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[实用新型]板式加热器以及加热腔-CN202320969400.8有效
发明人： 徐升东;徐和平 -专利权人：理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供板式加热器以及加热腔。所述板式加热器包括支架、依次安装在所述支架上的加热件以及辐射板，所述辐射板用于将所述加热件产生的热量辐射出去，所述辐射板包括多个辐射单元，任意两个相邻辐射单元彼此重叠，相邻辐射单元的相邻侧面在重叠区域中具有预定间隙。本实用新型能提高对载板中的硅片加热的均匀性，并能提高工艺的均匀性以及太阳能电池的转换效率。
板式加热器以及加热

[实用新型]磁控溅射阳极以及磁控溅射设备-CN202320875203.X有效
发明人： 徐升东 -专利权人：理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供磁控溅射阳极以及磁控溅射设备。所述磁控溅射阳极与布气组件以及旋转阴极一并布置在磁控溅射设备的溅射腔中，所述磁控溅射阳极设置在所述溅射腔的盖板或底板与所述旋转阴极之间，并且构造成包覆所述旋转阴极并将其旋转轴及面向基片的溅射端露出的U形罩，所述U形罩底部开设有适于所述布气组件穿设的通槽，所述U形罩接收及限制所述布气组件提供的气体并且收集所述旋转阴极表面的靶材在溅射过程中产生的电子。本实用新型能提高磁控溅射阳极捕获电子的能力，减少电子逃逸以及电子达到基片上的概率，提高溅射稳定性。
磁控溅射阳极以及设备

[发明专利]磁控溅射阳极以及磁控溅射设备-CN202310417378.0在审
发明人： 徐升东 -专利权人：理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供磁控溅射阳极以及磁控溅射设备。所述磁控溅射阳极与布气组件以及旋转阴极一并布置在磁控溅射设备的溅射腔中，所述磁控溅射阳极设置在所述溅射腔的盖板或底板与所述旋转阴极之间，并且构造成包覆所述旋转阴极并将其旋转轴及面向基片的溅射端露出的U形罩，所述U形罩底部开设有适于所述布气组件穿设的通槽，所述U形罩接收及限制所述布气组件提供的气体并且收集所述旋转阴极表面的靶材在溅射过程中产生的电子。本发明能提高磁控溅射阳极捕获电子的能力，减少电子逃逸以及电子达到基片上的概率，提高溅射稳定性。
磁控溅射阳极以及设备

[实用新型]一种加热腔-CN202222187581.7有效
发明人： 徐升东;徐和平 -专利权人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型提供一种加热腔。所述加热腔包括腔体以及设置在腔体外的腔盖上用于对腔体进行抽真空的真空泵，所述腔体中从上至下依次设置有上安装板、上加热器、载板载送模块、下加热器以及下安装板，所述上加热器上以及所述上安装板上均开设有多个通孔。本实用新型能提高真空泵对加热腔的抽气流导，增加真空泵的有效抽速，减少抽高真空时间，保证工艺节拍，并且能减少腔盖与上加热器之间的间距，使腔体结构紧凑。
一种加热

[实用新型]一种加热腔-CN202222202249.3有效
发明人： 徐升东;徐和平 -专利权人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本实用新型提供一种加热腔。所述加热腔包括其中从上至下依次设置有上安装板、上加热器、载板载送模块、下加热器以及下安装板的腔体，上安装板、下安装板分别与上加热器、下加热器固定连接，上安装板通过从其穿过的多个上安装杆固定在腔体顶板上，下安装板通过从其穿过的多个下安装杆固定在腔体底板上，上安装杆的第一安装段穿过多个第一垫圈及上安装板，下安装杆的第二安装段穿过多个第二垫圈及下安装板，上加热器与下加热器之间间距随着设置在上安装板内外两侧的第一垫圈数量以及下安装板内外两侧的第二垫圈数量的变化而变化。本实用新型能通过调节加热器安装高度，调节加热器与硅片间距，能容纳不同厚度的硅片载板以及适量的载板变形。
一种加热

[实用新型]一种加热腔-CN202222187645.3有效
发明人： 徐升东;徐和平 -专利权人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本实用新型提供一种加热腔。所述加热腔包括腔体以及从上至下依次设置在腔体中的上加热器、载板载送模块、下加热器以及冷阱，所述下加热器以及冷阱之间还依次设置有反射板以及水冷挡板。本实用新型能保障冷阱正常工作，既减少加热器辐射到冷阱的热量，又保障冷阱与气体的接触吸附面积，提高冷阱的吸附效率。
一种加热

