专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种半导体晶圆加工用检测装置-CN202320357291.4有效
  • 朱汪龙;朱玲;闾浩 - 江苏先进技电半导体设备有限公司
  • 2023-03-01 - 2023-09-01 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了一种半导体晶圆加工用检测装置,包括检测机,所述检测机左侧的顶部固定连接有传动箱,所述传动箱的顶部设置有吸尘器,所述吸尘器的底部输出端贯穿至传动箱的内部并连通有软管,所述软管的输出端连通有集尘罩,所述传动箱内壁的底部固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有蜗杆,所述蜗杆的顶部通过轴承与传动箱内壁的顶部活动连接。本实用新型解决了现有市面上大多数的检测装置不具有进料吸尘的功能,导致半导体晶圆在进入检测装置内部时会携带灰尘,从而造成检测装置容易出现检测故障的情况,需要进行维护,影响了检测装置正常使用的问题,达到了进料吸尘功能的效果。
  • 一种半导体晶圆加工用检测装置
  • [实用新型]液晶显示器生产加工用表面预处理设备-CN202320362709.0有效
  • 朱汪龙;朱玲;严钧天 - 江苏先进技电半导体设备有限公司
  • 2023-03-01 - 2023-09-01 - G02F1/13
  • 本实用新型公开了液晶显示器生产加工用表面预处理设备,包括超声波清洗机本体,所述超声波清洗机本体的顶部设置有放置架,所述超声波清洗机本体的两侧均设置有顶起套。本实用新型通过设置超声波清洗机本体、放置架、顶起套、限位槽、限位条、顶起板、螺杆、蜗轮、电机和蜗杆的配合使用,解决了现有表面预处理设备的超声波清洗机在对液晶显示器电子器件进行清洗后,需要将放置架在超声波清洗机的顶部停留一段时间,使放置架内部的清洗水沥除,一般是使用者手动拎起放置后进行停留,由于放置架较重,会对使用者造成一定的影响,不利于使用者对表面预处理设备的超声波清洗机进行使用的问题。
  • 液晶显示器生产工用表面预处理设备
  • [实用新型]一种半导体圆晶用加工定位退火设备-CN202320681803.2有效
  • 朱汪龙;朱玲;王兰 - 江苏先进技电半导体设备有限公司
  • 2023-03-28 - 2023-09-01 - C30B33/02
  • 本实用新型公开了一种半导体圆晶用加工定位退火设备,包括退火炉,所述退火炉的顶部固定连接有加热发生器,所述退火炉的内壁固定连接有石墨加热体,且石墨加热体的输入端与加热发生器电性连接,所述退火炉的内部设置有保温层。本实用新型通过退火炉、加热发生器、石墨加热体、保温层、承载板组、定位机构、载片盘、滑槽、滑块、弧形块、螺纹槽和耐高温螺栓的设置,解决了垫片上的圆晶在取出时使其从垫片的表面发生滑落和防止出现夹片对圆晶的边缘夹取导致对其边缘遮盖及不能适配不同规格圆晶的问题,具备了在取出圆晶时能够防止圆晶从该装置的表面滑落,且避免了圆晶的边缘被遮盖及适配不同规格圆晶的优点。
  • 一种半导体圆晶用加工定位退火设备
  • [发明专利]一种半导体晶圆加工用设备快速冷却装置-CN202211629376.X在审
  • 朱汪龙;朱玲;李磊;李耘 - 江苏先进技电半导体设备有限公司
  • 2022-12-17 - 2023-06-06 - B28D5/00
  • 本发明公开了一种半导体晶圆加工用设备快速冷却装置,包括加工设备,所述加工设备顶部固定连接有工作台,所述工作台内部开设有第一凹槽,所述第一凹槽内部设有电机,所述电机输出轴一端固定连接有主动轴。本发明通过在主动轴一端设置第一连接板,在第一连接板外壁设置第一连接块,在第二连接板外壁设置第二连接块,在第一连接块和第二连接块之间设置弹簧,在转杆外壁设置转套,在活动板外壁设置第一活动杆,在第一活动块外壁设置第二活动杆,使第一滑板可以带动限位板运动,本发明中,该装置进行半导体晶圆切割时,半导体晶圆不会因为受到外力误触碰,致使半导体晶圆位置出现偏差,使半导体晶圆生产加工不良率减少。
  • 一种半导体晶圆加工用设备快速冷却装置
