|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 30个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]一种硅片清洗机用过滤器单元-CN202321191045.2有效
-
殷杰毅;许程超;沈飞
-
浙江艾科半导体设备有限公司
-
2023-05-17
-
2023-10-27
-
B01D29/35
- 本实用新型公开了一种硅片清洗机用过滤器单元，包括侧容盒，还包括L形支板、排水阀、底接板、筛网框、提框和水泵，所述侧容盒焊接在硅片清洗机本体下方固定的支腿外，且支腿上方的硅片清洗机本体外旋接安有排水阀，所述排水阀与硅片清洗机本体的腔室互通，本实用新型通过在硅片清洗机本体外设置有过滤器单元的排水阀，而过滤器单元的侧容盒在支腿外焊接，本实用新型的过滤器单元在硅片清洗机本体与其配套的过滤装置之间形成初次大杂质过滤结构，使得硅片清洗机本体排向配套过滤装置的清洗液可以被初次过滤大杂质，避免硅片清洗机本体将带有大杂质颗粒的清洗液直接排入硅片清洗机本体的配套过滤装置内损伤过滤材料。
- 一种硅片清洗过滤器单元
- [实用新型]一种硅晶片的厚度测量装置-CN202321191025.5有效
-
黄杰;贾泓超;范正斌
-
浙江艾科半导体设备有限公司
-
2023-05-17
-
2023-10-27
-
H01L21/66
- 本实用新型公开了一种硅晶片的厚度测量装置，属于硅晶片加工技术领域，包括测量台、设置于测量台上的置物座和位于测量台上的测量机构，所述置物座上形成有硅晶片置物槽，所述测量台顶壁上固定焊接有呈倒U形的承接架，所述承接架的底壁焊接有内安装盘和外安装盘，测量机构包括安装于内安装盘底壁的多个第一距离传感器、安装于外安装盘底壁的多个第二距离传感器、安装于承接架侧壁的显示屏和控制器，多个所述第一距离传感器在内安装盘上圆周阵列分布，多个所述第二距离传感器在外安装盘上圆周阵列分布。该硅晶片的厚度测量装置，在确保硅晶片保持水平的状态下得出其厚度值，使得测量的厚度值更准确。
- 一种晶片厚度测量装置
- [实用新型]一种应用于清洗机的加热设备-CN202321191048.6有效
-
范正斌;殷杰毅;贾泓超
-
浙江艾科半导体设备有限公司
-
2023-05-17
-
2023-10-27
-
B08B3/10
- 本实用新型公开了一种应用于清洗机的加热设备，属于清洗机加热技术领域，包括加热槽和安装于加热槽内腔四角的电热管，所述加热槽其中一侧壁固定安装有电机，且所述加热槽内腔中水平焊接有横梁杆，所述横梁杆的底壁开设有活动槽，所述电机的输出轴穿过加热槽并同轴连接有螺杆，所述螺杆上螺纹套设有内滑块，且所述内滑块的顶壁与活动槽的顶壁贴合，所述内滑块的下方固定连接有下沿杆，且所述下沿杆的底壁安装有温度传感器，所述加热槽位于电机所在一侧安装有显示屏和控制器，其中所述温度传感器和显示屏均与控制器耦合连接。该应用于清洗机的加热设备，便于根据加热槽内的状况及时控制电热管的开关，从而更准确地调整温度。
- 一种应用于清洗加热设备
- [实用新型]一种喷淋加热装置-CN202320388427.8有效
-
黄杰;沈飞;陈凯
-
浙江艾科半导体设备有限公司
-
2023-02-23
-
2023-10-27
-
B08B3/02
- 本实用新型公开了一种喷淋加热装置，包括清洗模块和控制模块，所述控制模块位于所述清洗模块的一侧并且所述控制模块和所述清洗模块连接，所述清洗模块包括箱体、过滤单元、喷淋清洗单元、超声波清洗单元和加热单元，所述箱体的内部清洗空间通过所述过滤单元分为上部区域和下部区域。本实用新型公开的一种喷淋加热装置，其通过喷淋清洗单元进行一次清洗并且通过超声波清洗单元进行二次清洗，还通过加热单元对清洗环境进行加热，从而达到更好的去污效果，其具有清洗效果好、操作简单和结构稳定等优点。