[实用新型]托盘载送防打滑结构以及机械手臂-CN202222661059.8有效
发明人：杨飞云;李朋;徐升东 -专利权人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型提供托盘载送防打滑结构以及机械手臂。所述托盘载送防打滑结构包括支撑件，所述支撑件的支撑面上具有滚花防滑图案。所述机械手臂用于载送托盘，所述机械手臂的载送面上设置有支撑件，所述支撑件的支撑面上具有滚花防滑图案。本实用新型能增强机械手臂载送托盘时的摩擦力。
托盘载送防打滑结构以及机械手臂

[实用新型]用于进出料腔室的抽气结构-CN202123048759.1有效
发明人：刘彦斌;徐升东 -专利权人：理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型提供用于进出料腔室的抽气结构。所述抽气结构包括在进出料腔室入口侧相连通的第一缓冲室以及第一组连接管、在出口侧相连通的第二缓冲室以及第二组连接管、以及对包括第一子腔、第二子腔以及排气腔的进出料腔室进行抽气的抽气泵，第一缓冲室在其靠近第一子腔的第一侧壁上设置有将两者连通的第一组通孔，第二缓冲室在其靠近第一子腔的第二侧壁上设置有将两者连通的第二组通孔，第一组连接管穿过排气腔的第三侧壁与之连通，第二组连接管穿过排气腔的第四侧壁与之连通，第二子腔以及排气腔之间的第一隔板在靠近排气腔的第三、第四侧壁的两端上分别设置有连通两者的第三以及第四组通孔。本实用新型能提高抽气效率、生产节拍及效率。
用于进出料腔室结构

[实用新型]载板传送结构以及PVD设备-CN202123049540.3有效
发明人：刘彦斌;徐升东 -专利权人：理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型提供载板传送结构以及PVD设备。所述载板传送结构包括用于传送载板的传送滚轮组，所述载板包括承载本体、分别设置在所述承载本体的底部两侧且用于与所述传送滚轮组相接触的第一凸块以及第二凸块，所述载板传送结构还包括与所述传送滚轮组并排间隔设置的导向轮组，所述导向轮组的转轴沿竖直方向并与所述传送滚轮组的转轴垂直，所述导向轮组的高度低于所述传送滚轮组、直径大于所述传送滚轮组的宽度，并且以距其两侧第一预设距离的方式设置在所述第一凸块底部的导轨内，所述导向轮组在载板即将偏离预定路径时通过推动所述导轨而使所述载板回归所述预定路径。本实用新型能快速、平稳以及安全地传送载板。
传送结构以及 pvd 设备

[发明专利]一种用于PECVD反应腔的复合载板-CN201810896948.8有效
发明人：吴科俊;陈金元;徐升东;王燕玲 -专利权人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司;理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于PECVD反应腔的复合载板，所述PECVD反应腔用于制备硅基异质结太阳能电池，所述载板表面开槽用以承载硅片，所述载板包括基底和包覆在所述基底表面的涂层，所述基底材料为含碳或者其同组内元素，所述涂层为金属材料且厚度为微米量级，所述涂层材料的膨胀系数大于等于所述基底材料的膨胀系数，该复合载板有助于硅片在PECVD反应腔中获得更纯净的环境，消除硅片上的载板加工刀痕印记，提高电池的转换效率。
一种用于 pecvd 反应复合

[实用新型]用于进出料腔室的充气结构-CN202123048760.4有效
发明人：刘彦斌;徐升东 -专利权人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型提供用于进出料腔室的充气结构。所述充气结构包括第一、第二充气管路，所述进出料腔室包括从上到下依次层叠的第一缓冲腔、第一子腔、第二子腔以及第二缓冲腔，第一子腔与第二子腔由位于两者之间的承载硅片的托盘隔离形成，第一、第二充气管路分别对第一、第二缓冲腔进行充气，所述第一充气管路上设置有并联的第一快充支路以及第一慢充支路，所述第二充气管路上设置有并联的第二快充支路以及第二慢充支路，第一、第二慢充支路在对进出料腔室充气时持续开通，第一、第二快充支路在进出料腔室压力高于预定开通压力时开始开通。本实用新型能提高充气效率、生产节拍及效率，降低充气对硅片的不良影响，降低设备成本。
用于进出料腔室充气结构