  • [实用新型]基于半导体冷凝片的酸循环纯化装置-CN201921650809.3有效
  • 朱汪龙;朱玲 - 无锡乐东微电子有限公司
  • 2019-09-30 - 2020-10-20 - B01D3/00
  • 本实用新型涉及一种基于半导体冷凝片的酸循环纯化装置,其中包括加热组件、冷凝组件、储液容器和通风橱,加热组件设置于储液容器下端,冷凝组件包括玻璃管和半导体冷凝片,玻璃管的一端为蒸汽入口,玻璃管的另一端通过输液管与储液容器相连接,半导体冷凝片的冷端紧贴于玻璃管的外壁上,加热组件和储液容器均设置于通风橱内部。采用该种结构的基于半导体冷凝片的酸循环纯化装置,提供了半导体冷凝片作为冷凝设备,冷却效果稳定,不受空气和自来水温度影响,能够准确指示冷却效果,提供了一种安全、稳定、准确的冷却方式;在半导体冷凝片的热端设置散热片和散热风扇,进一步保证设备的稳定性,结构简单,具有更广泛的应用范围。
  • 基于半导体冷凝循环纯化装置
  • [实用新型]基于超声波的半导体芯片缺陷检测系统-CN201921685912.1有效
  • 朱汪龙;朱玲 - 无锡乐东微电子有限公司
  • 2019-10-10 - 2020-10-09 - G01N29/04
  • 本实用新型涉及一种基于超声波的半导体芯片缺陷检测系统,包括:传输装置,半导体芯片在所述传输装置上运输;包括超声波探头的超声波检测装置,该超声波检测装置设置于所述传输装置的正上方,并向所述传输装置发射超声波信号;主控装置,与所述超声波检测装置相连接;报警装置,所述报警装置与所述主控装置相连接;当所述半导体芯片在所述传输装置上传输时,所述超声波检测装置向所述半导体芯片上发射超声波,当所述主控装置判断出所述半导体芯片外观存在缺陷时,所述报警装置进行报警。采用该种结构的基于超声波的半导体芯片缺陷检测系统,对半导体芯片进行自动检测,准确性高、可靠性强。
  • 基于超声波半导体芯片缺陷检测系统
  • [实用新型]一种便于取用的单晶硅存储箱-CN201921594050.1有效
  • 朱汪龙;朱玲 - 无锡乐东微电子有限公司
  • 2019-09-24 - 2020-09-08 - B65D25/38
  • 本实用新型涉及一种便于取用的单晶硅存储箱,其中包括箱体,所述的箱体包括顶板、底板、固定的第一侧板、第二侧板和第三侧板以及一门板,所述的门板的一侧与第一侧板可转动连接,所述的门板的另一侧与第三侧板可拆卸连接,所述的箱体内设置有数个与底板平行的隔板,各个所述的隔板位于所述的门板的一侧的下部设置有可拉拔出箱体的拉板。采用该种结构的便于取用的单晶硅存储箱,内部空间结构设置合理,产品防护效果好,硅片安置非常牢靠,可以分层同时存储多种,取用、清点和运输都很方便;在取用时,可以通过拉板直接将硅片移动至需要的位置,而不必手动夹取,防止硅片的损伤,适用于大规模推广应用。
  • 一种便于取用单晶硅存储
  • [实用新型]一种单晶硅片的边角磨削装置-CN201921613254.5有效
  • 朱汪龙;朱玲 - 无锡乐东微电子有限公司
  • 2019-09-26 - 2020-08-21 - B24B9/06
  • 本实用新型涉及一种单晶硅片的边角磨削装置,其中包括机架、工作台和砂轮磨削组件,所述的工作台和砂轮磨削组件均设置于所述的机架上,且所述的砂轮磨削组件相对于工作台可前后移动,所述的工作台由基体和基体上的多个支架组成,每个支架和相邻支架之间设置一组可绕其中心轴旋转的夹紧组件。采用该种结构的单晶硅片的边角磨削装置,通过设置工作台以及上面的多个工位,一次上件可以设置多个单晶硅片,从而实现一次装件对多个工件进行加工,减少了工作人员的操作步骤,大大提高了加工效率,对于半导体、太阳能电池等行业的单晶硅片供给都有很重要的意义;并且整体产品结构简单,操作容易,具有更广泛应用范围。
  • 一种单晶硅边角磨削装置
  • [实用新型]一种硅晶片清洗装置-CN201921843890.7有效
  • 朱汪龙;朱玲 - 无锡乐东微电子有限公司
  • 2019-10-30 - 2020-07-14 - B08B3/02
