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[发明专利]一种深孔形成方法以及三维存储器的形成方法-CN202110314877.8有效
发明人： 杨事成;张莉;阙凤森;贺晓平;施生巍;李康;钟磊;陈冠桦 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明公开了一种深孔形成方法及三维存储器的形成方法，其中，深孔形成方法形成的堆叠层包括若干层交替排布的第一材料层和第二材料层，在交替排布的第一材料层和第二材料层中，至少有其中两层第一材料层的折射率不同，且折射率不同的第一材料层中，靠近基底的第一材料层的折射率小于远离基底的第一材料层的折射率，这使得在对堆叠成进行刻蚀以形成深孔的过程中，折射率较小的第一材料层的刻蚀速率高于折射率较大的第一材料层的刻蚀速率，弥补刻蚀过程中靠近衬底的刻蚀气体量较小的实际情况，使得刻蚀后靠近衬底的第一材料层的深孔宽度与远离衬底的第一材料层的深孔宽度趋于一致，进而优化堆栈结构深孔刻蚀后的深孔尺寸。
一种形成方法以及三维存储器

[发明专利]自动隔离故障电解槽的并联PEM电解槽系统及隔离方法-CN202211070218.5在审
发明人：朱维;谢佳平;赵舸;李建伟;杨事成 -专利权人：海卓动力（青岛）能源科技有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C25B9/70 文献下载
摘要：本发明提出一种自动隔离故障电解槽的并联PEM电解槽系统及隔离方法，系统包括循环水泵、氧水分离器和n个并联的电解槽，循环水泵一端连接氧水分离器，另一端连接至每个电解槽；所述氧水分离器内设置有与每个电解槽对应的氧水分离小室，氧水分离小室下部设置开口且开口位于液面下方，氧水分离小室连接至在线氧中氢分析仪且上部设置排气口；所述电解槽的氧气出口连接至其对应的氧水分离小室；所述氧水分离器上设置有氧气放空母管。本发明PEM电解槽系统，通过设置与每个电解槽对应的氧水分离小室，并独立设置取样管，在不整体停机的情况下即可实现针对每一台电解槽单独测定氧中氢的含量，从而排除发生机械故障的电解槽，并自动对其做屏蔽隔离。
自动隔离故障电解槽并联 pem 系统方法

[实用新型]高氢气纯度、高安全的电解水碱液循环系统-CN202220657508.9有效
发明人：朱维;谢佳平;李建伟;杨事成;赵舸 -专利权人：上海卓微氢科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： C25B15/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及水电解制氢设备技术领域，具体为一种高氢气纯度、高安全的电解水碱液循环系统，包括氢分离器、氧分离器、碱液循环泵、电解槽、氢侧缓冲罐和氧侧缓冲罐，氢分离器、氧分离器的出液口分别通过管路依次连接碱液循环泵、电解槽进液口，电解槽出气口分别通过管路连接至氢分离器、氧分离器的进气口，氢侧缓冲罐的进液口连接氢分离器的出液口，氢侧缓冲罐的出液口连接碱液循环泵，氧侧缓冲罐的进液口连接氧分离器的出液口，氧侧缓冲罐的出液口连接碱液循环泵，氢侧缓冲罐具有氢排气口，氧侧缓冲罐具有氧排气口。有效避免氢氧相互混合，提高了设备运行的安全性；提高了电解槽阴极侧氢气纯度和阳极侧氧气的纯度。
氢气纯度安全电解水碱循环系统

[实用新型]一种燃料电池的加热和冷却系统-CN202221462579.X有效
发明人：谢佳平;朱维;杨事成;李建伟;袁睿 -专利权人：上海卓微氢科技有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： H01M8/04007 文献下载
摘要：本实用新型提出一种燃料电池的加热和冷却系统，包括循环泵、风冷散热器、去离子器和加热冷却装置，循环泵的进液端经管路连接至冷却液进口，循环泵的出液端经管路依次连接三通阀、散热器、第一单向阀和去离子器，去离子器的出液端连接至冷却液出口；加热冷却装置的进液端连接三通阀，加热冷却装置的出液端经过单向阀后连接至去离子器和第一单向阀之间的管路上。本实用新型可同时实现对燃料电池冷却液进行加热和冷却，在燃料电池冷启动时，对冷却液进行加热，实现燃料电池的快速启动；在燃料电池以高负荷运行时，协助风冷散热器对冷却液进行冷却，确保燃料电池内部温度在设定区间内。
一种燃料电池热和冷却系统

