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[发明专利]沉积掩模和使用该沉积掩模的沉积设备-CN201810233793.X有效
发明人： 张锡洛;朴铉淑;金钟宪 -专利权人：乐金显示有限公司
申请日： 2018-03-21 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：沉积掩模和使用该沉积掩模的沉积设备。一种沉积掩模可以包括：基底构件，该基底构件包括第一表面和第二表面，该第一表面和第二表面被划分成第一区域、第二区域和第三区域；第一开口，该第一开口在所述第一区域中；第二开口，该第二开口在所述第二区域中；以及第三开口，该第三开口在所述第三区域中，其中，所述第一开口、所述第二开口和所述第三开口中的每一个具有沙漏形状的横截面，其中，所述第一开口的沙漏形状和所述第三开口的沙漏形状相对于所述基底构件的所述第二表面背离所述第二开口倾斜。以这种方式，能够使沉积处理期间的阴影效应最小化并且能够改善沉积均匀性。
沉积使用设备

[发明专利]有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法-CN201210228413.6有效
发明人： 张锡洛;南命佑;康熙哲;金钟宪;洪钟元;蒋允豪 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2012-07-02 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种有机层沉积设备、一种有机发光显示装置和一种利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法。所述有机层沉积设备包括静电吸盘，固定地支撑作为沉积目标的基板；沉积单元，包括保持一定真空的室以及有机层沉积组件，有机层沉积组件用来在由静电吸盘固定地支撑的基板上沉积有机层；第一输送器单元，用来将固定地支撑基板的静电吸盘移动到沉积单元中，其中，第一输送器单元穿过室的内部，第一输送器单元包括引导单元，引导单元具有接纳构件，用来使静电吸盘可沿着一定的方向移动。
有机沉积设备发光显示装置及其制造方法

[发明专利]有机层沉积设备和利用其制造有机发光显示设备的方法-CN201210520107.X在审
发明人：康熙哲;金钟宪;蒋允豪;张锡洛;卢喆来 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2012-12-06 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：公开了一种有机层沉积设备和一种利用该有机层沉积设备制造有机发光显示设备的方法。有机层沉积设备包括：运输器，包括安装有用来形成有机层的基板的吸盘；扫描单元，包括用来排放沉积原料的沉积单元和具有多个图案化缝隙的图案化缝隙片，图案化缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上比基板小；室，容纳运输器和扫描单元，扫描单元被布置成与基板隔开并且能够相对于运输器移动。
有机沉积设备利用制造发光显示方法

[实用新型]有机层沉积设备和有机发光显示装置-CN201220319909.X有效
发明人： 张锡洛;南命佑;康熙哲;金钟宪;洪钟元;蒋允豪 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2012-07-02 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种有机层沉积设备和一种有机发光显示装置。所述有机层沉积设备包括：静电吸盘，固定地支撑作为沉积目标的基板；沉积单元，包括保持一定真空的室以及有机层沉积组件，有机层沉积组件用来在由静电吸盘固定地支撑的基板上沉积有机层；第一输送器单元，用来将固定地支撑基板的静电吸盘移动到沉积单元中，其中，第一输送器单元穿过室的内部，第一输送器单元包括引导单元，引导单元具有接纳构件，用来使静电吸盘可沿着一定的方向移动。根据本实用新型的有机层沉积设备可以容易地制造，可以应用于以简单的方式大规模地制造大型显示装置，并且提高了制造产率和沉积效率。
有机沉积设备发光显示装置

[发明专利]用于沉积装置的罐及使用罐的沉积装置-CN201110006623.6无效
发明人：郑珉在;李基龙;洪钟元;罗兴烈;姜有珍;张锡洛;徐晋旭;梁泰勋;郑胤谟;苏炳洙;朴炳建;李东炫;李吉远;白原奉;朴钟力;崔宝京;伊凡·马伊达楚克;郑在琓 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2011-01-10 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：一种用于沉积装置的罐和使用罐的沉积装置，并且更为具体地，一种能够提供包含在供应到沉积室中的反应气体中的均匀量的原材料并且提高原材料供应的安全性的沉积装置的罐，以及使用罐的沉积装置。该沉积装置包括：沉积室；将反应气体供应到该沉积室的罐；以及用于将载气供应到罐的载气供应器，其中该罐包括主体、加热该主体的加热单元以及布置在该主体下方的温度测量单元。
用于沉积装置使用

[发明专利]薄膜沉积装置-CN201110064882.4有效
发明人：洪钟元;张锡洛;曹昌睦;崔永默;柳在光 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2011-03-11 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种薄膜沉积装置，薄膜沉积装置包括薄膜沉积组件，薄膜沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置并与沉积源喷嘴单元分隔开；位置检测构件，检测基底相对于图案化缝隙片的相对位置；对准控制构件，通过利用位置检测构件检测的基底的所述相对位置来控制图案化缝隙片相对于基底的相对位置；其中，薄膜沉积组件和基底相互分隔开，并且薄膜沉积组件和基底被设置成可彼此相对移动。
薄膜沉积装置

[发明专利]薄膜晶体管、其制造方法和有机发光二极管显示器装置-CN201010287308.0有效
发明人：孙榕德;李基龙;崔埈厚;郑珉在;朴承圭;李吉远;郑在琓;李东炫;苏炳洙;具贤祐;伊凡·马伊达楚克;洪钟元;罗兴烈;张锡洛 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-09-16 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜晶体管、其制造方法和具有该薄膜晶体管的有机发光二极管显示器装置。所述薄膜晶体管包括：基板；缓冲层，位于所述基板上；半导体层，包括在所述缓冲层上的源/漏区和沟道区；栅绝缘层，对应于所述沟道区；栅极，对应于所述沟道区；和源/漏极，与所述半导体层电连接。所述沟道区的多晶硅层可仅包括小角度晶界，且大角度晶界可布置在所述半导体层的除所述沟道区外的区域中。
薄膜晶体管制造方法有机发光二极管显示器装置

