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[发明专利]一种晶圆的边缘检测方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310421153.2在审
发明人： 杨延竹;李国正;于波;张华 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G06T7/13 文献下载
摘要：本申请实施例属于半导体技术领域，提供了一种晶圆的边缘检测方法、装置、电子设备及存储介质,边缘检测方法通过对晶圆进行光学成像，得到晶圆图像，根据晶圆图像进行边缘特征提取，得到多个晶圆边缘数据，获取晶圆的设计图纸文件，根据设计图纸文件获取晶圆的多个边缘设计数据，将所有边缘设计数据映射至晶圆图像，得到多个晶圆边缘参考数据，根据所有晶圆边缘参考数据和所有晶圆边缘数据对所述晶圆进行边缘检测，得到检测结果。通过本申请提出的方法将晶圆的在设计图纸文件上的边缘映射至晶圆图像上，通过映射的边缘与晶圆实际的边缘进行比较，提供了准确的检测基准，降低了边缘检测的难度，提高了晶圆边缘的检测准确率。
一种边缘检测方法装置电子设备存储介质

[发明专利]通用光学装置、检测方法及电子设备、存储介质-CN202310325944.5在审
发明人： 杨延竹;唐雨欣;于波;张华 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种通用光学装置、检测方法及电子设备、存储介质，属于半导体加工制造领域。该装置包括：光学主体、成像光路组件、照明光路组件及硬件快门，光学主体包括固定件及位于固定件两端的相机和显微物镜，成像光路组件固定于固定件并形成有成像光路；照明光路组件用于将明场光源沿预设路径发射至成像光路；硬件快门固定于固定件内且位于成像光路组件和相机之间，硬件快门用于在照明光路组件中提供预设第一时长的明场光源后，为已开启的相机提供第二时长的明场光源的照射，以获得该曝光时间对应的图像进行检测。本申请实施例能在高速采集图像时，提升图像的清晰度。
通用光学装置检测方法电子设备存储介质

[发明专利]晶圆缺陷的检测方法和装置、电子设备及存储介质-CN202310365130.4在审
发明人： 杨延竹;唐雨欣;于波;张华 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种晶圆缺陷的检测方法和装置、电子设备及存储介质，属于半导体领域。该方法包括：获取晶圆样品图像，对晶圆样品图像进行图像标注，得到图像训练数据，基于图像训练数据对预先获取的神经网络模型进行训练，得到晶圆缺陷检测模型，获取待检测的晶圆待检测图像，得到图像待检测数据，将图像待检测数据输入至晶圆缺陷检测模型进行缺陷检测，得到缺陷检测数据，根据缺陷检测数据判断晶圆待检测图像是否存在缺陷。本申请实施例能够实现晶圆表面缺陷和异物的分类，并提高晶圆表面缺陷和异物的分类的准确性，从而降低人工复检工作量。
缺陷检测方法装置电子设备存储介质

[发明专利]图像处理方法、装置、设备及存储介质-CN202310035581.1有效
发明人：于波;张华;杨延竹;张旭堂 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G06T5/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种图像处理方法、装置、设备及存储介质，图像处理方法包括获取待处理图像集，其中，待处理图像集包括斜对称照明得到的至少一组待处理图像，对每组待处理图像进行差分计算，得到差分照明图像，对差分照明图像进行傅里叶变换，得到图像频谱信息，获取任意一个的图像频谱信息，得到初始频谱信息，根据图像频谱信息、初始频谱信息和预设的频谱滤波窗进行迭代更新，直至迭代收敛，得到目标频谱信息，对目标频谱信息进行逆傅里叶变换，得到目标图像。本发明能够提高差分相衬显微术的成像分辨率，进而提升对样品细小结构的成像效果。
图像处理方法装置设备存储介质

[发明专利]动态步数解相方法、电子设备及计算机可读存储介质-CN202110638332.2有效
发明人： 杨延竹;严新源;彭明;于波;张华 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本申请公开了一种动态步数解相方法、电子设备及计算机可读存储介质。本申请的动态步数解相方法包括：根据正弦相移条纹图案生成第一投射光，并将所述第一投射光投射至待测物体表面；接收在所述待测物体表面反射后的所述第一投射光，根据接收到的所述第一投射光进行相位求解得到包裹相位；根据格雷码图案生成第二投射光，将所述第二投射光投射至所述待测物体表面；接收在所述待测物体表面反射后的所述第二投射光，根据接收到的所述第二投射光得到对应的格雷码；根据所述包裹相位、所述格雷码得到绝对相位值。本申请所提供的方法通过分别调制生成与正弦相移条纹图案、格雷码图案对应的投射光，并对反射后的投射光分别进行解调，以得到最终的绝对相位值。
动态步数解相方法电子设备计算机可读存储介质