  • 本实用新型一种硅晶片清洗装置,包括清洗腔室以及底座,还包括清洗机构、转动机构、排水机构,其中:清洗机构包括进水装置以及若干喷水装置,进水装置通过软管与若干喷水装置连接,若干喷水装置等距固定安装在清洗腔室内腔顶部;转动机构包括转动轴、轴承以及若干卡框,若干卡框固定设在转动轴上,轴承设于转动轴两端且位于清洗腔室侧壁腔内;排水机构包括若干出水口、排水口、斜板,若干出水口设置在清洗腔室底部,斜板斜设在底座内及若干出水口下方,斜板尾端与底座侧壁连接处开设有排水口;本实用新型可以对硅晶片进行全方位清洗,且便于安装拆卸,整体结构简单,成本低。
  • 一种晶片清洗装置
  • [实用新型]一种单晶硅片垂直清洗装置-CN201921861677.9有效
  • 朱汪龙;朱玲 - 无锡乐东微电子有限公司
  • 2019-10-31 - 2020-07-14 - B08B3/12
  • 本实用新型公开了一种单晶硅片垂直清洗装置,属于硅片超声波清洗设备技术领域,本实用新型包括清洗带、传送带、药水池和电机,清洗带底部有数个分布均匀的凹槽,凹槽底部设有多个超声波振子,清洗带的外围设置转动块和转动杆,通过转动块和转动杆旋转清洗带,使凹槽中的单晶硅片和药水落入传送带中,药水通过传送带上的网眼落入药水池中,而传送带将单晶硅片传送至出料口。本实用新型提供的单晶硅片垂直清洗装置结构简单,操作方便,维修成本低,解决了现有的清洗装置结构复杂,维修成本高,时间长,影响工作效率的问题。
  • 一种单晶硅垂直清洗装置
  • [实用新型]一种超声波单晶硅片清洗槽-CN201921873971.1有效
  • 朱汪龙;朱玲 - 无锡乐东微电子有限公司
  • 2019-11-01 - 2020-07-14 - B08B3/12
  • 本实用新型提供一种超声波单晶硅片清洗槽,包括丝杆、螺母块、电机、电动伸缩杆、超声波振子、升降板、连接管、真空吸盘以及真空泵,支撑板左端面上侧装配有电机,电机右端面安装有丝杆,丝杆环形侧面安装有螺母块,螺母块下端面装配有电动伸缩杆,电动伸缩杆下端面固定有升降板,升降板上端面中间位置装配有真空泵,真空泵左端面安装有连接管,升降板下端面安装有真空吸盘,真空泵通过连接管与真空吸盘相连接,超声波振子安装在清洗斗内壁,该设计解决了原有单晶硅片不方便超声波清洗的问题,本实用新型结构合理,方便单晶硅片送料清洗,清洗效率高。
  • 一种超声波单晶硅清洗
  • [实用新型]半导体芯片的缺陷检测装置-CN201921602351.4有效
  • 朱汪龙;朱玲 - 无锡乐东微电子有限公司
  • 2019-09-25 - 2020-06-23 - G01N21/95
  • 本实用新型涉及一种半导体芯片的缺陷检测装置,包括:传输装置,半导体芯片在所述传输装置上运输;红外摄像头和/或普通光学镜头,该红外摄像头和/或普通光学镜头设置于所述传输装置的上方;红外光源,该红外光源设置于所述红外摄像头上,且正对所述传输装置上的半导体芯片;图像分析装置,与所述红外摄像头相连接;报警装置,所述报警装置与所述图像分析装置相连接;当所述半导体芯片在所述传输装置上传输时,所述红外摄像头获取所述半导体芯片的图像并传输至所述图像分析装置,当所述图像分析装置判断出所述半导体芯片外观存在缺陷时,所述报警装置进行报警。采用该种结构的半导体芯片的缺陷检测装置,对半导体芯片进行自动检测,准确性高、可靠性强。
  • 半导体芯片缺陷检测装置
  • [发明专利]一种单晶硅片的清洗烘干装置-CN201911051124.1在审
  • 朱汪龙;朱玲 - 无锡乐东微电子有限公司
  • 2019-10-31 - 2020-02-28 - B08B3/12
  • 本发明公开了一种单晶硅片的清洗烘干装置,包括顶部、红外感应装置、化学清洗池、物理清洁池和烘干室,顶部的下方从左至右依次是取片室、化学清洗池、物理清洁池、烘干室和封装室,顶部包括顶板、传送装置和伸缩装置,通过伸缩装置和红外感应装置,完成硅片在清洗烘干过程。本发明的单晶硅片的清洗烘干装置,装置简单,操作安全稳定,一次性完成单晶硅片的清洗烘干过程,提高了清洗和烘干效率,并且单晶硅片经过两种清洗方式后,达到了更好的清洗效果。
  • 一种单晶硅清洗烘干装置

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