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[外观设计]碳纤维载板（超薄）-CN202230660632.6有效
发明人： 庄正军;上官泉元 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： 13-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：碳纤维载板（超薄）。2.本外观设计产品的用途：承载硅片。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
碳纤维超薄

[发明专利]一种硅片载板输送支撑装置及其工作方法-CN202310728160.7有效
发明人：贾广春;庄正军;邹开峰;上官泉元 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及输送运输技术领域，具体涉及一种硅片载板输送支撑装置及其工作方法。本发明提供了一种硅片载板输送支撑装置，包括：工作台、输送部、盖板、承载部和若干支撑调节件，盖板一端铰接在工作台的一侧；工作台适于对硅片进行镀膜工作；输送部可转动的设置在工作台的两侧，输送部适于驱动承载部水平移动；承载部呈框架结构，承载部适于承载硅片；若干支撑调节件环承载部周向设置，支撑调节件适于调节硅片和承载部的框架之间的间距。在运输承载部时防止硅片发生晃动；而在对硅片进行镀膜时，调节板向上移动与硅片相抵，能够避免绕镀现象；提高了工作效率。
一种硅片输送支撑装置及其工作方法

[发明专利]一种硅片板输送清洗设备及工作方法-CN202310707248.0有效
发明人：贾广春;庄正军;邹开峰;上官泉元 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及输送清洗技术领域，具体涉及一种硅片板输送清洗设备及工作方法。本发明提供了一种硅片板输送清洗设备，包括：清洗部、干燥部和若干调整输送件，干燥部固定在清洗部的一侧，干燥部适于干燥清洗后的硅片板；清洗部的两侧分别开设有两工件槽，硅片板一端插入工件槽内后，清洗部的活动端周向转动，以驱动硅片板在清洗部内水平往复移动；若干调整输送件可转动的等间距设置在清洗部内，且调整输送件与清洗部的活动端联动；其中，调整输送件顺时针转动时，适于顶推位于调整输送件上方的硅片板，使其向上翘起；调整输送件逆时针转动时，调整输送件的活动端向内收缩，以挤压调整输送件内的洗涤液喷射向调整输送件外壁。
一种硅片输送清洗设备工作方法

[实用新型]一种太阳能电池片印刷银浆后自动烘干系统-CN202320218839.7有效
发明人：上官泉元;邹开峰;庄正军;徐冬冬 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B41F23/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种太阳能电池片印刷银浆后自动烘干系统，涉及电池片烘干技术领域，包括：花篮；烘箱，对硅片进行真空烘干；上料输送线和下料输送线，分别用于输送硅片；上料机械手和下料机械手；所述烘箱上开设有便于所述花篮进出的开口并连接有封闭所述开口的盖板；所述烘箱内壁还布置若干红外光灯管；当所述花篮置于所述烘箱内，所述花篮相对所述烘箱内壁的距离为相邻两个红外灯管之间距离的两倍，各个硅片多层间隔均匀地堆叠于所述花篮上，通过所述红外光灯管对各个硅片进行真空烘干，解决现有硅片通过链式传输烘干时间较长且效率较低的问题。
一种太阳能电池印刷银浆后自动烘干系统

[发明专利]一种太阳能电池片槽式工艺装置及喷淋清洗方法-CN202011491049.3有效
发明人：上官泉元;黄立根;庄正军 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池片槽式工艺装置及喷淋清洗方法，包括按照工艺顺序排列的多个化学槽，以及设置在所述化学槽上方用于花篮提拉的提升臂，对应所述化学槽还设置有至少一根喷淋管，所述喷淋管上至少开设有一排对应花篮的喷水孔，以用于在所述提升臂提起所述花篮的同时对花篮内的硅片用纯水进行喷淋清洗。本发明在化学槽内经过清洗的硅片随花篮被提起时，打开上述的喷淋管形成喷淋区，花篮在由下往上被提起时经过该喷淋区，喷淋管喷淋出的纯水对花篮及硅片的各个位置进行清洗，以达到更加全面的清洗效果，喷淋后花篮及硅片表面上的化学残液浓度可以降低90％左右，减少了下一步清洗后废水排放或需处理的化学药液浓度。
一种太阳能电池片槽式工艺装置喷淋清洗方法