[发明专利]文件烧录方法、装置及计算机可读存储介质-CN202110480339.6有效
发明人： 杨延竹;黄新利;于波;张华;张旭堂 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G06F8/61 文献下载
摘要：本发明公开了一种文件烧录方法、装置及计算机可读存储介质。将第一文件保存至第一存储设备的第一路径和将第二文件保存至第一存储设备的第二路径；在第一存储设备上，通过第一文件启动操作系统；在第二存储设备上，执行第二文件的烧录脚本文件，以将第二文件烧录至第二存储设备。本发明通过文件烧录方法、装置及计算机可读存储介质，在上电处理后自动完成整个烧录过程，中间无需人工干预，耗时短、操作简单、可靠性高，大大的降低了人工成本，提高了企业工作效率。
文件方法装置计算机可读存储介质

[实用新型]光学调节装置及光学系统-CN202221276413.9有效
发明人：陈祺坤;张华;于波;杨延竹 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： G01S17/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学调节装置及光学系统，包括面发光模组、第一调节组件和第二调节组件；面发光模组设于线激光发射器的出光侧和光学镜头的入光侧，面发光模组用于向光学镜头发射光斑是二维形状的测试光线；第一调节组件包括第一定位机构和夹持机构，夹持机构用于夹持图像传感器，夹持机构连接于第一定位机构，第一定位机构用于驱动夹持机构运动；第二调节组件包括第二定位机构和定位座，定位座连接于第二定位机构，面发光模组安装于定位座，第二定位机构用于驱动定位座运动。本实用新型通过设置面发光模组位于线激光发射器的出光侧和光学镜头的入光侧，能够一次性对多种测试情形实现光学调节，调节操作简便，调节效率高。
光学调节装置光学系统

[发明专利]一种定位装置及检测系统-CN202211196823.7在审
发明人：彭明;杨延竹;于波;张华 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种定位装置及检测系统。本发明的定位装置包括安装座、支撑台、第一定位件、第二定位件、推动组件和弹性组件。其中，支撑台连接于安装座，用于支撑壳体。第一定位件和第二定位件均连接于支撑台，用于在X轴和Y轴方向定位壳体。推动组件包括第一驱动件和推动件，第一驱动件能够驱动推动件以使壳体沿Y轴方向移动。弹性组件包括连接件、活动件和弹性件，连接件连接于安装座，活动件包括支撑部和定位部，支撑部用于支撑壳体，定位部用于向远离第一定位件的方向推动壳体至第一定位件抵接于壳体。定位装置通过弹性件在X轴方向的压缩及推动件在Y轴方向的移动范围，能够实现在一定尺寸范围内的壳体在X‑Y平面的定位，使用方便。
一种定位装置检测系统

[发明专利]晶圆微加工结构缺陷检测方法及其装置、设备、介质-CN202210945689.X在审
发明人：黄冰;杨延竹;于波;张华 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种晶圆微加工结构缺陷检测方法及其装置、设备、介质，所述晶圆微加工结构缺陷检测方法包括：获取初始图像，对初始图像进行分割，得到待检测微加工结构图像，当接收到缺陷检测指令时，对待检测微加工结构图像进行第一缺陷检测，得到第一检测结果，若第一检测结果为微加工结构无缺陷，则根据目标缺陷检测模型对待检测微加工结构图像进行第二缺陷检测，得到第二检测结果，若第二检测结果为微加工结构有缺陷，则获取微加工结构缺陷的第一得分值，根据第一得分值得到目标检测结果，能够自动进行微加工结构的缺陷检测，与人工检测方式相比，提高了检测效率和准确率。
晶圆微加工结构缺陷检测方法及其装置设备介质

[发明专利]锡球缺陷检测方法及其装置、计算机设备、存储介质-CN202210672344.1在审
发明人：王永吉;张华;于波;杨延竹 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请实施例提出的锡球缺陷检测方法及其装置、计算机设备、存储介质，属于机器视觉技术领域，通过获取初始图像，对初始图像进行仿射变换，得到锡球图像，根据预设结构算子对锡球图像进行腐蚀运算，得到第一特征图像，将锡球图像和第一特征图像相减得到第二特征图像，对第二特征图像进行阈值分割，得到缺陷检测结果，能够提高锡球缺陷检测的效率，准确检测有缺陷的锡球，降低缺陷锡球的漏检率。
缺陷检测方法及其装置计算机设备存储介质

