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[实用新型]一种非制冷红外探测器-CN202121415628.X有效
发明人：黄立;马占锋;高健飞;黄晟;王春水;汪超 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及红外探测器技术领域，提供了一种非制冷红外探测器，包括桥面、桥腿、锚柱以及至少一层辅助红外吸收层，所述桥腿和所述锚柱组成可支撑所述桥面的结构，各所述辅助红外吸收层在所述桥面上表面上层叠布置，至少一层所述辅助红外吸收层为超表面的红外吸收层，所述超表面的红外吸收层具有若干超表面结构。本实用新型的一种非制冷红外探测器，最大可能的增加红外吸收，同时不影响红外结构稳定性和加工工艺可以帮助桥面提高红外吸收，从而增加了红外热辐射吸收能力，提高红外性能。
一种制冷红外探测器

[发明专利]一种具有防多余物功能的冷屏及制冷型红外探测器-CN202111408271.7在审
发明人：黄立;张杨文;沈星;洪晓麦;程海玲;刘道进;许思佳;江程鹏;张丽芳;王玲 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G01J1/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种具有防多余物功能的冷屏，包括冷屏本体，所述冷屏本体内底部布置芯片，冷屏本体内部侧壁上安装有挡光环，所述冷屏本体侧壁上设置有排气孔，且排气孔位于挡光环上方，所述排气孔上设有防止多余物进入冷屏本体内部的阻物结构件。该发明结构简单，通过设计具有阻物结构件的排气孔，既可以实现排净冷屏内部气体的功能，又能通过调整阻物结构件的微型多孔结构的孔径，来抑制大直径颗粒的多余物进入冷屏内部，有效解决了现有多余物进入冷屏内部对探测器造成的图像异常以及电路短路异常的问题。
一种具有多余功能制冷红外探测器

[实用新型]一种像素级真空封装红外探测器结构-CN202023294120.7有效
发明人：蔡光艳;黄立;马占锋;汪超;王春水;高健飞 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及红外探测器封装技术领域，为一种像素级真空封装红外探测器结构，包括MEMS器件及读出电路芯片，还包括电学连接锚柱组和封装口锚柱组，电学连接锚柱组的两端分别与MEMS器件及读出电路芯片电连接，封装口锚柱组分别与MEMS器件及读出电路芯片固定支撑连接。电学连接锚柱组起到电学连接的作用，封装口锚柱组起到支撑和封装密封的作用，且电学连接锚柱组和封装口锚柱组的形成和连接装配工艺相同，不需要额外的工艺调试，加工效率高。像素级封装技术使封装成为了MEMS工艺过程中的一个步骤，这极大地改变了目前的封装技术形态，简化了非制冷红外焦平面探测器的制造过程，使封装成本降低到极致，且大大保证了真空度，延长了器件的使用寿命。
一种像素真空封装红外探测器结构

[发明专利]微流制冷通道的制作方法以及芯片-CN202110705750.9在审
发明人：黄立;马占锋;高健飞;黄晟;王春水;叶帆 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H01L23/367 文献下载
摘要：本发明涉及一种微流制冷通道的制作方法，包括：在待制冷基材上形成牺牲层；根据微流制冷通道的设计形状，图形化牺牲层；在牺牲层上沉积盖面层；释放牺牲层，盖面层立于待制冷基材上并与待制冷基材围设形成微流制冷通道。另外还涉及基于该方法集成有微流制冷通道的芯片。本发明采用MEMS微加工工艺将微流制冷通道集成在待制冷基材上，工艺简单、易于实现，适于与传统的半导体工艺兼容，芯片与通道材料之间不会产生内应力、粘附力等以及不会对芯片造成电学等影响，保持芯片的正常功能和性能。制作的微流制冷通道更贴近发热源，能实现针对性地制冷设计，制冷效果可靠、能耗低，所需的空间较小，能较好地满足芯片制冷要求。
制冷通道制作方法以及芯片

[发明专利]读出电路模块电镀种子层去除方法及凸点制备方法-CN202110571739.8在审
发明人：黄立;刘文波;刘斌;周文洪 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种读出电路模块电镀种子层去除方法，包括如下步骤：在读出电路晶元表面涂覆聚酰亚胺，光刻聚酰亚胺，形成多个依次间隔的深坑；在聚酰亚胺和深坑表面生长种子层；在聚酰亚胺上表面的种子层上覆盖光刻胶；在深坑内的种子层上电镀凸点，使凸点填充满深坑；去除光刻胶，研磨去掉聚酰亚胺上表面的种子层。还提供一种读出电路模块凸点制备方法，包括上述的读出电路模块电镀种子层去除方法。一种读出电路模块的制备方法，包括上述的读出电路凸点制备方法得到读出电路凸点。本发明避免了传统刻蚀工艺速率差异的问题、读出电路损伤问题的同时，还可通过控制研磨厚度确保种子层金属完全去除。
读出电路模块电镀种子去除方法制备