[发明专利]加热单元和具有加热单元的基板处理装置-CN201010285202.7有效
发明人：洪钟元;郑珉在;罗兴烈;姜有珍;张锡洛 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-09-15 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明涉及加热单元和具有加热单元的基板处理装置。该基板处理装置包括加热单元，该加热单元对处理多个基板的处理室进行加热，并且在所述处理之后快速冷却所述处理室。所述加热单元包括：具有进气口和排气口的主体；位于所述主体内部的一个或多个加热器；连接至所述主体的进气口的冷却器；连接至所述主体的排气口的排气泵；以及控制所述冷却器的控制器。所述基板处理装置包括：船形体，多个基板被堆叠在该船形体中；提供处理所述基板的空间的处理室；将所述船形体送入或送出所述处理室的传送单元；以及位于所述处理室外部的所述加热单元。
加热单元具有处理装置

[发明专利]用于沉积装置的罐以及利用该罐的沉积装置和方法-CN201010224415.9有效
发明人：罗兴烈;李基龙;徐晋旭;郑珉在;洪钟元;姜有珍;张锡洛;梁泰勋;郑胤谟;苏炳洙;朴炳建;伊凡·马伊达楚克;李东炫;李吉远;白原奉;朴钟力;崔宝京;郑在琓 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-07-07 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种用于沉积装置的罐和一种利用该罐的沉积装置和方法，所述罐在原料通过原子层沉积被沉积在基板上时能够保持包含在供应到沉积室的反应气体中的原料的预定量，该罐包括：主体、被配置为存储原料的原料存储器、设置在所述主体的外侧的加热器以及被配置为控制所述原料从所述原料存储器供应到所述主体的第一供给控制器。
用于沉积装置以及利用方法

[发明专利]基板处理设备-CN201010128599.9有效
发明人：罗兴烈;李基龙;徐晋旭;郑珉在;洪钟元;姜有珍;张锡洛;郑胤谟;梁泰勋;苏炳洙;朴炳建;李东炫;李吉远;朴钟力;崔宝京;伊凡·迈丹丘克;白原奉;郑在琓 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-03-03 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明公开一种基板处理设备，其通过均匀地加热基板，在多个基板上形成薄膜和热处理基板。该基板处理设备包括处理室、其中堆叠基板的船形器皿、位于处理室外部的外部加热器、将船形器皿移进和移出处理室的输送器、位于输送器下方的下部加热器、和位于船形器皿中间的中间加热器。
处理设备

[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法和有机发光二极管显示器装置-CN201010124380.1有效
发明人：朴炳建;梁泰勋;徐晋旭;李基龙;马克西姆·利萨琴科;崔宝京;李大宇;李吉远;李东炫;朴钟力;安志洙;金永大;罗兴烈;郑珉在;郑胤谟;洪钟元;姜有珍;张锡洛;郑在琓;尹祥渊 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-02-26 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜晶体管(TFT)和有机发光二极管(OLED)显示器装置。所述TFT和OLED显示器装置包括基板；缓冲层，所述缓冲层位于所述基板上；半导体层，所述半导体层位于所述缓冲层上；栅电极，所述栅电极与所述半导体层绝缘；栅绝缘层，所述栅绝缘层将所述半导体层与所述栅电极绝缘；以及源电极和漏电极，所述源电极和漏电极与所述栅电极绝缘，且部分连接所述半导体层，其中所述半导体层由金属催化剂结晶化的多晶硅层形成，且所述金属催化剂通过使用蚀刻剂吸杂来去除。此外，OLED显示器装置包括绝缘层，所述绝缘层位于所述基板的整个表面上；第一电极，所述第一电极位于所述绝缘层上，且电连接所述源电极和漏电极其中之一；有机层；和第二电极。
薄膜晶体管及其制造方法有机发光二极管显示器装置

[发明专利]燃料电池系统-CN200810086758.6有效
发明人：安圣镇;殷莹赞;张锡洛;卢佶兑 -专利权人：三星SDI株式会社
申请日： 2008-03-20 - 公布日： 2008-09-24 - 主分类号： H01M8/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种燃料电池系统，该燃料电池系统包括扁平式电池组，在该电池组中，在平面上布置进行发电反应的多个单体电池，该燃料电池系统对从外部提供的燃料进行预热，用于减少提供给各单体电池的燃料的温度差异，从而减小了各单体电池的输出特性方面的差异，因此提高了该燃料电池系统的发电效率。
燃料电池系统

[发明专利]光学基甲醇传感器的流动装置-CN200710002130.9无效
发明人：姜尚均;孙东岐;赵雄浩;崔相铉;张锡洛 -专利权人：三星SDI株式会社
申请日： 2007-01-04 - 公布日： 2007-11-21 - 主分类号： G01N21/05 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学基甲醇传感器的流动装置。该流动装置包括：内箱体，其环绕该光学基甲醇传感器；外箱体，其环绕该内箱体；流道，在内箱体中，形成在该光学基甲醇传感器的全反射面上，燃料进口，其通过内箱体和外箱体形成，且给流道供给液体燃料；和燃料出口，其通过内箱体和外箱体形成，且排放已流过流道的液体燃料到外箱体外部。
光学甲醇传感器流动装置

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