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[发明专利]一种三轴MEMS陀螺仪-CN201610744489.2有效
发明人：邹波;王辉;刘爽 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2016-08-27 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01C19/5621 文献下载
摘要：本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括设置于X轴方向上的X轴检测部、Y轴检测部以及Z轴检测部，并且上述三个检测部之间通过外部质量块相互连接，并且所述外部质量块与上述三个检测部之间通过若干根连接弹簧梁相连。上述三轴MEMS陀螺仪，利用一套驱动部件便能够实现对于X轴、Y轴和Z轴的角速度检测，从而节省了陀螺仪的内部空间，降低了成本。
一种 mems 陀螺仪

[发明专利]一种MEMS器件及其加工方法-CN202010368582.4有效
发明人：邹波;陈义洋 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2020-05-01 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS器件及其加工方法，包括可动组件，所述可动组件的表面依次设置有电介质层和疏水层。所述MEMS器件的加工方法，包括：形成可动结构层，所述可动结构层包括可动组件；沉积电介质层；沉积疏水层。
一种 mems 器件及其加工方法

[发明专利]一种三轴MEMS陀螺仪-CN201610743202.4有效
发明人：邹波;王辉;郑青龙 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2016-08-27 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括对称设置于Y轴检测部两侧且位于X轴方向上的XZ轴检测部，并且两个所述XZ轴检测部与所述Y轴检测部之间通过若干根连接梁相连。上述三轴MEMS陀螺仪，利用一套驱动部件便能够实现对于X轴、Y轴和Z轴的角速度检测，从而节省了陀螺仪的内部空间，降低了成本。
一种 mems 陀螺仪

[发明专利]一种两轴MEMS陀螺仪-CN201610744480.1有效
发明人：邹波;王辉;郑青龙 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2016-08-27 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01C19/5677 文献下载
摘要：本发明公开了一种两轴MEMS陀螺仪，包括对称设置于锚点左右两侧且位于X轴方向上的一组X轴质量块，以及对称设置于所述锚点上下两侧且位于Y轴方向上的一组Y轴质量块；所述X轴质量块、所述Y轴质量块以及所述锚点之间通过若干根弹簧梁相连。上述两轴MEMS陀螺仪，利用一套驱动部件便能够实现对于X轴和Y轴的角速度检测，从而节省了陀螺仪的内部空间，降低了成本。
一种 mems 陀螺仪

[发明专利]一种MEMS陀螺仪的解调系统和解调装置-CN201611249065.5有效
发明人：邹波;欧阳忠明 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2016-12-29 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01C19/5776 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS陀螺仪的解调系统和解调装置，由于解调生成模块直接与第一转换模块相连，以第一模拟电压为基础进行转换生成角速度解调信号和正交解调信号，故而，驱动模块由于工艺问题产生的相位误差并不会对角速度解调信号和正交解调信号造成影响，进而能够保证MEMS陀螺仪的解调系统生成的角速度信号的准确度高，且改善MEMS陀螺仪静止状况下零偏不稳定性的情况。以及，由于角速度解调信号和正交解调信号的占空比均为50％，改善了角速度信号的噪声性能。
一种 mems 陀螺仪解调系统装置

[发明专利]一种基于下肢运动实现定位的方法、装置及系统-CN201610737373.6有效
发明人：邹波;王辉;金魏新 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01C21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于下肢运动实现定位的方法、装置及系统，包括：获取当前跨步的前肢和后肢的前进方向与所述前肢和后肢的运动参数；根据所述运动参数计算所述当前跨步在水平方向的前进距离和在高度方向的前进高度；将所述当前跨步所对应的前进方向、前进距离和前进高度与历史跨步所对应的前进方向、前进距离和前进高度进行统计，以得到所述当前跨步所对应的当前位置。由上述内容可知，本发明提供的技术方案，通过对跨步的前进方向、前进距离和前进高度进行统计而定位，以确定被测载体的当前位置，不仅无需接收卫星信号即可实现定位，而且定位的精度更高。
一种基于下肢运动实现定位方法装置系统

[发明专利]一种三轴MEMS陀螺仪-CN201610744554.1有效
发明人：邹波;王辉;郑青龙 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2016-08-27 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01C19/5621 文献下载
摘要：本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括对称设置于X轴检测部两侧且位于X轴方向上的YZ轴检测部，并且两个所述YZ轴检测部与所述X轴检测部之间通过若干根连接梁相连。上述三轴MEMS陀螺仪，利用一套驱动部件便能够实现对于X轴、Y轴和Z轴的角速度检测，从而节省了陀螺仪的内部空间，降低了成本。
一种 mems 陀螺仪

[发明专利]一种MEMS器件结构-CN201710386132.6有效
发明人：邹波;王辉 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS器件结构，包括可动结构、不可动结构、锚点和至少一个限位块；所述可动结构用于在接收到任一方向输入的外部作用力或由自身惯性产生的惯性力后，产生与所述外部作用力和或所述惯性力方向相对的应且相对于所述不可动结构的移动；所述至少一个限位块用于在所述可动结构朝向所述不可动结构移动时，向所述可动结构提供一扭转作用力，使得所述可动结构产生背离所述不可动结构的扭转运动，所述扭转运动使所述可动结构产生扭转变形，以降低可动结构与不可动结构之间的吸附概率，避免可动结构与不可动结构之间吸附现象的发生。
一种 mems 器件结构