[实用新型]一种分布式制氢储能发电系统-CN202220657348.8有效
发明人：朱维;谢佳平;杨事成;李建伟;赵舸 -专利权人：上海卓微氢科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01M8/0656 文献下载
摘要：本实用新型具体为一种分布式制氢储能发电系统，所述系统包括水电解制氢单元、氢气纯化加湿单元、燃料电池发电单元、固态储氢单元，所述水电解制氢单元通过管路与氢气纯化加湿单元连接，所述氢气纯化加湿单元通过管路分别连接燃料电池发电单元和固态储氢单元，所述燃料电池发电单元通过管路连接水电解制氢单元。将氢气纯化加湿单元的干燥塔与燃料电池发电单元进行耦合，实现水分和能量的高效利用，系统安全性高、稳定性强。
一种分布式制氢储能发电系统

[实用新型]一种多堆并联燃料电池热电联供系统-CN202220989847.7有效
发明人：谢佳平;朱维;杨事成;李建伟;董鲁峰 -专利权人：上海卓微氢科技有限公司
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H02J3/46 文献下载
摘要：本实用新型具体为一种多堆并联燃料电池热电联供系统，包括燃料电池子系统、控制系统、对外输出子系统、储能电池子系统、公共直流母线，燃料电池子系统包括燃料电池电堆、空气处理单元、氢气处理单元、冷却系统、储热系统、燃料电池DC/DC，燃料电池子系统有多套，且多套系统并联，对外输出子系统包括电力输出DC/AC，储能电池子系统包括储能电池组和储能电池DC/DC，公共直流母线分别与燃料电池DC/DC、储能电池DC/DC、电力输出DC/AC电连接。通过多燃料电池并联组成热电联供系统的方式，实现整个系统输出电功率、热功率的增加，解决了目前单燃料电池供能不足的问题，有助于氢能热电联供系统在社区、医院、工业园区等中大型场景的应用推广，实现建筑领域的深度脱碳。
一种并联燃料电池热电系统

[实用新型]一种用于氢气纯化的无外排两塔干燥装置-CN202220741355.6有效
发明人：朱维;谢佳平;杨事成;李建伟;赵舸 -专利权人：上海卓微氢科技有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本实用新型具体为一种用于氢气纯化的无外排两塔干燥装置，包括脱氧系统、原料气分配系统、气液冷却分离系统、纯化再生系统、产品气分配系统、产品气输出系统、再生气循环系统，脱氧系统连接原料气分配系统，原料气分配系统连接气液冷却分离系统，气液冷却分离系统连接纯化再生系统，纯化再生系统连接产品气分配系统，产品气分配系统连接产品气输出系统，再生气循环系统的出气端连接脱氧系统，再生气循环系统的回气端连接原料气分配系统，产品气分配系统还包括比例阀。增加再生气循环系统，避免了氢气的外排浪费；增设比例阀，负责对再生气的流速、流量以及压力进行控制，减少了多个阀门的使用，降低了设备制造及运维成本。
一种用于氢气纯化外排干燥装置

[发明专利]一种燃料电池的加热和冷却系统及控制方法-CN202210660848.1在审
发明人：谢佳平;朱维;杨事成;李建伟;袁睿 -专利权人：上海卓微氢科技有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01M8/04007 文献下载
摘要：本发明提出一种燃料电池的加热和冷却系统及控制方法，系统包括循环泵、风冷散热器、去离子器和加热冷却装置，循环泵的进液端经管路连接至冷却液进口，循环泵的出液端经管路依次连接三通阀、散热器、第一单向阀和去离子器，去离子器的出液端连接至冷却液出口；加热冷却装置的进液端连接三通阀，加热冷却装置的出液端经过单向阀后连接至去离子器和第一单向阀之间的管路上。本发明可同时实现对燃料电池冷却液进行加热和冷却，在燃料电池冷启动时，对冷却液进行加热，实现燃料电池的快速启动；在燃料电池以高负荷运行时，协助风冷散热器对冷却液进行冷却，确保燃料电池内部温度在设定区间内。
一种燃料电池热和冷却系统控制方法