[实用新型]一种用于直线压缩机的活塞及直线压缩机-CN202021886366.0有效
发明人：郭亚军;潘奇;王立保;黄太和;曾勇;苏俊霏 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2020-09-02 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： F04B39/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于直线压缩机的活塞及直线压缩机，该活塞包括塞体和单向阀，塞体上设有气浮通道，单向阀包括开设有阀孔的阀体以及适于在气体压力作用下产生弹性变形以启闭阀孔的弹性阀片，阀体设于塞体的进气端以使塞体的内腔形成与气浮通道连通的气库。本实用新型采用弹性阀片控制单向阀阀孔的启闭，具有极高的可靠性，并且结构简单、易加工，能够避免现有采用翼形阀片的单向阀易产生应力疲劳的现象以及采用锥阀阀片的单向阀易磨损且配合零件加工难度大等问题，有效地提高直线压缩机的工作稳定性和可靠性。
一种用于直线压缩机活塞

[实用新型]斯特林制冷机及其制冷量的测量装置-CN202022870928.9有效
发明人：王天太;王立保;黄立 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： F25B9/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及制冷机技术领域，提供了一种斯特林制冷机的制冷量的测量装置，包括用于将制冷机冷头的温度维持在77K的加热片以及用于测量制冷机冷头的温度的测量组件，所述测量组件包括连接制冷机的杜瓦的二极管以及测量所述二极管的万用表。本实用新型的一种斯特林制冷机的制冷量的测量装置，通过加热片、二极管以及万用表的配合实现了制冷机的制冷量的精确测量。
斯特林制冷机及其制冷测量装置

[发明专利]一种超微型旋转整体式斯特林制冷机-CN202110559478.8在审
发明人：黄立;徐涛;黄太和;曾勇;王殿华;郭亚军;杨益 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： F25B9/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种超微型旋转整体式斯特林制冷机，包括底座、压缩组件、推移组件、转子组件和定子组件，转子组件包括电机转子及偏心转轴，偏心转轴的偏心部分伸入底座内；压缩组件通过压缩连杆与偏心转轴传动连接，推移组件一端与压缩连杆侧面连接，且使压缩组件和推移组件的运动轴线位于同一水平面。该发明通过压缩连杆将压缩组件和推移组件与偏心转轴连接，并使压缩组件和推移组件的运动轴线位于同一水平面，有效减小了制冷机的轴向高度，从而减小了制冷机体积，克服了现有整体式斯特林制冷机存在的结构冗杂、体积较大和质量较重的问题，而且压缩组件和推移组件运动方向处于同一水平面上，减小了转轴的弯矩负载，提高了系统可靠性。
一种微型旋转整体式斯特林制冷机

[发明专利]具有抑制外部件杂散光功能的冷屏及制冷型红外探测器-CN202010063997.0有效
发明人：张杨文;沈星;王立保 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有抑制外部件杂散光功能的冷屏及制冷型红外探测器，冷屏一端设有肩部，冷屏一端设有环状的肩部，肩部上设有通光孔，设定通光孔的下端点为C点，肩部的下端点为M点，焦平面的上端点为B点，连接BC并进行延长至与位于探测器外壁壳体一端的窗片相交且相交点为G点，过G点作垂线GO垂直于CM，再过G点作直线GM’并令GM’与GB关于垂线GO对称，且M’点位于CM上，其中CM≥CM’。本发明通过加宽冷屏的肩部，并保证CM≥CM’，经过探测器外壁壳体上任一点热辐射发出的一次反射杂散光由于肩部的阻挡，不可能直接到达焦平面，因此这样的冷屏肩部加宽处理进一步彻底抑制了杂散光的干扰。
具有抑制外部散光功能制冷红外探测器

[发明专利]一种具有抑制杂散光功能的冷屏及制冷型红外探测器-CN202010066302.4有效
发明人：张杨文;沈星;王立保 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有抑制杂散光功能的冷屏及制冷型红外探测器，冷屏一侧设有通光孔，冷屏内壁设有挡光环，各挡光环设有倒角斜面，倒角斜面下端与挡光环端面之间夹角为α，倒角斜面下端的尖端顶点与探测器焦平面的上端点的连线和焦平面之间夹角为β，挡光环端面与焦平面相平行，以焦平面顺时针旋转0度～180度为正，以焦平面逆时针旋转0度～180度为负，其中α≤β。本发明通过对挡光环内壁倒角处理，用来屏蔽杂散光；通过设计α≤β，经过倒角斜面任一点一次反射外部光线由于倒角斜面阻挡，不能直接到达焦平面，该倒角处理抑制杂散光干扰，屏蔽掉通过挡光环内壁一次反射到达焦平面的杂散光，大幅减少挡光环内壁一次反射杂散光对性噪比造成的负面影响。
一种具有抑制散光功能制冷红外探测器