[实用新型]一种太阳能电池片真空镀膜载板-CN202222635709.1有效
发明人：范恒灵;庄正军;上官泉元 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池片真空镀膜载板，包括载板本体；载板本体的上侧面矩阵设置有用于硅片承载的定位槽；载板本体上还设置有加强筋组件；加强筋组件包括对称安装于载板本体两侧端的连接杆，以及安装于载板本体上的加强筋本体；加强筋本体的两端分别与载板本体两侧端的连接杆连接。本实用新型的载板上的加强筋组件的设计解决了大面积载板平面度以及结构强度的问题，保证了载板的稳定性和刚性，由此避免使用时变形的发生对硅片自动化上下料精度以及镀膜均匀性等关键参数产生的不良影响。
一种太阳能电池真空镀膜

[实用新型]一种用于真空镀膜承载硅片的载板-CN202222631687.1有效
发明人： 庄正军;范恒灵;上官泉元 -专利权人：江苏杰太光电技术有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术，具体涉及一种用于真空镀膜承载硅片的载板。本实用新型涉及一种用于真空镀膜承载硅片的载板，所述拼接板的至少一侧设置有若干锯齿；相邻两锯齿之间设置有一齿槽，所述齿槽与所述锯齿相适配，其中相邻两拼接板拼接时，所述加强筋覆盖在拼接处用于固定连接相啮合的两锯齿条。本实用新型结构解决了碳纤维材料原料由于制造技术限制宽度不够，无法满足真空镀膜载板宽度要求的问题。通过本实用新型技术拼接，简化了生产加工，降低了生产成本，同时加强筋和锯齿条的设置不仅增加了两拼接拼接板的稳定性，还保证了拼接板的整体刚性。
一种用于真空镀膜承载硅片

[实用新型]一种真空密封传动机构-CN202222632394.5有效
发明人： 庄正军;上官泉元 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： F16J15/3284 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术，具体涉及一种真空密封传动机构。本实用新型涉及一种真空密封传动机构，包括转轴、密封套筒、两轴承和两橡胶密封圈,两所述轴承套定在所述转轴的两端，两所述橡胶密封圈分别套设在所述转轴的两端，且一个所述轴承对应设置在一个所述橡胶密封圈的一侧；所述密封套筒套定在两所述轴承和两所述橡胶密封圈的外壁。其中，所述转轴通过所述密封套筒以隔断非真空区域与真空腔体；所述转轴适于相对于所述密封套筒周向转动。通过设置在密封套筒内部的两个橡胶密封圈和对应两个轴承来增加转轴的密闭性和转轴承载能力，相较现有磁流体真空动密封机构，结构更简单，制造成本降低。
一种真空密封传动机构

[实用新型]一种可调节的旋转阴极磁棒-CN202123167816.8有效
发明人： 庄正军;刘宁杰;上官泉元;上官建兴;上官小兴 -专利权人：常州比太科技有限公司;常州卓旻精密机械科技有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁控溅射镀膜领域，具体涉及一种可调节的旋转阴极磁棒。本实用新型涉及一种可调节的旋转阴极磁棒，包括：芯管、条形磁体、第一调节部和第二调节部，芯管呈空心圆柱状，芯管外壁沿芯管轴方向开设有一定位槽，定位槽贯穿芯管两端；条形磁体可滑动的设置在定位槽内，条形磁体适于固定磁棒；第一调节部可伸缩的设置在芯管内部，第一调节部垂直固定在条形磁体内底壁；第二调节部可转动的设置在芯管端部；其中调节第一调节部能够调节磁棒和靶材的间距；转动第二调节部能够调节磁棒的旋转角度。通过设置的第一调节部来调节磁棒和靶材的间距，而通过设置的第二调节部来实现磁棒的旋转角度；本实用结构简单，操作简便。
一种调节旋转阴极

[实用新型]一种硅片载板的导向条-CN202123221410.3有效
发明人： 庄正军;史新国;上官泉元 -专利权人：江苏杰太光电技术有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片载板的导向条，包括至少两段相互串联的长条形的金属导向段，所述金属导向段之间通过金属销相互连接以形成导向条并安装在硅片载板运行方向的两侧。本实用新型提供的导向条由多段长条状且采用金属销连接的金属导向段制作而成，不仅耐高温、材料成本低还具有优异的耐磨性，可显著提升导向条使用寿命，而分段式的设计则解决了金属材料热膨胀系数高及整段金属材料在高温工艺环境下膨胀变形量大的问题，从而降低了维护成本。
一种硅片导向

