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- [发明专利]一种半导体湿法刻蚀清洁装置-CN202310838162.1有效
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王贝易;黄莉;沈玉柱
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盛奕半导体科技(无锡)有限公司
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2023-07-10
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2023-09-05
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H01L21/67
- 本发明涉及半导体晶圆清洗技术领域,公开了一种半导体湿法刻蚀清洁装置,包括清洁筒,清洁筒内部设置有固定组件,固定组件包括承接托辊和安装侧板,承接托辊两端安装于安装侧板之间,承接托辊一侧转动设置有若干扶持杆,固定组件一侧设置有驱动机构。通过横向切换组件,使转动杆由与内侧齿板连接切换至与外侧齿板连接,晶圆板在清洁筒内部处于转动状态,且转动时晶圆板还能够水平方向进行移动,推动清洁筒内部的清洁液对晶圆板上湿法刻蚀所产生的颗粒进行清洁冲洗,同时在纵向移动组件驱使其进入到清洁筒内之间,还能够通过横向切换组件使得扶持杆转动至晶圆板上方,并配合承接托辊将晶圆板进行固定,避免晶圆板在清洁过程中发生脱落现象。
- 一种半导体湿法刻蚀清洁装置
- [发明专利]一种冷却系统-CN202110666277.8有效
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王明磊;钱东;沈玉柱
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长江存储科技有限责任公司
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2021-06-16
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2022-06-03
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F25D31/00
- 本申请实施例提供一种冷却系统,包括工作设备、第一冷却介质源、第二冷却介质源、第一切换组件、第二切换组件以及防错装置,工作设备具有第一入口和第一出口,第一入口通过第一切换组件分别与第一冷却介质源和第二冷却介质源选择性地连通,第一出口通过第二切换组件分别与第一冷却介质源和第二冷却介质源选择性地连通,防错装置分别与第一切换组件和第二切换组件连接以使第一切换组件和第二切换组件联动。由于第一切换组件和第二切换组件联动,第一切换组件和第二切换组件一起切换或者都不切换,能够避免第一入口和第一出口的其中之一与第一冷却介质源连通,其中另一与第二冷却介质源连通,导致第一冷却介质源和第二冷却介质源相互倒灌的问题。
- 一种冷却系统
- [发明专利]阀体结构及具有其的晶圆清洗系统-CN202110490830.7有效
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娄汉;庄武斌;张锐;沈玉柱
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长江存储科技有限责任公司
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2021-05-06
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2022-04-15
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F16K11/22
- 本发明提供了一种阀体结构及具有其的晶圆清洗系统。其中,阀体结构包括:阀座,具有进液口、出液口及过液口,过液口与喷液结构的喷液嘴连通;第一阀体组件,包括第一阀针,第一阀针设置在阀座内,以使进液口和过液口连通或断开连通;第二阀体组件,包括第二阀针,第二阀针可活动地设置在阀座内,以使出液口和过液口连通或断开连通;其中,当第一阀针运动至连通进液口与过液口的第一位置时,进入至进液口内的液体从过液口排出;当第二阀针运动至出液口与过液口连通、第一阀针运动至进液口与过液口断开连通时,缓存在喷液嘴内的液体被回吸至出液口内。本发明解决了现有技术中清洗液易残留在喷液嘴上的问题。
- 阀体结构具有清洗系统
- [实用新型]一种近红外光谱仪预热装置-CN202120325764.3有效
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仇士磊;董海平;沈玉柱;付衍宁
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济南弗莱德科学仪器有限公司
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2021-02-05
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2021-10-22
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G01N21/359
- 本实用新型公开了一种近红外光谱仪预热装置,包括光谱仪主体,所述光谱仪主体底部四个拐角均固定连接有支撑腿,所述光谱仪主体内壁两侧均固定连接有套筒,所述套筒内壁滑动连接有滑杆,两个所述滑杆相互靠近的一端均固定连接有加热元件,所述加热元件和套筒之间共同固定连接有弹簧,两个所述加热元件之间共同设置有InGaAs检测器主体,所述加热元件外壁设置有保温圈,两个所述保温圈相互靠近的一侧均固定连接有磁铁,所述光谱仪主体内壁固定连接有隔板。本实用新型近红外光谱仪预热装置通过加热元件、保温圈、数字温控芯片和定时开关模块相互配合,能够帮助InGaAs检测器快速升温,达到适宜温度,快速进入工作状态,节约了大量预热时间,提高了工作效率。
- 一种红外光谱仪预热装置
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