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[发明专利]一种高硬度耐磨玻璃盖板及其制备方法-CN201710963120.5有效
发明人：陈立;吴德生;朱得菊 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2017-10-17 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： C03C17/34 文献下载
摘要：本发明提供一种高硬度耐磨玻璃盖板，包括依次接触的玻璃基体、SiO2层、含氢DLC层和Si掺杂的DLC层；所述Si掺杂的DLC层中Si的原子百分含量为8～14％。本发明结合含氢类金刚石的特点，设计了一种新型双层的类金刚石膜层结构，通过在DLC层中掺杂适当含量的Si，在保证高的光学透过率的条件下，提高膜层的硬度及耐摩擦性能，降低膜层的动摩擦系数。本发明还提供了一种高硬度耐磨玻璃盖板的制备方法，本发明通过磁控溅射的方法，在玻璃盖板基体表面依次镀膜，将各膜层紧密结合在一起，进一步提高产品的耐摩擦性能。
一种硬度耐磨玻璃盖板及其制备方法

[发明专利]一种高疏水多元掺杂类金刚石薄膜及其制备方法-CN201710703168.2有效
发明人：陈立;吴德生;朱得菊 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2017-08-16 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种高疏水多元掺杂类金刚石薄膜，包括：掺杂F和Si的DLC薄膜层。与现有技术相比，本发明提供的高疏水多元掺杂类金刚石薄膜膜层较薄，只有10nm左右，同时含有F和Si的元素掺杂，F的掺杂，在DLC薄膜表面形成低表面能的‑CF和‑CF2基团，降低DLC的表面能，可提高表面疏水性，Si元素与DLC以Si‑C键结合，提高SP3键含量，并减少DLC膜层中石墨岛的尺寸，减少膜层表面的粗糙度和动摩擦系数，通过F和Si的共掺杂，能够提高DLC的疏水性和降低动摩擦系数；使这种薄膜具有较好的水滴角和顺滑度，具有高疏水性和防指纹效果。本发明还提供了一种高疏水多元掺杂类金刚石薄膜的制备方法。
一种疏水多元掺杂金刚石薄膜及其制备方法

[发明专利]一种类金刚石复合薄膜及其制备方法-CN201710270329.3有效
发明人：陈立;吴德生;朱得菊 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2017-04-24 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本申请提供了一种类金刚石复合薄膜，包括SiN_x膜层和含氢DLC膜层；其中，0.5≤x≤1.3。本发明提供的类金刚石复合薄膜不仅具有良好的光学特性，同时还具有良好的硬度和耐磨性，能够适用于对光学和机械性能均有要求的器件。本发明还提供了一种类金刚石复合薄膜的制备方法，按照本发明的制备方法制得的类金刚石复合薄膜同时兼具良好的光学特性和高硬度耐磨等机械性能。
机械性能类金刚石复合薄膜金刚石复合薄膜光学特性制备耐磨性高硬度耐磨申请

[发明专利]一种金属钛掺杂类金刚石薄膜及其制备方法-CN201710463954.X有效
发明人： 朱得菊;吴德生;陈立 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2017-06-19 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种金属钛掺杂类金刚石薄膜的制备方法，包括：将掺钛石墨靶材在混合气体环境中进行磁控溅射，在衬底上沉积得到金属钛掺杂类金刚石薄膜；所述混合气体为氢气和氩气。本发明在制备金属钛掺杂类金刚石薄膜时，巧妙地引入了Ti元素，极大地提高了薄膜的耐磨性能，有效降低了类金刚石碳基薄膜生长过程中的内应力。因而，本发明制得的金属钛掺杂类金刚石薄膜具有较好的光学特性、硬度和耐磨性，能够适用于对光学和机械性能均有要求的器件，同时，还具有较好的疏水性。另外，本发明提供的制备方法在工业生产中操作方便，可以得到均匀稳定的产品。
一种金属掺杂金刚石薄膜及其制备方法