[发明专利]一种离网型光伏制氢系统控制方法-CN202210443940.2在审
发明人：朱维;谢佳平;杨事成;李建伟;姚飞宇 -专利权人：上海卓微氢科技有限公司
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： C25B9/65 文献下载
摘要：本发明涉及光伏制氢系统控制技术领域，具体为一种离网型光伏制氢系统控制方法，所述方法为根据对当日天气条件的预测，得到当日光伏子系统发电功率峰值Ppv‑max及峰值点时刻T；计算制氢子系统当日参与工作的电解单元模块的最大数量Nmax，统计上一时刻(t‑1)电解单元模块工作数目Nt‑1以及当前t时刻光伏子系统发电功率Ppv，计算任意时刻t时，电解单元模块的工作数量及各电解单元模块的工作功率。解决了现有技术缺乏对离网型光伏制氢系统经济性控制的问题，有效提高设备的利用率，延长电解槽的使用寿命，在同样光伏发电功率条件下，可得到更多的氢气产量，保障电解系统安全，延长储能电池组使用寿命。
一种离网型光伏制氢系统控制方法

[发明专利]高氢气纯度、高安全的电解水碱液循环系统及控制方法-CN202210297865.3在审
发明人：朱维;谢佳平;李建伟;杨事成;赵舸 -专利权人：上海卓微氢科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： C25B15/08 文献下载
摘要：本发明涉及水电解制氢设备技术领域，具体为一种高氢气纯度、高安全的电解水碱液循环系统及控制方法，包括氢分离器、氧分离器、碱液循环泵、电解槽、氢侧缓冲罐和氧侧缓冲罐，氢分离器、氧分离器的出液口分别通过管路依次连接碱液循环泵、电解槽进液口，电解槽出气口分别通过管路连接至氢分离器、氧分离器的进气口，氢侧缓冲罐的进液口连接氢分离器的出液口，氢侧缓冲罐的出液口连接碱液循环泵，氧侧缓冲罐的进液口连接氧分离器的出液口，氧侧缓冲罐的出液口连接碱液循环泵，氢侧缓冲罐具有氢排气口，氧侧缓冲罐具有氧排气口。有效避免氢氧相互混合，提高了设备运行的安全性；提高了电解槽阴极侧氢气纯度和阳极侧氧气的纯度。
氢气纯度安全电解水碱循环系统控制方法

[实用新型]一种模块化水电解制氢系统-CN202123399810.3有效
发明人：谢佳平;朱维;杨事成;李建伟;赵舸 -专利权人：海卓动力（上海）能源科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： C25B1/04 文献下载
摘要：本实用新型具体为一种模块化水电解制氢系统，所述系统包括可再生能源发电系统、能量管理监控系统、电解单元模块组、储能系统，可再生能源发电系统包括可再生能源发电装置和整流逆变装置，电解单元模块组包括若干电解单元模块，储能系统包括逆变装置和储能电池组，能量管理监控系统分别与可再生能源发电系统、电解单元模块组、储能系统通讯连接。本实用新型通过多电解单元模块组合的形式，实现了大规模、集中式制氢；通过在电解单元模块中增设碱液加热系统，提高了水电解制氢系统对可再生能源功率波动性的快速响应能力；通过增配一个储能系统，一方面为电解槽预开机过程及关机过程提供电能供应，另一方面保障极端天气条件下系统的稳定性。
一种模块化水电解制氢系统

