“晏小平”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果13个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种使用RIE设备刻蚀InP材料的方法及刻蚀InP材料-CN201710631297.5有效
发明人： 晏小平;秦金;王亮;王肇中 -专利权人：武汉光谷量子技术有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明公开了一种使用RIE设备刻蚀InP材料的方法及刻蚀InP材料，涉及半导体材料干法刻蚀领域，包括以下步骤：S1、在InP‑外延片上通过PECVD设备，生长一层SiO2薄膜；S2、通过光刻工艺，将掩膜版上的待蚀刻图形复制在光刻胶上；S3、将光刻后的样品光刻胶上的图形转移到SiO2阻挡层上；S4、通过湿法去胶，将光刻胶去除干净；S5、将待刻蚀的样品用KOH溶液清洗2～3分钟，清洗后冲水并干燥处理；S6、将样品载入RIE工艺腔体中进行刻蚀。本发明使用RIE设备刻蚀InP材料的方法通过对干法刻蚀工艺的改进，解决了反应离子刻蚀设备刻蚀InP过程中产生的聚合物副产物污染样品的问题。
一种使用 rie 设备刻蚀 inp 材料方法

[发明专利]旋转涂胶装置和方法-CN201710399778.8有效
发明人：卢士良;冉航;李义辉;晏小平;赵俊;陈珊珊 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-05-31 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种旋转涂胶装置和方法，旋转涂胶装置包括一自身可旋转的转轴和一固定在所述转轴端部的吸盘，吸盘下方设置有电磁感应装置，这样吸盘在旋转时若由于离心力导致吸盘上受力不均匀时，吸盘的盘面与水平面相交时，吸盘与下方电磁感应装置发生变化，则电磁感应装置的电磁力发生变化，对吸盘不同部分排斥力和吸引力也发生变化，从而对不平衡的离心力造成了力学补偿，维持了吸盘的平衡。本发明提供的旋转涂胶装置和方法，仅需设置电磁感应装置，无需人力对其进行操控，该装置和方法会自动调控排斥力和吸引力，因此具有使吸盘更加平稳、减少振动对设备损伤、提高旋涂光刻胶效果的同时且省时省力的优点。
旋转涂胶装置方法

[实用新型]一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管-CN201920643030.2有效
发明人：刘月;晏小平;王肇中 -专利权人：武汉光谷量子技术有限公司
申请日： 2019-05-07 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： H01L31/0232 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管，涉及光学元件制作领域，该装置包括管体、菲涅尔透镜和金属反射层，所述管体包括衬底层，所述衬底层上从下至上依次设有缓冲层、吸收层、过渡层、电荷层和无掺杂倍增层，所述无掺杂倍增层上设有光接收口；所述菲涅尔透镜贴设于所述衬底层的底部，所述菲涅尔透镜用于接收光信号并将所述光信号汇聚至所述光接收口上，所述金属反射层贴设于所述菲涅尔透镜远离所述衬底层的一面上，所述衬底层与菲涅尔透镜不接触的区域也设有所述金属反射层。本实用新型提供的一种具有反射镜结构的正面入射式雪崩二极管，能在光采用正面入射的方式时保证光接收面积，提高对光的利用率。
菲涅尔透镜衬底层金属反射层光接收入射本实用新型反射镜结构雪崩二极管倍增层管体贴设掺杂光信号汇聚光学元件不接触电荷层过渡层缓冲层接收光吸收层制作保证

[发明专利]一种时钟同步的方法、设备和系统-CN201510918940.3有效
发明人： 晏小平 -专利权人：深圳市中兴微电子技术有限公司
申请日： 2015-12-11 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： H04L7/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种时钟同步的方法、设备和系统，该方法包括：主设备将生成的第一时间值与获取的第一驻留时间封装至第一报文，并将所述第一报文发送至从设备；所述主设备接收由所述从设备发送的第二报文；其中，所述第二报文包括第三驻留时间；所述主设备在接收所述第二报文时，获取第四驻留时间和第四时间值；所述主设备将所述第四时间值、第四驻留时间以及所述第二报文中的第三驻留时间封装入第三报文，并将所述第三报文发送至从设备。
一种时钟同步方法设备系统

