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- [发明专利]致动器、阀、及流体控制装置-CN201980040514.0在审
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广濑隆;中泽正彦;中村伸夫;汤原知子
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株式会社富士金
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2019-06-03
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2021-02-05
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F16K31/02
- 本发明提供一种能够放大压电元件的位移量且能够实现阀的常闭状态的技术。在位移放大机构(30)中，在与杆(7)的轴正交的方向上，作为第一力点部的屈曲部(31H)位于作为第一支点部的外端部(31F)与作为第一作用点部的内端部(31G)之间，作为第二支点部的屈曲部(34H)位于作为第二力点部的外端部(34F)与作为第二作用点部的内端部(34G)之间，屈曲部(34H)与内端部(34G)的距离构成为比屈曲部(34H)与外端部(34F)的距离更长。另外，通过中间部件(33)向各第二杠杆(34)侧的位移，各第二杠杆(34)的内端部(34G)朝向杆(7)位移，并使杆(7)朝向压电元件(5)移动。
- 致动器流体控制装置
- [发明专利]流量控制装置用的流量控制阀-CN201480004461.4有效
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广濑隆;山路道雄;吉田俊英;执行耕平
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株式会社富士金
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2014-03-17
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2017-04-05
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F16K31/02
- 本发明通过实现在流量控制装置等中使用的压电元件驱动式金属隔膜控制阀的构造的简单化和小型化、组装及维护检修的容易化，不会造成半导体制造装置用集成化气体供给装置等的大型化，就可以应对供给气体种类、供给电路数量的增加的要求。本发明由下述部件构成包括具有阀座(6)的上方敞口的阀室用孔部(1a)和与之连通的流体入口通路(7a)以及流体出口通路(7b)的阀主体(1)；在阀座(6)的上方相对状配设并且外周缘固定于阀室用孔部(1a)的底面的倒碟形的金属隔膜阀体(2)；螺纹旋插到阀室用孔部(1a)中并按压固定金属隔膜阀体(2)的外周缘的压紧螺钉(5)；通过压紧螺钉(5)内部并插入到阀室用孔部(1a)内，在前端部的底壁下方具备隔膜压件(3)，并且在侧壁上相对且贯通状地设置有从侧壁的上端到达中间部的长方形的切口(22a)的下部支承筒体(22)；螺接到下部支承筒体(22)的上端部而形成支承筒体(23)的圆筒状的上部支承筒体(21)；载置在下部支承筒体(22)的底壁上的具有保持部(8a)的碟簧承受台(8)；载置在碟簧承受台(8)上的碟簧(18)；插通下部支承筒体(22)的切口(22a)而水平配设，中央具有保持碟簧保持部(8a)的前端部的碟簧承受台引导孔(19)，并且在两端部设置有螺栓插入孔(20)的支承台架(16)；载置在支承台架(16)的碟簧承受台引导孔(19)的上方的下部承受台(9)；插入下部承受台(9)的上方的支承筒体(23)内的压电元件(10)；具备引导筒(24a)和从其下端部向两侧突出的凸缘部(24c)，使支承筒体(23)以能够向上下方向移动的方式插通到引导筒(24a)内，并且使凸缘部(24c)与支承台架(16)的两端部相对，利用固定用螺栓(17)与所述支承台架(16)一并被固定于阀主体(1)的引导体(24)；和螺接在上部支承筒体(21)的上端部的定位螺母(12)，通过压电元件(10)的伸长将支承筒体(23)推向上方，利用金属隔膜阀体(2)的弹力使其从阀座(6)分离。
- 流量控制装置
- [发明专利]压力式流量控制装置-CN201480049537.5在审
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广濑隆;吉田俊英;松本笃谘;平田薰;池田信一;西野功二;土肥亮介;杉田胜幸
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株式会社富士金
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2014-11-25
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2016-05-04
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G05D7/06
- 本发明提供一种可谋求流量切换时的下降响应时间缩短、可提高下降响应特性的压力式流量控制装置。本发明的压力式流量控制装置具备：主体(5)，设置有连通流体入口(2)与流体出口(3)之间的流体通路(4)；压力控制用控制阀(CV)，固定于主体(5)且开闭流体通路(4)；流孔(OL)，插入设置于压力控制用控制阀(CV)的下游侧的流体通路(4)；压力传感器(P1)，固定于主体(5)且检测压力控制用控制阀(CV)与流孔(OL)之间的流体通路(4)的内压，流体通路(4)具备：第一通路部(4a)，连接压力控制用控制阀(CV)与压力传感器(P1)的压力检测面(P1a)上的压力检测室(4b)，及第二通路部(4c)，与第一通路部(4a)分离且连接压力检测室(4b)与流孔(OL)。
- 压力流量控制装置
- [发明专利]集成型气体供给装置-CN201380057366.6在审
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小艾睦典;广濑隆;山路道雄;松田隆博
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株式会社富士金
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2013-10-18
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2015-06-24
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G05D7/00
- 本发明实现半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给线路的增加、装置的小型化、装置内部的气体流路内容积的减小，提高装置的气体置换性，并且实现设置空间的削减、各仪器类的维护管理的容易化。通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块（12）及气体出口侧块（13）上，将设置有多个流量控制部的两台流量控制器（3）对置状地组合固定，并且在各流量控制器（3）中设置入口开闭阀（1）及出口开闭阀（5），来形成包括至少四个气体供给线路（S）的气体供给单元（U），将该气体供给单元（U）堆叠多台并固定。
- 集成气体供给装置
- [发明专利]气体供给装置-CN201280047669.5有效
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广濑隆;山路道雄
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株式会社富士金
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2012-09-26
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2014-05-28
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F16K27/00
- 本发明的气体供给装置谋求气体供给管路和气体装置的进一步小型化，并且更容易进行各仪器类的维修管理。本发明在由气体入口侧块、气体出口侧块和多个流体控制仪器形成有供给管路是供给装置中，在前述气体供给装置上形成有至少两个气体供给管路，各气体供给管路的前述流体控制仪器包含至少一个流量控制器，一方的气体供给管路的流量控制器的入口侧块与另一方的气体供给管路的流量控制器的入口侧块以对向状相对于前述入口侧块连接，一方的流量控制器的出口侧块与另一方的流量控制器的出口侧块以对向状相对于前述气体出口侧块连接。
- 气体供给装置
- [发明专利]车辆用驱动装置-CN201110294344.4有效
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广濑隆;佐藤佳司;丸山圭一;冲尚悟;井上谕
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富士重工业株式会社
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2011-09-26
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2012-05-02
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B60K6/442
- 本发明涉及一种车辆用驱动装置，其避免车辆用驱动装置的复杂化和高成本化，即使在发动机停止时也可以驱动油泵。车辆用驱动装置(10)具有：发动机输出系统(12)，其输出发动机动力；以及动力传递系统(14)，其将发动机动力向驱动轮(13)传递。在油泵(41)和构成发动机输出系统(12)的涡轮轴(34)之间，设置有由链条机构(46)及单向离合器(44)构成的动力传递路径(47)。在油泵和构成动力传递系统的主动轴之间，设置有由链条机构及单向离合器构成的动力传递路径。因此，在发动机停止时，可以通过动力传递系统驱动油泵，不需要另外准备油泵的动力源，可以实现车辆用驱动装置的简单化及低成本化。
- 车辆驱动装置
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