[实用新型]一种硅片花篮的升降装置-CN202122506212.5有效
发明人：赵风明;曹振华;陆韦;庄正军;上官泉元 -专利权人：江苏杰太光电技术有限公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片花篮的升降装置，包括框架，设置在框架顶部的花篮驱动机构，由花篮驱动机构通过驱动丝杆驱动升降的花篮承载架，以及垂直连接在框架顶板与底板之间的至少一根导向螺杆，花篮承载架的侧部垂直设置有轴向套设在导向螺杆上的导向螺套。本实用新型通过垂直导向的导向螺杆配合导向螺套设计，确保了提升花篮快速垂直升降时的运行稳定性，避免硅片插取时发生碎片；通过将驱动花篮升降的花篮驱动机构设置在框架的顶部，节省占地空间，增加单位占地面积中可容纳输送线的数量并可以同时在框架中设置多个花篮及升降组件，从而提升硅片自动化导片设备的产能，实现与主设备的产能匹配。
一种硅片花篮升降装置

[实用新型]一种用于硅片自动下料系统真空吸取时的托举平台-CN202121541454.1有效
发明人：上官泉元;庄正军;岳腾腾 -专利权人：江苏杰太光电技术有限公司
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于硅片自动下料系统真空吸取时的托举平台，包括底座，等间距并列设置在所述底座上的至少一根支撑杆，以及等间距设置在每根所述支撑杆上的至少一个支撑块；单片硅片下方对应的所述支撑块的数量≥1且与对应每片硅片的吸盘的数量和分布位置一一上下对应；所述托举平台通过底部的所述底座安装在顶升机构上。本实用新型用于硅片下料时，单片硅片下方的支撑块数量以及分布位置与硅片抓取支撑板上吸盘的数量和分布位置一一对应，当吸盘与硅片接触进行吸附时，硅片下方的支撑块起到支撑及辅助吸附的作用，从而提高真空吸的效率及稳定性。
一种用于硅片自动系统真空吸取托举平台

[实用新型]一种自动化输送线上硅片的排列和定位装置-CN202121543273.2有效
发明人：上官泉元;庄正军;岳腾腾 -专利权人：江苏杰太光电技术有限公司
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动化输送线上硅片的排列和定位装置，自动化输送线包括至少两根皮带构成的硅片输送线，排列和定位装置包括沿硅片自动化输送线运动方向依次排列的定位模块，以及对应每个定位模块的传感器和顶升机构；定位模块的数量对应硅片输送方向上的硅片数量；定位模块包括定位底板，以及设置在定位底板上表面并分别对应硅片运行方向前后两侧的前后挡板及左右两侧的侧边挡板，定位模块通过定位底板固定在所述顶升机构上。本实用新型的传感器感应到来片时，通过顶升机构将定位模块顶起，在定位模块上设置有由前后挡板及侧边挡板组成的硅片自动限位机构，利用挡板内侧的斜坡使硅片实现动态精准稳定定位。
一种自动化输送线上硅片排列定位装置

[实用新型]一种太阳能电池硅片干燥或固化用烘箱-CN202020541378.3有效
发明人：上官泉元;庄正军;邹开封;范恒灵 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2020-04-13 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： B41F23/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池硅片干燥或固化用烘箱，包括箱体，箱体具有进板门阀一及出板门阀一，以及进气管道和出气管道；箱体内设置有升降承托机构以用于沿垂直方向平行并列设置多排用于载板承托的载板支架；对应每排载板支架的上下两侧均设置有加热板；还具有装载腔；装载腔具有进板门阀二及对应进板门阀一的出板门阀二；装载腔通过真空阀一连通至抽真空设备；箱体的出气管道通过真空阀二连通至装载腔。该实用新型通过多层硅片平躺式放置加热烘干，且双面同时加热可以确保硅片均匀加热而实现快速干燥；挥发的有机气体可以通过真空抽气和进气的方式均匀有效的抽出而不需要大量吹气，有效减少了吹气能耗，且具有高产能、占地少的优点。
一种太阳能电池硅片干燥固化烘箱

[实用新型]一种太阳能电池硅片干燥用烘干设备-CN202020540190.7有效
发明人：上官泉元;芦伟;李中清;庄正军 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2020-04-13 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： B41F15/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池硅片干燥用烘干设备，包括依次设置的上料输送线、上料台、装载腔、烘箱、下料台、下料输送线及载板回流机构；所述装载腔的出料端对应所述箱体的进料端；所述上料输送线对应所述上料台的进料端，所述上料台的出料端对应所述装载腔的进料端；所述下料台的进料端对应所述箱体的出料端，所述下料台的出料端对应所述下料输送线。该实用新型基于自动化上下料及在线输送并通过硅片平躺式双面同时加热烘干，可以确保硅片均匀加热及快速干燥并实现载板的回流重复使用；挥发的有机气体可以通过真空抽气和进气的方式均匀有效的抽出而无需大量吹气，有效减少了吹气能耗，且同步上下料具有高产能、占地少的优点。
一种太阳能电池硅片干燥烘干设备

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