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- [实用新型]用于单晶炉的降氧装置和单晶炉-CN202223449225.4有效
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张华利;赵玉兵;马俊杰;周洁;范伟
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江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
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2022-12-22
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2023-09-08
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C30B15/00
- 本实用新型公开了一种用于单晶炉的降氧装置和单晶炉，所述单晶炉包括中保温筒和底保温筒，所述降氧装置设于所述中保温筒和所述底保温筒之间，所述降氧装置包括：安装座，所述安装座形成为环形，所述安装座内形成有安装空间；隔热件，所述隔热件沿所述安装座的延伸曲线延伸，所述隔热件设于所述安装空间内。根据本实用新型的降氧装置，通过将降氧装置设于中保温筒和底保温筒之间，减少了加热器对坩埚辐射加热的面积，降低了坩埚中下部的温度，减少坩埚中下部氧元素的析出，从而降低了高温下液态硅对石英坩埚的侵蚀，能够有效的降低硅晶体中的氧含量，保证了单晶硅的生产质量，降氧装置的整体结构简单，便于装配和维护，且生产成本低。
- 用于单晶炉装置
- [实用新型]加料装置及晶体生长设备-CN202223212317.0有效
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周洁;周声浪;范伟;赵玉兵
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江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
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2022-11-30
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2023-07-25
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C30B35/00
- 本实用新型公开了一种加料装置，加料装置用于晶体生长设备，加料装置包括：加料筒、盖板和驱动杆，加料筒具有加料腔以及与加料腔连通的出料口；盖板可运动地盖设于出料口，以打开和关闭出料口；驱动杆沿上下方向可运动地设于加料筒且至少部分位于加料腔内，驱动杆的下端与盖板相连以带动盖板运动；其中，加料筒和盖板中的至少一个为硅材料件。根据本实用新型实施例的加料装置，通过加料筒和盖板中的至少一个为硅材料件，硅材料件的结构强度较强，使得加料装置的结构强度较强，避免加料装置破损产生杂质，可以保证加料装置的使用寿命以及晶体的质量，且加料装置的结构较简单；通过盖板可运动地盖设于出料口，以打开和关闭出料口，使得出料较方便。
- 加料装置晶体生长设备
- [实用新型]加料筒-CN202223216959.8有效
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张华利;周声浪;周洁;范伟
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江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
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2022-11-30
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2023-07-25
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C30B15/00
- 本实用新型公开了一种加料筒，所述加料筒包括：筒体；金属连杆，所述金属连杆沿所述筒体的轴向方向可移动地设于所述筒体内；盖体，所述盖体与所述金属连杆的一端连接且至少部分位于所述筒体外，用于封堵或打开所述筒体的轴向一端；第一套管，所述第一套管为石英件，所述第一套管位于所述筒体内且套设于所述金属连杆外；第二套管，所述第二套管为硅件，所述第二套管位于所述筒体内且套设于所述第一套管外。根据本实用新型的加料筒，保证第一套管的完整性，避免硅料碰撞损坏第一套管并从第一套管的缺口进入第一套管卡住金属连杆，使金属连杆沿筒体的轴向方向顺畅的移动并投放物料，提高投放物料的效率，同时还减少金属污染，提升硅棒品质。
- 加料
- [实用新型]插片机的吸附传输装置-CN202223590766.9有效
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陈国庆;赵彬;吴笛;张猛;乐和明;曹跃刚
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江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
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2022-12-29
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2023-06-09
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H01L21/683
- 本实用新型公开了一种插片机的吸附传输装置，所述插片机的吸附传输装置包括：压紧轮，所述压紧轮连接有驱动电机；吸附组件，所述吸附组件设于所述压紧轮在硅片输送方向上的上游，所述吸附组件包括吸附座和输送轴，所述吸附座上设有用于吸附所述硅片的吸附孔，所述输送轴设于所述吸附座上用于驱动所述硅片朝向所述压紧轮移动；传动件，所述传动件连接在所述压紧轮和所述输送轴之间，所述压紧轮通过所述传动件驱动所述输送轴转动。根据本实用新型的插片机的吸附传输装置，通过在压紧轮与输送轴之间设置传动件，可以减少驱动装置的使用，进而可以简化插片机的结构设计，减少零部件使用数量，降低制作成本及维修成本，增加市场竞争性。
- 插片机吸附传输装置
