成Hallbar的形状。此发明保留了MTJ的优点，以低成本实现NVM，并具有与晶体管媲美的状态变化比率，能够实现3D存储阵列，且具有复杂逻辑处理的能力。解决了NVM现存的主要问题。
一种霍尔自旋天平材料元器件

[实用新型]压力蒸汽消毒器用干湿度控制装置-CN201220118440.3有效
发明人：滕蛟;付晓云;刘爱芹;张艳;刘杨 -专利权人：付晓云
申请日： 2012-03-17 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： A61L2/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压力蒸汽消毒器用干湿度控制装置，该装置包括干湿度传感器、控制单元、设定单元和显示单元，干湿度传感器设于压力蒸汽消毒器的消毒室内，设定单元和显示单元设于压力蒸汽消毒器的仪表盘外壳上，控制单元设于仪表盘内部，控制单元分别连接干湿度传感器设定单元和显示单元。本实用新型可有效解决消毒物品存在干燥程度不够或者干燥不均匀的问题，具有结构合理、使用方便、控制性能好的特点。
压力蒸汽消毒器用湿度控制装置

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