[发明专利]一种MEMS器件及其防吸附方法-CN201710368321.0有效
发明人：邹波;罗皓 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2017-05-23 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS器件及其防吸附方法，包括可动结构、不可动结构和振荡器；所述可动结构包括可动质量块和固定在所述可动质量块上的可动梳齿；所述不可动结构包括不可动基底以及固定在所述不可动基底上的至少两个固定梳齿；所述振荡器用于在所述固定梳齿与所述可动梳齿发生吸附时，向所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿输出振荡信号，以使所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿之间产生静电吸力，使发生吸附的所述固定梳齿和所述可动梳齿分开，从而解决了由于可动梳齿与固定梳齿吸附而影响MEMS器件正常运行的问题。
一种 mems 器件及其吸附方法

[发明专利]MEMS器件及其制造方法-CN202010153997.X有效
发明人：邹波;郭梅寒 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2020-03-06 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS器件及其制造方法，其中用于制造MEMS器件的方法，包括在第一晶圆上形成深槽，所述深槽与可动结构图案相配合；将所述第一晶圆与结构层晶圆相连接；在所述结构层晶圆上形成可动结构后舍弃所述第一晶圆，从而解决了现有体硅工艺中出现的结构层背面损失的问题，同时也不会出现现有硅表面工艺中可动结构加工过程中的钻蚀问题。
mems 器件及其制造方法

[发明专利]一种MEMS陀螺仪的信号处理系统-CN201710570317.2有效
发明人：邹波;罗皓 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2017-07-13 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01C19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS陀螺仪的信号处理系统，包括：与检测电容电连接的第一转换模块，第一转换模块用于将检测电容的电容值转换为检测数字信号；与第一转换模块电连接的第一数字信号处理模块，第一数字信号处理模块用于对检测数字信号进行处理得到角速度数字信号；与驱动检测电容电连接的第二转换模块，第二转换模块用于将驱动检测电容的电容值转换为驱动检测数字信号；与第二转换模块电连接的驱动模块，驱动模块用于根据驱动检测数字信号生成模拟驱动信号至驱动电容，使第二转换模块、驱动模块和MEMS陀螺仪组成谐振环路。通过第一转换模块和第二转换模块直接将相应电容变化转换为数字信号，简化MEMS陀螺仪的信号处理过程，降低功耗。
一种 mems 陀螺仪信号处理系统

[发明专利]一种多芯片封装结构及工艺-CN201711433719.4有效
发明人：邹波;沈更新;程安儒 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司;南茂科技股份有限公司
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L25/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种多芯片封装结构，其包括第一芯片和第二芯片，所述第一芯片包括相对设置的第一表面和第二表面，以及在所述第一表面上的内接点和外接点，所述第二芯片设置在所述第一表面一侧且与所述内接点电连接，所述外接点电性引出至所述第二表面一侧。本发明还提供了一种多芯片封装工艺，包括晶圆片和第二芯片，所述晶圆片的正面设置有多个第一芯片，还包括：将所述第二芯片设置于所述晶圆片的正面，并与所述第一芯片电连接；由所述晶圆片的背面开设通孔至所述第一芯片的外接点；在所述晶圆片的背面设置导电凸块，透过所述通孔电连接至所述第一芯片的外接点。
一种芯片封装结构工艺

[发明专利]耳机、电子设备及耳机入耳检测方法-CN202010654249.X有效
发明人：邹波;韩元杰;黄岩 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2020-07-08 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H04R1/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种耳机、电子设备及耳机入耳检测方法，所述耳机包括参考磁场；磁感应装置，所述磁感应装置用于检测所述参考磁场；感应构件，所述感应构件适于根据受到的预定物理信号驱动而发生状态变化，当所述感应构件的状态发生变化时，适于使所述参考磁场也随之发生变化。
耳机电子设备入耳检测方法

[发明专利]一种半导体芯片及其加工方法-CN201910805150.2有效
发明人：邹波 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体芯片及其加工方法，所述半导体芯片包括第一晶片，所述第一晶片设置有第一导电层，所述第一导电层延伸至所述第一晶片的边缘；所述半导体芯片还包括第二导电层，所述第二导电层与所述第一导电层相连接，所述第二导电层沿所述第一晶片的侧壁延伸至所述第一晶片的背面。
一种半导体芯片及其加工方法

[发明专利]一种三轴电容式加速度计及电子装置-CN201710333977.9有效
发明人：邹波;王辉;刘爽 -专利权人： 深迪半导体（绍兴）有限公司
申请日： 2017-05-12 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种三轴电容式加速度计及电子装置，包括：结构对称设置的第一质量块和第二质量块，第一质量块和第二质量块之间通过弹性结构耦合相连，且质量块通过与其相应的至少一个固定锚点可动地设置在基底上，用于在对三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度相应的运动；位于任意一质量块范围内的多个检测区域，任意一检测区域均包括固定结构和可动结构组成的检测电容，且质量块复用可动结构，固定结构固定于基底上，用于在对三轴电容式加速度计施加一加速度时，产生与该加速度的特定电容值变化。本发明提供的技术方案，利于三轴电容式加速度计的轻薄化趋势，以及，有效降低加速度计的零点偏差和灵敏度偏差。
一种电容加速度计电子装置

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