[发明专利]蓝宝石图形衬底以及制作蓝宝石图形衬底的掩膜版和方法-CN201610284240.8在审
发明人： 晏小平;李成立;顾威威;王武 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-04-29 - 公布日： 2017-11-10 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本发明提供的蓝宝石图形衬底以及制作蓝宝石图形衬底的掩膜版和制作方法，在衬底上周期性排列的结构图形的外部围设封闭性隔离墙，每相邻的两个结构图形之间共用一堵隔离墙，与现有技术中未设立围墙的蓝宝石图形衬底相比，本发明具有更多的反射面，用于提供外延生长的面积更大，有利于降低衬底晶体中的位错密度，使得更好地释放由于前道制作工艺而在晶体内部产生的适配应力，进而降低缺陷密度，提高LED芯片的发光效率。
蓝宝石图形衬底以及制作掩膜版方法

[实用新型]一种WIFI定位指纹采集装置-CN201620239706.8有效
发明人：方维岚;胡庭川;晏小平;陆正卿;焦春子;朱恺真;徐斌;杨建光 -专利权人：上海烟草集团有限责任公司;机械工业第六设计研究院有限公司
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种WIFI定位指纹采集装置，采用红外测距技术，高效、精确的确定定位点进行WIFI数据的采集，且优选在当前定位点的多个水平方向上进行WIFI数据的采集，可以避免WIFI信号不稳定以及环境干扰源多对WIFI定位指纹的准确性的影响，提高指纹获取的有效性和准确性，且本实用新型的采集装置通过实地的WIFI数据采集，可以获得更为真实的数据。
一种 wifi 定位指纹采集装置

[发明专利]一种WIFI定位指纹采集装置及方法-CN201610178611.4在审
发明人：方维岚;胡庭川;晏小平;陆正卿;焦春子;朱恺真;徐斌;李刚 -专利权人：上海烟草集团有限责任公司;机械工业第六设计研究院有限公司
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种WIFI定位指纹采集装置及方法，采用红外测距技术，高效、精确的确定定位点进行WIFI数据的采集，且优选在当前定位点的多个水平方向上进行WIFI数据的采集，可以避免WIFI信号不稳定以及环境干扰源多对WIFI定位指纹的准确性的影响，提高指纹获取的有效性和准确性，且本发明的采集装置通过实地的WIFI数据采集，可以获得更为真实的数据。
一种 wifi 定位指纹采集装置方法

[实用新型]用于解决烘丝机干湿超标的集成设备-CN201320772528.1有效
发明人：黄江喜;接道良;方维岚;晏小平;史狄;陆正卿;朱武军;黄威 -专利权人：上海烟草集团有限责任公司
申请日： 2013-11-28 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： B65G43/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于解决烘丝机干湿超标的集成设备，所述集成设备至少包括：机台、第一工位、第二工位，以及控制系统；所述机台具有滑动装置；所述第一工位和所述第二工位依次设在所述机台上；所述控制系统与所述烘丝机、所述滑动装置、所述第一工位，及所述第一工位均相连；所述控制系统根据所述烘丝机反馈的干湿超标信息，使得所述滑动装置驱动所述机台滑动，直至所述第二工位移至所述烘丝机的出料口；所述控制系统根据所述烘丝机反馈的干湿正常信息，使得所述滑动装置驱动所述机台滑动，直至所述第一工位移至所述烘丝机的出料口。本用于解决烘丝机干湿超标的集成设备具有机械化程度高，且能够保持环境清洁、避免发生漏物料的优点。
用于解决烘丝机干湿标的集成设备

[实用新型]穿梭车输送系统-CN201020673639.3有效
发明人：许华;钟艳妮;朱洪武;沈自知;高嵩;晏小平;谭曦 -专利权人：昆明船舶设备集团有限公司;上海烟草集团有限责任公司
申请日： 2010-12-21 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种穿梭车输送系统，包括一主穿梭车，主穿梭车位于输送轨道上，主穿梭车上设有行走机构，其还包括一维修站轨道，维修站轨道与输送轨道平行，输送轨道与维修站轨道之间设有维修车导轨，维修车导轨上设有维修小车，维修站轨道上设有一备用穿梭车。该穿梭车输送系统在使用过程中，当主穿梭车出现故障或需要进行日常维护时，可首先通过维修小车将主穿梭车移到维修站轨道上，然后将备用穿梭车从维修站轨道移至输送轨道上，主穿梭车在维修站轨道上进行维修或维护，而使用备用穿梭车在输送轨道上继续输送物料，这样就可以保证整个物流系统持续正常的工作，避免企业生产受到影响。
穿梭输送系统

