专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]集成芯片工艺工具-CN201610908974.9在审
  • 李建法;刘旭水;白峻荣;忻斌一;郭守文;林成芝 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2016-10-19 - 2018-01-05 - H01L21/67
  • 一种集成芯片工艺工具及相关方法。集成芯片工艺工具具有管芯交换器,用以自动地转移多个集成芯片管芯于管芯托盘与管芯晶舟之间。所述集成芯片工艺工具具有管芯交换器,用以接收包括多个集成芯片管芯的管芯托盘。管芯交换器用以自动地转移多个集成芯片管芯于管芯托盘与管芯晶舟之间。集成芯片管芯工艺工具用以从管芯交换器接收管芯晶舟,且用以对管芯晶舟内的多个集成芯片管芯进行工艺步骤。藉由操作管芯交换器以自动地转移集成芯片管芯于管芯托盘与管芯晶舟之间,可减少转移时间且可减轻有关于人工转移集成芯片管芯的污染及/或损坏风险。
  • 集成芯片工艺工具

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