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- [实用新型]一种六工位恒温箱-CN201921046949.X有效
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宋威运;王鹏;林罡;曹其伟
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无锡华源晶电科技有限公司
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2019-07-06
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2020-04-17
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G05D23/19
- 本实用新型公开了一种六工位恒温箱，涉及半导体生产技术领域，包括密封柜，所述密封柜的内壁固定连接有保温层，所述密封柜的内部且位于保温层的内侧表面固定连接有制冷层，所述密封柜的正面固定安装有密封板，所述密封板正面的顶部位置固定安装有人机交互面板，所述密封柜的正面且位于密封板的一侧位置出固定安装有密封门，把单独的恒温装置集中到一起，采用严密的密封结构，把所有的可能泄露点放在密封空间，然后使用氮气定向排放，特殊处理，从使用成本来说，该设备是六工位形式，即一台该设备可替代原先的4台独立温控设备，无论是从采购成本，还是后续的维护成本，相比现有的恒温箱，都有大幅度的下降。
- 一种六工位恒温箱
- [实用新型]一种双层sic桨-CN201921046948.5有效
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王鹏;崔慧敏;林罡;孙斌
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无锡华源晶电科技有限公司
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2019-07-06
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2020-02-21
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H01L31/18
- 本实用新型属于sic桨领域，尤其是一种双层sic桨，针对现有的原先设备配套的碳化硅桨，在不断加大的承载力量中，弯曲度在不断的加大，直接影响到工艺的进行，因为弯曲度的增大，容易造成脱舟，即载有晶片的石英舟从sic桨上滑落，使得石英舟以及晶片大量的破碎，给客户造成了极大的损失，另外，由于现行单层碳化硅桨承载能力的限制，单层桨容易折断，这样会造成整台设备碎片的损失问题，现提出如下方案，其包括夹持部分和承载区，所述夹持部分和承载区之间固定安装有同一个过渡区域。本实用新型实用性好，采用双层设计，减小弯曲度，提高承载力，完美的解决了单层sic桨的承载能力问题，给电池片的发展起到了极大的推动作用。
- 一种双层sic
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