- [实用新型]晶体生长设备-CN202223449148.2有效
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周洁;王新;赵玉兵;张华利;范伟
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江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
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2022-12-22
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2023-05-16
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C30B29/06
- 本实用新型公开了一种晶体生长设备，晶体生长设备包括炉体、坩埚、加热器及隔挡件。坩埚设于炉体内，坩埚内放置生产晶体的原料。加热器位于炉体与坩埚之间，加热器用于对坩埚加热，加热器包括主加热器、两个加热器支腿及两个加热器脚，主加热器环绕在坩埚的外周侧且位于坩埚的上部，两个加热器支腿沿坩埚的径向相对设置，每个加热器支腿的上端与主加热器相连且下端设有加热器脚，加热器脚位于坩埚的下方。隔挡件位于坩埚的外周侧且位于主加热器的下方，隔挡件的至少部分位于坩埚的外周壁与加热器支腿之间，隔挡件与坩埚和加热器支腿中的至少一个间隔开。根据本实用新型实施例的晶体生长设备，可以降低晶体中的氧含量，保证晶体的生长质量。
- 晶体生长设备
- [实用新型]用于单晶炉的降氧装置和单晶炉-CN202223449301.1有效
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赵玉兵;周洁;张华利;范伟
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江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
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2022-12-22
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2023-05-12
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C30B15/00
- 本实用新型公开了一种用于单晶炉的降氧装置和单晶炉，所述单晶炉包括中保温筒和底保温筒，所述降氧装置设于所述中保温筒和所述底保温筒之间，所述降氧装置包括：安装座；固定件，所述安装座与所述固定件之间限定出安装空间；隔热件，所述隔热件设于所述安装空间内，所述隔热件包括多个，多个所述隔热件在所述隔热件的厚度方向上层叠布置。根据本实用新型的降氧装置，通过设置多个层叠的隔热件，根据需要调节隔热件的层叠个数，调节隔热件的厚度，起到了调节保温和隔热的效果，降低了对坩埚的影响，减少坩埚中下部氧元素的析出，从而降低了高温下液态硅对石英坩埚的侵蚀，能够有效的降低硅晶体中的氧含量，保证了单晶硅的生产质量。
- 用于单晶炉装置
- [实用新型]单晶炉热场-CN202223466610.X有效
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刘磊;张华利;汪晨;武鹏;楼杭炯;周洁
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江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
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2022-12-22
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2023-05-09
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C30B15/14
- 本实用新型公开了一种单晶炉热场，所述单晶炉热场包括：炉体、设置在所述炉体内的保温筒和设置于所述保温筒内的坩埚、侧加热器、底加热器，所述保温筒自上而下依次包括上保温筒、中保温筒和下保温筒，所述侧加热器设置于所述上保温筒的内侧，所述底加热器设置在所述坩埚的底部，其中，所述中保温筒的内径小于所述上保温筒的内径。根据本实用新型实施例的单晶炉热场，通过使得中保温筒的内径小于上保温筒的内径，不仅可以较好地阻隔侧加热器的热量朝向下方传递，还可以在使得硅料热熔为溶汤的阶段，由于底部加热器所在的加热空间相对较小，可以较好地对坩埚的底部进行加热，也减少了侧加热器热量的散逸，从而提高硅料热熔为溶汤的效率。
- 单晶炉热场
- [实用新型]用于单晶炉的降氧装置和单晶炉-CN202223449304.5有效
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赵玉兵;周洁;张华利;范伟
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江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
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2022-12-22
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2023-05-09
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C30B29/06
- 本实用新型公开了一种用于单晶炉的降氧装置和单晶炉，所述单晶炉包括中保温筒和底保温筒，所述降氧装置设于所述中保温筒和所述底保温筒之间，所述降氧装置包括：安装座；固定件，所述安装座与所述固定件之间限定出安装空间；隔热件，所述隔热件沿所述安装座的延伸曲线延伸，所述隔热件设于所述安装空间内。根据本实用新型的降氧装置，通过将降氧装置设于中保温筒和底保温筒之间，减少了加热器对坩埚辐射加热的面积，降低了坩埚中下部的温度，减少坩埚中下部氧元素的析出，从而降低了高温下液态硅对石英坩埚的侵蚀，能够有效的降低硅晶体中的氧含量，保证了单晶硅的生产质量，降氧装置的整体结构简单，便于装配和维护，且生产成本低。
- 用于单晶炉装置
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