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[发明专利]化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法-CN202310445090.4在审
发明人：小竹正晃;渡边聪;增永惠一;福岛将大;船津显之;松泽雄太 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明涉及化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题为提供可获得改善了图案形成时的分辨率且LER及CDU经改善的抗蚀剂图案，缺陷少且可使用300～400nm的短波长进行缺陷检查的化学增幅正型抗蚀剂组成物，以及提供抗蚀剂图案形成方法。该课题的解决手段为一种化学增幅正型抗蚀剂组成物，分别以预定量含有：(A)下式(A1)表示的鎓盐化合物，(B)基础聚合物，包含含有下式(B1)表示的重复单元且会因酸的作用而分解并增加在碱显影液中的溶解度的聚合物，但，不包含含有具内酯环的重复单元的聚合物，及(C)光酸产生剂。#imgabs0#
化学增幅正型抗蚀剂组成抗蚀剂图案形成方法

[发明专利]化学增幅负型抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法-CN201910439482.3有效
发明人：小竹正晃;渡边聪;增永惠一 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明为化学增幅负型抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法。提供了包含具有含桥接的环的基团的芳烃磺酸的鎓盐和基础聚合物的负型抗蚀剂组合物，该鎓盐能够产生具有适当的强度和扩散受控的大体积酸。当该抗蚀剂组合物通过光刻法处理时，形成具有高分辨率和降低的LER的矩形轮廓的点图案。
化学增幅负型抗蚀剂组合抗蚀剂图案形成方法

[发明专利]正型抗蚀剂组成物及图案形成方法-CN202010148552.2有效
发明人：松井良宪;提箸正义;金子达志;关明宽;渡边聪 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及正型光阻抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题是提供PED稳定性优异、DOF特性优异、LWR良好、可形成拖尾受到抑制的形状的图案的正型抗蚀剂组成物、及使用该正型抗蚀剂组成物的图案形成方法。一种正型抗蚀剂组成物，含有：(A)下式(1)表示的第1鎓盐化合物；(B)下式(2)表示的第2鎓盐化合物；(C)基础聚合物，该基础聚合物含有下式(a)表示的含酸不稳定基团的重复单元、及视需要的下式(b)表示的含酸不稳定基团的重复单元，且其碱溶解性会因酸而改善(但是，含有下式(b)表示的含酸不稳定基团的重复单元时，酸不稳定基团的碳数为14以上者在全部重复单元中为5摩尔％以下的话，则亦可含有。)；及(D)有机溶剂。
正型抗蚀剂组成图案形成方法

[发明专利]化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法-CN202211633529.8在审
发明人：增永惠一;畠山润;渡边聪;船津显之;小竹正晃;福岛将大 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明涉及化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明提供一种化学增幅正型抗蚀剂组成物，其能形成具有极高分辨率，LER小而矩形性优异且能形成显影负载的影响受抑制的图案的抗蚀剂膜。一种化学增幅正型抗蚀剂组成物，包含基础聚合物，该基础聚合物含有：包括含苯酚性羟基的单元、苯酚性羟基受酸不稳定基团保护的单元及羧基受酸不稳定基团保护的单元的聚合物、或包括含苯酚性羟基的单元及苯酚性羟基受酸不稳定基团保护的单元的聚合物及包括含苯酚性羟基的单元及羧基受酸不稳定基团保护的单元的聚合物，该基础聚合物中含有的聚合物的全部重复单元中，具有芳香环骨架的重复单元为65摩尔％以上。
化学增幅正型抗蚀剂组成抗蚀剂图案形成方法

[发明专利]鎓盐、化学增幅正型抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法-CN201910438807.6有效
发明人：井上直也;渡边聪;土门大将 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C07C309/73 文献下载
摘要：具有含桥接环的基团的芳烃磺酸的鎓盐产生了具有适当强度和受控的扩散的大体积酸。当包含该鎓盐和基础聚合物的正型抗蚀剂组合物通过光刻法加工时，形成了具有高分辨率和降低的LER的矩形轮廓的图案。
鎓盐化学增幅正型抗蚀剂组合抗蚀剂图案形成方法