[发明专利]一种类金刚石薄膜复合玻璃盖板及其制备方法-CN201710966200.6有效
发明人：陈立;吴德生;朱得菊 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2017-10-17 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种类金刚石薄膜复合玻璃盖板，包括依次接触的玻璃基体、SiO₂层、第一含氢DLC层和第二含氢DLC层；所述第二含氢DLC层的含氢量高于所述第一含氢DLC的含氢量。本发明结合含氢类金刚石的特点，设计了一种新型双层的类金刚石膜层结构，通过将两层含氢量不同的DLC薄膜复合在一起，在保证高的光学透过率的条件下，提高膜层的硬度及耐摩擦性能，降低膜层的动摩擦系数。本发明还提供了一种高硬度耐磨玻璃盖板的制备方法，本发明通过磁控溅射的方法，在玻璃盖板基体表面依次镀膜，将各膜层紧密结合在一起，进一步提高产品的耐摩擦性能。
盖板含氢量膜层金刚石薄膜耐摩擦性能复合玻璃制备类金刚石膜层动摩擦系数光学透过率玻璃盖板玻璃基体磁控溅射基体表面类金刚石耐磨玻璃高硬度镀膜两层复合保证

[发明专利]一种类金刚石复合薄膜及其制备方法-CN201710270549.6有效
发明人：陈立;吴德生;朱得菊 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2017-04-24 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本申请提供了一种类金刚石复合薄膜及其制备方法。本申请提供的类金刚石复合薄膜包括依次接触的SiO_xN_y膜层和含氢DLC膜层；其中，0＜x≤2，0＜y≤1.3。本发明提供的类金刚石复合薄膜不仅具有良好的光学特性，同时还具有良好的硬度和耐磨性，能够适用于对光学和机械性能均有要求的器件。
种类金刚石复合薄膜及其制备方法

[实用新型]一种高耐磨防指纹结构-CN201721872922.7有效
发明人： 朱得菊;吴德生;陈立;吕鹏程 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： G02B1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高耐磨防指纹结构，包括表面防眩光处理的基板和依次沉积在所述基板的颜色膜层、超硬膜层和防指纹膜层。所述高耐磨防指纹膜，通过颜色膜层与防指纹膜层之间增加超硬膜层，由于超硬膜层具有耐磨的特性，在膜层的堆积过程中使得表面的粗糙度预缩下降，可以明显提高颜色膜的耐磨性。
超硬膜层防指纹膜高耐磨颜色膜层指纹结构基板本实用新型耐磨性粗糙度颜色膜膜层耐磨眩光沉积堆积

[发明专利]一种类金刚石碳基薄膜及其制备方法-CN201711432589.2在审
发明人： 朱得菊;吴德生;陈立 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种类金刚石碳基薄膜及其制备方法，其中，制备方法包括：步骤1，在预设的基板表面制备过渡层；步骤2，以石墨‑铜靶为溅射靶材，通入Ar/H₂，按照预设工艺参数在所述过渡层表面制备Cu‑DLC薄膜层。所述类金刚石碳基薄膜及其制备方法，通过将铜掺杂到DLC，由于铜本身不与C元素成键，以纳米晶颗粒的形式镶嵌于DLC膜层中，起到一种细晶强化作用，提高膜层的硬度；铜为非成键元素，膜层表面悬键数量降低，在一定程度上降低了表面能，提升水滴角大小，具有疏水性；铜本身具有很好的延展性，以纳米晶形式镶嵌在DLC层中，可在一定程度上降低DLC膜层的内应力，提高韧性，而且可以降低膜层的表面粗糙度，降低动摩擦系数。
制备基薄膜金刚石碳成键膜层预设镶嵌表面粗糙度动摩擦系数过渡层表面类金刚石碳纳米晶颗粒延展性基板表面溅射靶材膜层表面数量降低细晶强化石墨表面能过渡层纳米晶疏水性铜掺杂水滴铜靶悬键

[发明专利]一种盲孔的制作方法-CN201610094996.6有效
发明人： 朱得菊;吴德生 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2016-02-19 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明提供的一种盲孔的制作方法，该盲孔的制作方法包括：提供一基板，所述基板包括：相对设置的第一表面以及第二表面；在所述第一表面形成掩膜层；所述掩膜层包括：用于形成盲孔的镂空区域；对所述镂空区域进行蚀刻，形成盲孔；当蚀刻完成后，去除所述掩膜层。该盲孔的制作方法可以解决所述基板因机械外力造成损伤而导致强度不高的问题。
盲孔掩膜层蚀刻第一表面镂空区域制作基板第二表面机械外力相对设置基板因去除损伤