[发明专利]一种分布式制氢储能发电系统及其工作方法-CN202210299827.1在审
发明人：朱维;谢佳平;杨事成;李建伟;赵舸 -专利权人：上海卓微氢科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： H01M8/0656 文献下载
摘要：本发明具体为一种分布式制氢储能发电系统及其工作方法，所述系统包括水电解制氢单元、氢气纯化加湿单元、燃料电池发电单元、固态储氢单元，所述水电解制氢单元通过管路与氢气纯化加湿单元连接，所述氢气纯化加湿单元通过管路分别连接燃料电池发电单元和固态储氢单元，所述燃料电池发电单元通过管路连接水电解制氢单元。所述工作方法包括制氢‑储氢模式、干燥塔再生模式、储氢‑发电模式。将氢气纯化加湿单元的干燥塔与燃料电池发电单元进行耦合，实现水分和能量的高效利用，系统安全性高、稳定性强。
一种分布式制氢储能发电系统及其工作方法

[发明专利]一种近零碳能量管理方法-CN202111484944.7在审
发明人：谢佳平;朱维;李建伟;杨事成;赵舸 -专利权人：海卓动力（上海）能源科技有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H02J3/00 文献下载
摘要：本发明具体为一种近零碳能量管理方法，所述方法为由可再生能源发电系统工作产生绿电供给电解水制氢系统，制取氢气并存储在储氢系统，若储氢系统未满，且PEC,e＞PPV＞PEC,min，可再生能源发电系统发的绿电全部供能给电解水制氢系统，若储氢系统未满，且PPV＞PEC,e，PEC＝PEC,e；若储氢系统已满或者PPV＜PEC,min，则电解水制氢系统不工作；可再生能源发电系统产生的绿电供给电解水制氢系统制氢后仍有余量，则余量优先供给给储能系统。通过可再生能源取代煤电，绿电制绿氢，绿电供给建筑，燃料电池热电联供系统副产的热水供给建筑，绿氢供给氢能车辆，实现电力、工业、建筑、交通领域的近零碳。
一种近零碳能量管理方法

[发明专利]一种模块化水电解制氢系统及其控制方法-CN202111654299.9在审
发明人：谢佳平;朱维;杨事成;李建伟;赵舸 -专利权人：海卓动力（上海）能源科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： C25B1/04 文献下载
摘要：本发明具体为一种模块化水电解制氢系统及其控制方法，所述系统包括可再生能源发电系统、能量管理监控系统、电解单元模块组、储能系统，可再生能源发电系统包括可再生能源发电装置和整流逆变装置，电解单元模块组包括若干电解单元模块，储能系统包括逆变装置和储能电池组，能量管理监控系统分别与可再生能源发电系统、电解单元模块组、储能系统通讯连接；所述方法为获取处于生产状态、待机状态、停机状态电解单元模块数目，计算处于生产状态、待机状态电解单元模块剩余负荷总和Ptotal，根于天气预报系统，预测可再生能源发电系统下一时间段以及下下时间段的发电量增量ΔP1、ΔP2，依据ΔP1、ΔP2与Ptotal的关系，确定电解单元状态如何转换以及转换数量。
一种模块化水电解制氢系统及其控制方法

[发明专利]面向非恒定功率源的电解制氢与储能发电系统及控制方法-CN202111342698.1在审
发明人： 杨事成;王广华;冯柄楠;马凯成;祝妍;王广飞;马兰;李盈军;闫宏 -专利权人：安徽伯华氢能源科技有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H02J3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种面向非恒定功率源的电解制氢与储能发电系统及其控制方法，将水电解制氢技术与可再生能源发电技术相结合，同时增加储能电池单元，并根据储能电池组的荷电状态，确定电解槽电解功率，使得电解槽功率仅在预先设定的几个功率间变化，降低了在波动性电源条件下电解槽电解功率的波动引起的安全风险，尤其使原本不可适用于波动性电源的碱水制氢技术与可再生电源发电的联用成为可能，降低了可再生能源电解水制氢技术的规模化、工业化应用门槛。该方法不仅可以制备出真正绿色环保的氢气，也可对可再生能源发出的波动性电源进行调峰调频。
面向恒定功率电解发电系统控制方法

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