[发明专利]拍摄方法、拍摄装置、计算机设备、存储介质-CN202210484893.6在审
发明人：倪天宇;杨延竹;于波;张华;彭明 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H04N5/232 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种拍摄方法、拍摄装置、计算机设备、存储介质，所述方法包括：获取相机和测距传感器在水平方向之间的标定距离；获取相机的固定焦距；当待测物体移动到第一坐标，控制测距传感器进行测量以得到第一距离；根据第一坐标和标定距离得到第二坐标；当待测物体移动到第二坐标，获取测距传感器测量的第一距离，根据固定焦距和第一距离得到第二距离，控制相机在竖直方向上移动第二距离，直至第一距离与固定焦距相等，控制相机对待测物体进行拍摄，本申请实施例提供的拍摄方法能够实现快速对焦，不需要拍摄多张图片进行大范围的寻焦，提高获取清晰图片的速度，保证拍摄图片的实时性。
拍摄方法装置计算机设备存储介质

[发明专利]模具清洁设备-CN202210672855.3在审
发明人：吴绩亮;张华;于波;杨延竹 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： B29C33/72 文献下载
摘要：本申请公开了一种模具清洁设备。本申请的模具清洁设备通过将齿条导轨固定于导轨安装板，齿条导轨包括齿条和第一导轨，滑动架上的滚轮与第一导轨滑动连接，滑动架上的第一齿轮与齿条啮合，使用第一驱动组件驱动第一齿轮与齿条配合转动，同时能带动滚轮在第一导轨上运动，使滑动架能沿齿条导轨的长度方向运动，此外，设备中还包括清洁机构，清洁机构固定于滑动架，清洁机构跟随滑动架滑动，以实现清洁机构对模具中不同区域进行清洁，相较于人工清洁，能够提高清洁效果和效率。
模具清洁设备

[发明专利]3D传感器光学系统调节方法、调节系统及存储介质-CN202210575729.6在审
发明人：陈祺坤;张华;于波;杨延竹 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01S17/894 文献下载
摘要：本发明公开了一种3D传感器光学系统调节方法、调节系统及存储介质，方法包括：调节面发光模组和图像传感器的位置，以使线激光发射器发射的初始激光线经面发光模组反射到图像传感器的中心位置；调节面发光模组的位置，以使线激光发射器发射的初始激光线投射到面发光模组的B面，其中，B面为面发光模组的发光面；调节图像传感器的位置，以使B面处发射出的每一测试光线都能够同时经过光学镜头清晰成像于图像传感器。本发明通过面发光模组作为待测物体对光学系统进行调节，图像传感器能够一次性捕获大量的测试光线，无需进行多次重复的调节，调节操作方便快捷，且能够显著降低机械误差。
传感器光学系统调节方法系统存储介质

[发明专利]定位工装-CN202210666810.5在审
发明人：吴绩亮;张华;于波;杨延竹 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种定位工装，包括定位平台、第一连接柱和第二连接柱。其中，第一连接柱包括第一连接端和定位连接端，第一连接端包括第一配合部，第一配合部设有多个第一连接面，多个第一连接面盘旋周布，且相邻第一连接面以设定高度差向定位连接端靠近。第二连接柱包括第二连接端和锁紧端，第二连接端包括第二配合部，第二配合部设有多个第二连接面，多个第二连接面盘旋周布，且相邻第二连接面以设定高度差向锁紧端靠近。其中，第一配合部与第二配合部可拆卸连接，第二连接柱适于通过转动向定位连接端靠近，且各第一连接面与各第二连接面轮换贴合。本申请提出一种定位工装，实现定位时进行高度调节，增加了功能性和实用性。
定位工装

[发明专利]目标缺陷检测方法和检测装置、计算机设备、存储介质-CN202210605274.8在审
发明人：王永吉;杨延竹;张华;于波 -专利权人：深圳市格灵精睿视觉有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种目标缺陷检测方法和检测装置、计算机设备、存储介质，属于人工智能技术领域。该方法包括：获取待检测的BGA图像，BGA图像中包括至少一个候选检测子图像；利用Mosaic函数对每个候选检测子图像进行数据增强操作，得到BGA图像中的至少一个目标缺陷图像；根据预训练的FPN架构模型对每个目标缺陷图像进行缺陷检测，输出每个目标缺陷图像对应的目标缺陷类别及目标缺陷概率值。本申请实施例根据预训练的FPN架构模型对BGA图像中的候选检测子图像进行目标缺陷检测，能够提高对锡球小目标缺陷检测的准确率和效率。
目标缺陷检测方法装置计算机设备存储介质

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