[实用新型]用于制造异质结太阳能电池的PECVD设备及成套PECVD设备-CN201921623534.4有效
发明人：杨飞云;徐升东;胡宏逵;陈金元;李朋 -专利权人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型提供用于制造异质结太阳能电池的PECVD设备及成套PECVD设备。所述PECVD设备包括依次连接的加载腔、第一反应腔、第一传输腔、第二反应腔和卸载腔，所述PECVD设备还包括：预热腔，其设置在所述加载腔与第一反应腔之间，用于在将异质结太阳能电池对应的硅片送入第一反应腔之前将所述硅片预热到预设温度，以便减少在所述第一反应腔中的停留时间；以及第二传输腔，其设置在预热腔和第一反应腔之间，用于将经所述预热腔预热的硅片传输至所述第一反应腔。本实用新型的PECVD设备可避免在第一反应腔耗费过长的时间进行预热，可有效提高镀膜速度和效率，并可有效提高PECVD设备的产能。
用于制造异质结太阳能电池 pecvd 设备成套

[发明专利]一种半发酵桑茶的制备工艺-CN202010353443.4在审
发明人：曲都;龚大刚;杜鸿;徐升东;李刚 -专利权人：四川省阆中蚕种场
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： A23F3/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种半发酵桑茶的制备工艺，属于茶叶制备工艺技术领域，以解决桑茶制备过程中杀青温度高，对DNJ、GABA这两种成分损耗很大，降低了桑茶保健功能的问题，包括如下步骤：(1)选桑品种，分别在春季和秋季采集嫩桑叶；(2)清洗嫩桑叶表面污质；(3)剔除老桑叶、虫叶、病叶和杂质；(4)将挑拣干净的嫩桑叶摊在平板上，23℃以下保持6‑10小时；(5)烘焙10‑20分钟，冷却；(6)用揉捻机揉捻；(7)发酵；(8)发酵后烘焙；(9)采用快速蒸软桑茶后，迅速压成园型桑饼，即得半发酵桑茶。整个制备工艺中温度不超过100℃，生产的桑茶DNJ最大限度保留，GABA含量会增加，制备的桑茶保健效果最好。
一种发酵制备工艺

[发明专利]一种载板的清洗方法-CN201910083499.X在审
发明人：吴科俊;陈金元;徐升东;王燕玲 -专利权人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司;理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种载板的清洗方法，用于制备硅基异质结太阳能电池的PECVD反应腔内，所述载板为表面开槽的实心载板，该清洗方法包括以下步骤：第一步，将一掩模板放置于空载的所述载板的槽体内；第二步，将所述载板及掩模板传入所述PECVD反应腔内，并进行NF3清洗；第三步，在清洗后的所述PECVD反应腔内进行工艺预镀膜；第四步，将所述载板从所述PECVD反应腔内传出并取下所述掩模板；第五步，将硅片放置于所述载板槽体内并传入PECVD反应腔内，进行后续工艺镀膜，该方法有助于减少载板损伤，保证工艺稳定性。
一种清洗方法

[实用新型]用于动力传输的钢带轮及钢带轮组-CN201921775464.4有效
发明人：李朋;刘彦斌;胡广迎;徐升东;杨飞云 -专利权人：理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
申请日： 2019-10-17 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： F16H55/44 文献下载
摘要：本实用新型提供用于动力传输的钢带轮及钢带轮组。所述钢带轮包括轮体和设置在所述轮体两端并从所述轮体向外延伸的第一阻挡件和第二阻挡件，所述轮体包括与所述第一阻挡件和第二阻挡件分别相邻的第一端块、第二端块和设置在所述第一端块和第二端块之间的中部区块，所述第一端块和第二端块的直径小于所述中部区块的直径，在钢带张紧在所述钢带轮上时，所述钢带与所述第一端块和第二端块间隔开。本实用新型能使钢带轮上的钢带保持在钢带轮中心运转，而不会向两端发生偏移，从而有效提高钢带、钢带轮和钢带轮组的使用寿命。
用于动力传输钢带轮钢带轮组

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