[发明专利]叶轮泵-CN201980070851.4有效
发明人：大森裕介;中川智行;杉原雅道;高桥笃实;渡边聪 -专利权人： KYB株式会社
申请日： 2019-10-29 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： F04C2/344 文献下载
摘要：一种叶轮泵(100)具备：转子(2)，其被旋转驱动；多个叶片(3)，其以能够自由滑动的方式被收纳安装于转子(2)的狭槽(2a)；凸轮环(4)，其具有与叶片(3)的顶端部(3a)滑动接触的凸轮面(4a)；侧面部件(40)，其具有与转子(2)以及叶片(3)的侧面滑动接触的滑动接触面(40a)；泵室(6)，其由转子(2)、凸轮环(4)、和相邻的叶片(3)划分而成；喷出端口(42)，其在滑动接触面(40a)上开口，并对从泵室(6)被喷出的工作流体进行引导。侧面部件(40)具有导向面(130、170)，所述导向面(130、170)被设置于在滑动接触面(40a)上开口的开口部(42、160A)的端部侧，并在转子(2)向逆旋转方向旋转的情况下，将叶片(3)的端部(3a、3b)朝向侧面部件(40)的滑动接触面(40a)上推并导向。
叶轮

[发明专利]泡罩包装机及泡罩包装的制造方法-CN202080042962.7有效
发明人： 渡边聪;川合诚司 -专利权人： CKD株式会社
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B65B9/04 文献下载
摘要：[课题]提供一种能更可靠地防止因容器膜的下垂而发生皱纹等的不良情形的泡罩包装机及泡罩包装的制造方法。[解决机构]泡罩包装1具有形成有袋部2的容器膜3。袋部2为形成于因预热而成为软化状态的容器膜3。对容器膜3形成袋部2为，于对容器膜3中的至少袋部2的形成预定部以施加沿着容器膜3的宽度方向的张力的状态下进行。由此，可在将容器膜3往宽度方向延伸并有效地抑制容器膜3的下垂的状态下进行袋部2的形成。其结果，能更可靠地防止伴随着袋部2的形成而在容器膜3中的盖膜4的安装预定部、袋部2产生皱纹等的不良情形。
泡罩包装机包装制造方法

[发明专利]信息处理系统和信息处理方法-CN201880009900.9有效
发明人：仲川和志;在塚俊之;藤本和久;渡边聪;藤川义文 -专利权人：株式会社日立制作所
申请日： 2018-02-02 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G06F9/50 文献下载
摘要：在分布式DB系统的作为工作节点的各服务器中搭载加速器，将由应用程序服务器的应用程序生成的查询分成要由加速器执行的第一任务和要由软件执行的第二任务，并对分布式DB系统的服务器分配，服务器使加速器执行第一任务，由软件执行第二任务。
信息处理系统方法

[发明专利]化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法-CN202210264307.7在审
发明人：增永惠一;渡边聪;船津显之;小竹正晃;井上直也 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明提供可形成有极高分辨率且LER小而矩形性优异，抑制了显影负载(loading)的影响的图案的抗蚀剂膜的化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。一种化学增幅正型抗蚀剂组成物，包括基础聚合物，该基础聚合物含有：含有酸产生单元、含苯酚性羟基的单元、苯酚性羟基受酸不稳定基团保护的单元及羧基受酸不稳定基团保护的单元的聚合物、或含有酸产生单元、含苯酚性羟基的单元及苯酚性羟基受酸不稳定基团保护的单元的聚合物、以及含有酸产生单元、含苯酚性羟基的单元及羧基受酸不稳定基团保护的单元的聚合物；该基础聚合物中含有的聚合物的全部重复单元中，具有芳香环骨架的重复单元为60摩尔％以上。
化学增幅正型抗蚀剂组成抗蚀剂图案形成方法

[发明专利]单体、聚合物、负型抗蚀剂组合物、光掩模坯和抗蚀剂图案形成方法-CN201910437381.2有效
发明人：土门大将;提箸正义;小竹正晃;井上直也;增永恵一;渡边聪 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C07C33/26 文献下载
摘要：本发明涉及单体、聚合物、负型抗蚀剂组合物、光掩模坯和抗蚀剂图案形成方法。包含含有在分子中具有至少两个酸可消除的羟基或烷氧基重复单元的聚合物的负型抗蚀剂组合物对于形成具有高分辨率和最小的LER同时使缺陷最小化的抗蚀剂图案有效。
单体聚合物负型抗蚀剂组合光掩模坯抗蚀剂图案形成方法