[实用新型]一种盖板及电子设备-CN201721621223.5有效
发明人：陈立;吴德生;朱得菊;吕鹏程;刘正兵 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： B32B9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种盖板，包括基板，还包括：形成在基板上的、含有碳元素并且为非晶质结构的碳素层；形成在碳素层之上的、用于增加调色层与碳素层之间结合力的第一过渡层；形成在第一过渡层之上的、用于调节呈现颜色以使盖板呈现出陶瓷色泽效果的调色层。本盖板通过调色层以及碳素层、过渡层共同作用调节盖板呈现颜色，能够使盖板呈现出陶瓷色泽效果。另外位于基板与调色层之间的碳素层，碳素层含有碳元素并且为非晶质结构，具有高硬度、高耐磨性和高弹性模量的特性，对调色层与基板之间应力能起到一定缓冲作用，因此与现有在玻璃基体直接形成颜色膜相比，可提高盖板的机械强度。本实用新型还公开一种包括上述盖板的电子设备。
盖板碳素层调色层基板过渡层本实用新型非晶质结构电子设备色泽效果碳元素陶瓷高弹性模量玻璃基体高耐磨性缓冲作用直接形成高硬度结合力颜色膜应力能

[发明专利]一种耐磨防指纹磨砂玻璃及其制备方法-CN201710977466.0在审
发明人：陈立;吴德生;朱得菊;吕鹏程 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2017-10-17 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： C03C17/34 文献下载
摘要：本发明提供一种耐磨防指纹磨砂玻璃，包括依次接触的磨砂玻璃基材、SiO2层、含氢DLC层和防指纹层。本发明在AG玻璃表面，通过膜层结构设计，首先制备高硬度、高耐磨性的DLC层，然后再在DLC层表面制备一层防指纹AF层。通过该复合膜层，提高磨砂玻璃的耐刮性、耐磨性和防指纹的特性。本发明还提供了一种耐磨防指纹磨砂玻璃的制备方法，本发明针对不同材质的膜层，采用不同的镀膜方法，同时调整镀膜参数，提高了产品的耐磨性。
一种耐磨指纹磨砂玻璃及其制备方法

[发明专利]一种真空镀膜掺杂靶材及其制作方法及真空镀膜方法-CN201710703588.0在审
发明人：陈立;吴德生;朱得菊 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2017-08-16 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空镀膜掺杂靶材及其制作方法及真空镀膜方法，该制作方法包括根据预设的靶材尺寸、掺杂元素的种类以及掺杂元素的掺杂含量，设计节块的形状；选择所需掺杂元素的板状材料，根据所述形状的尺寸对板状材料进行切割以及打磨，形成所需掺杂元素的节块；根据均匀分布的原则，在靶材绑定基板上按照预设的分布方式设置不同掺杂元素对应节块；将节块与靶材绑定基板进行绑定，形成真空镀膜掺杂靶材；所述靶材绑定基板上绑定有多个所述节块，所述节块在第一方向上依次堆叠设置，所述第一方向平行于所述绑定基板；对所述真空镀膜掺杂靶材进行质量检测。本发明技术方案可以方便快捷地根据掺杂元素的种类以及含量的不同进行掺杂靶材的制作。
一种真空镀膜掺杂及其制作方法方法

[发明专利]一种类金刚石碳基薄膜的制作方法-CN201611035397.3在审
发明人： 朱得菊;吴德生;卓少钟;陈立;覃祚峰;陈建才 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2016-11-15 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： C23C14/46 文献下载
摘要：本申请公开了一种类金刚石碳基薄膜的制作方法，包括：制作掺杂有预设元素的碳源部件；将所述碳源部件放入溅射腔体内；通入电离气体和氢气并密封，并调节所述电离气体和氢气的比例以及溅射功率和溅射速率；在基材的表面沉积掺杂有所述预设元素的类金刚石碳基薄膜。本申请提供的上述类金刚石碳基薄膜的制作方法，能够改善DLC薄膜在潮湿环境下的摩擦学性能和环境敏感性，将表面水滴角从70°提升至90°以上。
种类金刚石薄膜制作方法

[实用新型]一种触摸显示器及其盖板-CN201520984822.8有效
发明人：丁秒;吴德生;朱得菊;牛永宾;吴雨风 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2015-11-30 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种触摸屏盖板，该触摸屏盖板包括：基板；设置在所述基板表面的类金刚石膜层；设置在所述类金刚石膜层背离所述基板一侧的防指纹膜层；设置在所述类金刚石膜层与所述防指纹膜层之间的过渡膜层；其中，所述过渡膜层用于增强所述防指纹膜层与所述类金刚石膜层之间的附着力。所述触摸屏盖板解决了所述防指纹膜层使用寿命短的问题。
一种触摸显示器及其盖板

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