- 一种喷淋加热装置
- [实用新型]一种清洗机用干燥装置-CN202320362010.4有效
-
全晓霞;贾泓超;许程超
-
浙江艾科半导体设备有限公司
-
2023-02-23
-
2023-10-27
-
F26B23/00
- 本实用新型公开了一种清洗机用干燥装置，包括进料机械模块、干燥模块和出料机械模块，所述进料机械模块靠近所述干燥模块的进料单元并且所述出料机械模块靠近所述干燥模块的出料单元，所述进料单元包括进料安装座、进料气缸和进料槽部。本实用新型公开的一种清洗机用干燥装置，进料区域设有若干经过清洗需要干燥的工件，通过进料机械模块夹取工件然后放入进料槽部，启动气缸，将工件推入传送带的一端，以在干燥单元进行干燥，干燥完成后传送带的另一端将工件传输到出料滚轮，最后下落到位于出料槽部下方的出料区域，最终使得出料机械模块夹取其中的工件进行有序排放。
- 一种清洗干燥装置
- [实用新型]一种清洗机的机身结构-CN202320352647.5有效
-
殷杰毅;范正斌;贾泓超
-
浙江艾科半导体设备有限公司
-
2023-02-23
-
2023-10-27
-
B08B3/02
- 本实用新型公开了一种清洗机的机身结构，用于清洗工件，包括主体模块和清洗模块，所述清洗模块安装于所述主体模块，所述主体模块包括外壳单元、工件通道单元、防溅单元和高度调节单元，所述工件通道单元和所述防溅单元均位于所述外壳单元的内部，所述工件通道单元呈弧形并且所述工件通道单元包括进料端和出料端，所述防溅单元位于所述工件通道单元的上方。本实用新型公开的一种清洗机的机身结构，其通过工件通道单元将待清洗的工件移动到清洗端口，然后通过清洗单元进行单独清洗并且将清洗后的工件进行快速传输，其具有使用方便、清洗干净和效率高等优点。
- 一种清洗机身结构
- [实用新型]一种清洗机用机械手-CN202320374726.6有效
-
张春雷;徐达;张浩楠
-
浙江艾科半导体设备有限公司
-
2023-02-23
-
2023-10-27
-
B08B13/00
- 本实用新型公开了一种清洗机用机械手，包括安装座、底座、第一驱动臂、第二驱动臂、第三驱动臂和第四驱动臂，所述底座通过固定件固定安装于所述安装座并且所述底座设有控制面板；所述第一驱动臂安装于所述底座远离所述安装座的一侧并且所述第一驱动臂与所述底座转动连接，所述第二驱动臂安装于所述第一驱动臂远离所述底座的一侧。本实用新型公开的一种清洗机用机械手，通过各个机械臂的配合运动，从而将工件抓取放置清洗机的进料端，并且在清洗机清洗完成后通过机械臂将出料端的工件抓取出放到下一步骤设备，其具有效率高、使用方便和结构稳定等优点。
- 一种清洗机械手
- [实用新型]一种硅片清洗机用加热装置-CN202320448332.0有效
-
黄开;朱振涛;张浩楠
-
浙江艾科半导体设备有限公司
-
2023-03-10
-
2023-10-27
-
F26B23/00
- 本实用新型公开了一种硅片清洗机用加热装置，包括烘干通道和热量利用座，烘干通道正面的中部固定安装有保温筒体，集气管道的气孔处固定安装有多个气体压缩座，多个气体压缩座的一端均固定安装有出气咀，保温筒体的一端固定安装有气体进入管道，气体进入管道的一端固定安装有单体气泵，热量利用座顶端的中部固定安装有多个金属集热支杆，多个金属集热支杆的顶端均与设有的多孔导热盘，热量利用座的顶端活动安装有防尘封板。本实用新型通过在烘干通道设置热量利用座，通过金属集热支杆和多孔导热盘能够提高对热量的利用效率，避免热量的浪费，且设置活性吸附透气板能够对热气中的杂质或者异味进行吸附处理，大大降低了热气中的刺鼻气味分子。
