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- [发明专利]一种真空悬浮镀膜设备-CN202110834251.X在审
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李翔;左敏;胡磊;王荣;赵昂璧;李登辉;黎微明
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江苏微导纳米科技股份有限公司
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2021-07-21
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2021-09-17
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C23C16/455
- 本发明公开一种真空悬浮镀膜设备，包括外壳、安装于外壳内部的内壳以及放置于内壳内部的工件载具，内壳的封闭端设置有连接抽气系统的抽气接口，内壳的开放端设置有用于工件载具进出的开口，外壳的开放端设置有密封门，密封门内侧安装有盖板，盖板内侧安装有匀流板总成，密封门关闭时盖板封闭开口，匀流板总成由开口伸入内壳，盖板和匀流板总成之间设置有空间间隔，匀流板总成上设置有连通空间间隔和内壳内部空间的气孔，通过多个工艺气体通道连通空间间隔，用于将多种类型的气体输送至空间间隔。使工艺气体成分流动更为均匀，腔体内部的流道短，可以有效防止MO源的凝结，进而设备可以使用的工艺腔体尺寸更大，提升设备可靠性和适用性。
- 一种真空悬浮镀膜设备
- [实用新型]一种ALD设备的喷淋装置-CN202021172322.1有效
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方鑫;严大;李翔;龚炳建
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江苏微导纳米科技股份有限公司
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2020-06-22
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2021-09-03
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C23C16/455
- 本实用新型提供了一种ALD设备的喷淋装置，包括喷淋板和匀流板；所述匀流板上设置有若干匀流片，所述匀流片相互平行等间距布置，所述匀流片与匀流片之间的间隙形成气流的通道；所述匀流板的两侧包括气流流入侧和气流流出侧，所述喷淋板设置于所述匀流板的气流流入侧，并朝匀流板方向喷射处于无序状态的气流，气流经过所述匀流板后由紊流状态变为层流状态。本喷淋装置结构简单，可有效改善真空腔体内喷淋板喷出气流的状态，可以解决现有技术中喷淋装置无法使臭氧与氮气混合均匀导致迎气流边EL发黑的技术问题，它能够保证流经喷淋装置的喷出的混合气体在流经硅片前均匀混合，提升镀膜质量，消除迎气流边EL发黑，提高产品良率。
- 一种ald设备喷淋装置
- [实用新型]镀膜设备-CN202023145825.2有效
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黎微明;李翔;吴兴华
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江苏微导纳米科技股份有限公司
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2020-12-23
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2021-09-03
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C23C14/56
- 本实用新型涉及一种镀膜设备，在进行异质结太阳能电池的镀膜时，第一镀膜机构、第二镀膜机构及第三镀膜机构分别实现I层、p层及n层的镀设。硅片在第一运输组件的带动匀速通过第一镀膜腔体，从而在两面形成I层；接着，基片依次进入第二镀膜腔体及第三镀膜腔体，从而得到p层及n层。在第二镀膜腔体及第三镀膜腔体内，工艺参数可单独进行调整，从而得到所需的窗口层以保证转换效率。由于硅片两侧的I层成分相同，故可以在第一镀膜腔体内同时成型。而且，I层镀膜时的工艺参数保持恒定，故多个硅片可以连续通过第一镀膜腔体，从而实现I层的连续动态的镀膜。因此，第一镀膜腔体的利用率显著提升，故上述镀膜设备的产能的以提高。
- 镀膜设备
- [发明专利]背板及光伏组件-CN202110451509.8在审
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李翔;袁红霞;陈少炜
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江苏微导纳米科技股份有限公司
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2021-04-26
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2021-08-31
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H01L31/049
- 本申请涉及一种背板及光伏组件。该背板包括：基材层、胶粘层及阻隔层，基材层包括第一基材层和第二基材层，阻隔层设置于第一基材层，第二基材层通过胶粘层连接于阻隔层的背离第一基材层的一侧。本申请提供的背板，通过在第一基材层和第二基材层之间增设一层阻隔层，外界的水汽和氧气在阻隔层的阻挡下不能透过背板。另外，将阻隔层直接设置于第一基材层，不需要在阻隔层与第一基材层之间设置胶粘层，简化了结构。与现有技术相比，通过在两个基材层之间镀设阻隔层，提高了背板对水汽和氧气的阻隔性，进而提高了背板的阻水性和耐老化性，进而提高了背板对电池组件的保护性。
- 背板组件
- [发明专利]一种炉管设备-CN202110413924.4在审
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朱双双;刘强;左敏;黎微明;潘景伟
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江苏微导纳米科技股份有限公司
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2021-04-16
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2021-08-20
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C23C16/44
- 本发明涉及一种炉管设备，其包括：炉管、保温组件和紧固环，保温组件包括均包覆于所述炉管的外侧壁上的至少两个保温单元；所述紧固环可拆卸地套设在所述炉管外，以将所述至少两个保温单元箍紧固定于所述炉管上。本方案的炉管设备，在实际作业时，当需要安装保温单元时，直接将保温单元覆盖在炉管的外侧壁上，然后通过紧固环套设在炉管外，利用该紧固环箍紧保温单元，以将保温单元固定在炉管外。当需要拆除保温单元时，将紧固环拆卸或者松开，便可以将保温单元直接从炉管外壁取下，无需复杂的拆装步骤，既可以避免保温单元影响炉管的拆装和运输，又可以实现保温单元快速的安装。
- 一种炉管设备
- [实用新型]气缸传动机构-CN202022573833.0有效
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姚丽英
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江苏微导纳米科技股份有限公司
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2020-11-09
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2021-08-10
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F15B15/14
- 本实用新型涉及一种气缸传动机构。该气缸传动机构包括：气缸本体，包括活塞轴和第一滑块，第一滑块沿活塞轴的轴向可移动地连接于活塞轴上；线轨，位于气缸本体的一侧，线轨的纵长延伸方向与活塞轴的轴向平行；第二滑块，沿线轨的纵长方向可移动地连接于线轨上；及连接组件，与所述第一滑块和所述第二滑块其中之一固定连接，且与所述第一滑块和所述第二滑块其中之另一活动连接。本实用新型提供的技术方案，可以解决活塞轴和线轨因安装平行度不好导致第二滑块和第一滑块在运动中发生卡顿等运动不畅的问题，避免气缸传动结构损坏的风险，能够降低线轨与活塞轴的安装精度，降低安装成本，确保机构运行顺畅。
- 气缸传动机构
- [发明专利]一种PECVD一体炉-CN202110412538.3在审
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朱双双;刘强;左敏
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江苏微导纳米科技股份有限公司
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2021-04-16
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2021-07-20
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C23C16/54
- 本发明涉及一种PECVD一体炉，所述PECVD一体炉包括：箱体和多个炉体，箱体具有容纳腔，所述容纳腔贯通所述箱体在第一方向上的两侧；及多个炉体叠置于所述容纳腔内，每一所述炉体具有炉腔以及连通所述炉腔的两个炉口，每一所述炉体的两个所述炉口分别位于所述炉体在所述第一方向上的两侧。本发明的PECVD一体炉可实现多个炉体通过箱体整合为一个PECVD一体炉，与现有技术一体成型的加热炉相比，既增加了炉腔的数量，又可以根据用户的实际生产情况，通过更改炉体的数量来整合成不同高度的PECVD一体炉，以适配不同高度的厂房。同时，PECVD一体炉既可以拆分成多个加热炉到现场安装以方便运输；也可以安装完成作为一个整体直接运输到现场以节省安装时间，加快安装进度。
- 一种pecvd一体
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