[发明专利]制冷探测器及其冷盘-CN202010256511.5有效
发明人：张丽芳;洪晓麦;沈星;王立保 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制冷探测器的冷盘，包括冷盘板体，冷盘板体的中部具有冷指部件安装区，冷盘板体为方形板，并且至少其中一个边部设计有缺槽，缺槽自对应的边部向冷指部件安装区所在侧凹陷。另外还涉及一种采用上述冷盘的制冷探测器。本发明通过采用方形冷盘板体并且对冷盘板体的边部进行一定程度地掏空处理，通过冷盘的角部增加对探测器芯片应力应变的约束效果，能够有效地降低探测器芯片在巨大温差下产生的应力和应变，减小探测器芯片承受的内部应力，保证探测器芯片的光电性能，提升制冷探测器的开关机可靠性；同时能够减小冷盘的热质量，减小制冷机的工作负荷，缩短制冷探测器的制冷时间，相应地提高制冷探测器的工作性能。
制冷探测器及其冷盘

[发明专利]一种薄膜刻蚀方法-CN202110268836.X在审
发明人：黄立;马占锋;汪超;王春水;高健飞;黄晟 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜刻蚀技术领域，提供了一种薄膜刻蚀方法，用于多层金属薄膜的刻蚀，包括如下步骤：S1，先采用第一层光罩通过刻蚀工艺对第一层的薄膜进行刻蚀；S2，再采用尺寸大于第一层光罩的第二层光罩通过刻蚀工艺对第二层的薄膜进行刻蚀；S3，重复所述S2步骤，接着依次往下刻蚀第三层的薄膜至第N层的薄膜；S4，最后对中间层剩余的薄膜再次进行刻蚀，得到稳定的结构，该稳定的结构包括完好的底层的薄膜以及底层以上的各层薄膜的侧壁近乎垂直，所述中间层为除第一层的薄膜和底层的薄膜以外的各层的薄膜。本发明既可以避免干法刻蚀无法停留在薄钛薄膜上的问题，同时也可以避免湿法刻蚀侧向腐蚀太多而不利于后续工艺的继续和整个结构的稳定性。
一种薄膜刻蚀方法

[发明专利]斯特林制冷机-CN201910706506.7有效
发明人：郭亚军;王立保;王天太;孙超 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： F25B9/14 文献下载
摘要：本发明提供一种斯特林制冷机，包括基座和冷指，冷指内设有蓄冷器，基座和冷指围合成密闭的腔体，基座内设有凸轮转动件和带动凸轮转动件转动的旋转电机，凸轮转动件的外壁包括沿凸轮转动件转动方向设置的呈波浪状的配合面，基座内设有若干个同步工作的压缩组件，各所述压缩组件绕配合面设置，各所述压缩组件均包括气缸、活塞以及与配合面配合使得活塞在气缸内往复移动的活塞推杆，各所述气缸均与冷指连通。本发明采用将旋转电机M的旋转运动转化为活塞的往复直线运动的新传动方式，不需要设置曲柄连杆机构，大大减小了制冷剂的体积，实现了制冷剂的小型化和集成化，另外，压缩组件均匀对置式分布，实现了制冷剂的低振动要求。
斯特林制冷机

[发明专利]流量调节的节流制冷器及其流量自调方法-CN202110310207.9在审
发明人：李晓永;黄立;王立保;王玲;黄太和 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： F25B23/00 文献下载
摘要：本发明涉及制冷与低温工程技术领域，提供了一种流量调节的节流制冷器，包括具有内腔的芯轴以及可于内腔中滑动的阀座，阀座将内腔分隔为独立的第一空间和第二空间，第一空间中注入有自调气体工质；节流制冷器还包括用于制冷并可在制冷时降低第一空间中的自调气体工质温度的制冷机构以及可在阀座的带动下移动的自调杆，制冷机构具有可加注制冷工质的第一进气口，自调杆远离阀座的一端为可活动封堵第一进气口以调节第一进气口的开度的调节端。还提供一种流量自调节方法。本发明通过利用制冷机构降温过程中对自调气体工质的温度变化，形成压力差，驱动阀座和自调杆组成的自调机构运动，从而调节热端的第一进气口开度大小，从而实现流量自调节的目的。
流量调节节流制冷及其自调方法

[发明专利]可实现主动控温及快速制冷的节流制冷器及探测器-CN202010256503.0有效
发明人：李晓永;王立保;王玲;黄太和;黄炫佳 -专利权人： 武汉高芯科技有限公司
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： F25B23/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种节流制冷器，包括芯轴、法兰、封盖、冷指及缠绕于芯轴外壁上的换热管。冷指与芯轴之间围设形成膨胀腔，换热管通过节流元器件与膨胀腔导通，法兰与冷指连接并封闭膨胀腔，法兰内设有与换热管连通的进气通道以及与膨胀腔连通的排气通道；封盖通过弹性件限制而可活动地盖合在排气通道的出口端。另外本发明还涉及采用该节流制冷器的探测器。本发明在法兰中设置排气通道并通过弹性件对封盖进行限制，当膨胀腔内压力与弹性作用力之间保持平衡时封盖即保持一定的开度，进而维持制冷器的背压，达到主动控制节流制冷温度的目的。当其应用于制冷型探测器时，可实现探测器的焦平面温度稳定、连续可调，保证芯片成像的稳定性。
实现主动快速制冷节流探测器