- 一种硅片清洗加热装置
- [实用新型]一种自动清洗机-CN202320349409.9有效
-
范正斌;贾泓超;全晓霞
-
浙江艾科半导体设备有限公司
-
2023-02-23
-
2023-10-27
-
B08B3/02
- 本实用新型公开了一种自动清洗机，包括进料传送模块、出料传送模块、清洗模块和主体模块，所述进料传送模块包括进料传送带、进料电机、第一进料支架、第二进料支架、第一进料主滚轮、第二进料主管轮和若干进料副滚轮，所述进料传送带位于所述第一进料支架和所述第二进料支架之间。本实用新型公开的一种自动清洗机，进料传送模块和出料传送模块位于清洗模块之间，进料传送模块用于将待清洗的工件传输到清洗模块，然后在清洗模块清洗完成后通过出料传送模块进行传送出来，不仅效率高，而且安全性高。
- 一种自动清洗
- [实用新型]一种自动硅晶片清洗装置-CN202321191099.9有效
-
许程超;沈飞;贾泓超
-
浙江艾科半导体设备有限公司
-
2023-05-17
-
2023-10-27
-
H01L21/67
- 本实用新型公开了一种自动硅晶片清洗装置，包括底板，还包括清洗机构，所述底板的板顶出安装有清洗机构，所述清洗机构由箱体、超声波发声器、超声波发声头、风机、框架、加热丝、清洗槽A和清洗槽B组合构成，所述底板的板顶出固定安装有箱体，所述箱体的箱顶处分别开设有清洗槽A与清洗槽B，所述底板的板顶处安装有超声波发声器，所述清洗槽A的槽内壁处安装有超声波发声头，所述清洗槽B的槽内壁处通过螺栓固定安装有框架，所述框架的框内壁处安装有若干组加热的加热丝，所述箱体的箱壁处通过螺栓固定安装有连通的风机。通过清洗机构能够对清洗后的硅晶片清洁后烘干，增加清洁效率。
- 一种自动晶片清洗装置
- [实用新型]一种硅片清洗用过滤设备-CN202320448348.1有效
-
孙文兵;张春雷;许晓辉
-
浙江艾科半导体设备有限公司
-
2023-03-10
-
2023-10-27
-
B01D36/02
- 本实用新型公开了一种硅片清洗用过滤设备，包括下固定筒和上固定筒，所述上固定筒的顶端固定设有进液管，所述下固定筒的底端固定设有出液管，所述出液管的内部固定安装有电磁阀，所述上固定筒与下固定筒之间设置有连接机构，所述上固定筒的内部等距固定设有多个滤网，所述下固定筒的顶部固定安装有锥形斗。本实用新型通过上固定筒内部套筒中安装的多个滤网和下固定筒内部安装的滤筒和和过滤棉，有效的提高硅片清洗液的过滤，通过安装的水检测传感器，对过滤的水进行检测是否合格，通过水泵将检测不合格水再次抽入至滤筒中过滤实现循环过滤，有效的确保硅片清洗液的过滤效果。
- 一种硅片清洗过滤设备
- [实用新型]一种用于晶圆清洗机的晶圆转向装置-CN202321147567.2有效
-
全晓霞;沈飞;殷杰毅
-
浙江艾科半导体设备有限公司
-
2023-05-13
-
2023-10-27
-
B08B3/02
- 本实用新型公开了一种用于晶圆清洗机的晶圆转向装置，包括转向座、转轴、立板和限位组件，所述转向座为水平设置的圆形板状结构，所述转向座下端面居中处安装有转轴，所述转向座上端面固定焊接有两块相对平行设置的立板，所述限位组件与立板连接，所述限位组件位于两块所述立板之间；所述限位组件包括转向板、卡件、晶圆本体、连接板、第一螺栓、压板、第一防滑垫、第一沥水网和第二螺栓。将需要清洗的晶圆本体放置在转向板一侧的放置槽内，然后将卡件扣合在转向板靠近放置槽一侧，紧接着将第二螺栓一端穿过卡件与转向板螺纹连接，当晶圆本体一侧冲洗完成后，通过连接板将转向板取出，掉转朝向，将晶圆本体反面朝向进行冲洗即可。
- 一种用于清洗转向装置
|