[发明专利]泡罩包装机和泡罩包装的制造方法-CN201980065463.7有效
发明人：川合诚司;喜久川智美;渡边聪 -专利权人： CKD株式会社
申请日： 2019-09-13 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B65B9/04 文献下载
摘要：本发明的课题在于，提供一种泡罩包装机和泡罩包装的制造方法，其中，可防止由容器膜下垂等引起的不良情况。泡罩包装(1)通过下述的工序而制造，在该工序中，在一边运送带状的容器膜(3)，一边对该容器膜(3)进行预热，使其处于软化状态，在此基础上，在该容器膜(3)上形成袋部(2)。至少在从容器膜(3)的预热工序到袋部(2)的形成工序结束的期间，通过与所运送的容器膜(3)同步地移动的支承带(21)，支承容器膜(3)的规定部位。由此，即使在于极力地降低所施加的负荷的状态支承容器膜(3)，或为了应对高温蒸煮杀菌等的热处理而使容器膜(3)的预热温度高的情况下，仍可有效地抑制容器膜(3)的下垂。
泡罩包装机包装制造方法

[发明专利]化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法-CN202210124479.4在审
发明人：小竹正晃;渡边聪;增永惠一;大桥正树 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2022-02-10 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明涉及化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题是提供可获得改善图案形成时的分辨率且改善LER及CDU的抗蚀剂图案的化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。该课题的解决手段为一种化学增幅正型抗蚀剂组成物，含有：(A)硫烷(sulfurane)或硒烷(selenurane)化合物，以下式(A1)表示，及(B)基础聚合物，包含含有下式(B1)表示的重复单元且因酸的作用而分解并使于碱显影液中的溶解度增大的聚合物。式中，M为硫原子或硒原子。
化学增幅正型抗蚀剂组成抗蚀剂图案形成方法

[发明专利]化学增幅负型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法-CN202210127488.9在审
发明人：增永惠一;渡边聪;小竹正晃;大桥正树 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及化学增幅负型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题是提供可获得改善图案形成时的分辨率且减少LER及LWR的图案的化学增幅负型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。该课题的解决手段为一种化学增幅负型抗蚀剂组成物，含有：(A)硫烷(sulfurane)或硒烷(selenurane)化合物，以下式(A1)表示，及(B)基础聚合物，包含含有下式(B1)表示的重复单元的聚合物。式中，M为硫原子或硒原子。
化学增幅负型抗蚀剂组成抗蚀剂图案形成方法

[发明专利]固定设置用燃料电池系统-CN202210079390.0在审
发明人：赤松一志;江森作马;渡边聪;石川智隆 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01M8/04223 文献下载
摘要：本发明提供一种固定设置用燃料电池系统，具备：燃料电池；第1循环系统，其供液态的第1导热介质循环，其中，该第1导热介质被供给至上述燃料电池；冷却塔，其用于冷却上述第1导热介质；环境信息取得单元，其取得与上述燃料电池的冻结相关的环境信息；以及至少一个处理器。在基于环境信息而肯定了燃料电池的冻结可能性时，至少一个处理器执行利用第1导热介质来使燃料电池的温度上升的控制。
固定设置燃料电池系统

[发明专利]燃料电池系统和燃料电池系统的控制方法-CN202111525840.6在审
发明人：石川智隆;渡边聪;赤松一志 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01M8/04029 文献下载
摘要：本公开涉及燃料电池系统和燃料电池系统的控制方法，具备：多个燃料电池单元，分别具有燃料电池、燃料电池冷却系统、以及控制燃料电池的控制部，上述燃料电池冷却系统具有进行初级侧制冷剂与向燃料电池流通的次级侧制冷剂之间的热交换的热交换器、和调整次级侧制冷剂的流量的制冷剂泵；冷却装置；以及冷却系统，从冷却装置向多个燃料电池单元分别供给初级侧制冷剂。在燃料电池系统的运转停止中，冷却装置将初级侧制冷剂调整为预先决定好的温度以上的温度并向多个燃料电池单元分别供给，在多个燃料电池单元中的存在燃料电池冻结的可能性的1个以上的燃料电池单元中，控制部以次级侧制冷剂在热交换器中流动的方式使制冷剂泵工作。
燃料电池系统控制方法

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