[发明专利]成品件烟多工位机器人码垛工艺-CN201010612948.4无效
发明人：朱洪武;黎建强;晏小平 -专利权人：上海烟草集团有限责任公司;昆明船舶设备集团有限公司
申请日： 2010-12-29 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种成品件烟多工位机器人码垛工艺，包括件烟输送，所述件烟输送为经剔除的件烟从输送通道起点开始运送；翻包，所述输送通道上设翻包机构，处于平躺状态的件烟经过该机构后被翻转成直立状态；码垛，输送通道终点连接码垛工位，件烟到达码垛工位后，机器人进行码垛；托盘输送，码垛完成后，件烟进入托盘，托盘再运至仓库，其中，在翻包和码垛之间，所述输送通道上还设有缓存位置，件烟通过该位置时保持直立状态，直至进入码垛工位。在本发明中，由于输送通道上有缓存位置，件烟在经过缓存位置时保持着直立的状态，件烟直立状态可减小件烟之间间隙，这样能以最大数量的件烟进入到码垛工位，而且在装箱设备或卷包机组出现故障时，由于缓存位置上件烟数量大，可以在一定时间内保证码垛不中断。
成品件烟多工位机器人码垛工艺

[实用新型]带称重传感器的烟用料罐-CN200920210251.7有效
发明人：方维岚;章习;丁咚;晏小平;黄江喜;徐加贵 -专利权人：上海烟草(集团)公司;宝应仁恒实业有限公司
申请日： 2009-09-27 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： B65D88/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带称重传感器的烟用料罐，包括罐体(1)、罐腿(8)和称重传感器(5)，其特征在于：所述罐体(1)与所述罐腿(8)之间设置所述称重传感器(5)，所述罐体(1)的重力通过所述称重传感器(5)传递给所述罐腿(8)。本实用新型将称重传感器设置在罐体与罐腿的连接处，提高了物料计量的精度，减少了零漂发生的可能，降低了热变形和搅拌震动等不利因素的影响，改善了车间的卫生环境。
称重传感器用料

[发明专利]自动加香供料系统-CN200910196601.3有效
发明人： 晏小平;方维岚;谭衍冬;周铭;江华;徐加贵 -专利权人：上海烟草（集团）公司;宝应仁恒实业有限公司
申请日： 2009-09-27 - 公布日： 2010-03-17 - 主分类号： A24B3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动加香供料系统，其包括自动加香装置和喷嘴回料管路，其特征在于，还包括香料自动供给装置和管路自动对接装置，所述香料自动供给装置与喷嘴回料管路通过管路自动对接装置相对接；所述自动加香装置与香料自动供给装置通过快速接头相连接。本发明在现场加香系统中的使用，最大限度地节省了换牌时间，减少了香料在管路中的粘附，同时降低了工人的劳动强度，改善了车间的卫生环境。
自动供料系统

[发明专利]一种烘丝过程控制方法-CN200710173562.6有效
发明人： 晏小平 -专利权人：上海烟草（集团）公司
申请日： 2007-12-28 - 公布日： 2008-09-03 - 主分类号： A24B3/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种烘丝过程控制方法，其特征在于：整个烘丝过程控制分为头部、中部、尾部三个阶段：头部阶段采用自适应学习升温控制方式，由控制系统根据前一次水分控制的效果自动调整下一次升温的温度，并在该阶段采用低筒体转速；中部阶段将出口水分参数引入到控制系统，采用预测PID控制进行反馈校正以实现对烘丝筒筒壁温度的自动控制；尾部阶段采取提前降低烘丝筒温度，提前关闭筒壁蒸汽加热器及循环热风加热器，提高进风风速，降低拔风风速、加快筒体转速。本发明的优点在于：克服了原烘丝工序控制过程中非线性和大滞后对烘丝出口水分的影响，具有抗干扰能力强、能适应各种工况的变化，使烘丝出口水分控制达到较高的控制精度。
一种过程控制方法

1
共 13 条