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[发明专利]晶圆传输装置-CN202211078738.0有效
发明人：贾雪峰;尹贻恒 -专利权人：北京中科科仪股份有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B65G15/20 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆传输装置，属于晶圆检测设备的技术领域，其包括：机架、固定件、夹持件、弹性件、限位件和驱动机构，托盘用于放置晶圆，并在机架上具有初始位，夹持件可在托盘上做靠近或远离固定件的滑动，弹性件为夹持件提供朝固定件方向滑动的弹力，限位件连接在夹持件上，驱动机构用于带动托盘在机架上移动，机架上设有定位面，当托盘处于初始位时，限位件抵接在定位面上，弹性件为蓄力状态，且夹持件与固定件的间距大于晶圆直径；当驱动机构带动托盘向样品室移动时，限位件与定位面分离，夹持件受弹性件的弹力作用向固定件方向滑动，自动将托盘上的晶圆夹紧在固定件上，使晶圆跟随托盘稳定的移动至样品室内进行检测。
传输装置

[发明专利]对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法-CN202211479032.5有效
发明人：刘涛;尹贻恒;孟祥良 -专利权人：北京中科科仪股份有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法，所述工装包括：调节支撑筒，所述调节支撑筒的底端定位设置在检测装置支架上并与检测装置支架同轴心设置；所述调节支撑筒的周向外侧壁上由上至下间隔开设有若干组调节孔，每一组调节孔分别与一光阑片同平面设置；图像拍摄机构，可拆卸设置在调节支撑筒上方，用于对光阑片及检测装置支架的图像进行拍摄；显示机构，用于接收图像拍摄机构拍摄的图像信息，并建立坐标系，通过光阑片的图像在坐标系中的位置来判断对光阑片所需调节的方向；若干调节组件，分别设置在各调节孔内部。本发明能够用于精密装配，使用方便，能够提供微米级检测精度，可以精确调节，能极大地提高装配精度。
调节工装电子束检测装置方法

[发明专利]一种基于回音壁模式球状光学微腔的液体温度传感系统-CN202011002577.8有效
发明人：丁铭;尹贻恒;王波涛;秦旭东 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：一种基于回音壁模式球状光学微腔的液体温度传感系统，通过微纳光纤、回音壁模式球状光学微腔和异丙醇液体的热光传感组合，形成被测温度变化致使异丙醇液体折射率变化、从而致使微腔谐振峰谐振波长变化或移动或漂移的热光传感路径，既能够保留回音壁模式光学微腔原有的高品质因子特性又能够提高温度传感灵敏度，进而实现对温度的精确测量。
一种基于回音壁模式球状光学液体温度传感系统

[发明专利]基于表面等离子体的回音壁模式球状光学微腔折射率传感器及测量装置-CN202010032741.3有效
发明人：丁铭;尹贻恒;王波涛;郑少伟;秦旭东;聂天晓 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2020-01-13 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：本发明提供一种基于表面等离子体的回音壁模式球状光学微腔折射率传感器及测量装置，充分利用回音壁模式光学微腔的高品质因子特性，通过在光学微腔表面镀覆金层以激发表面等离子体，提高光学微腔表面能量和折射率传感灵敏度，实现外界介质折射率的测量。本发明的光学微腔折射率传感器包括微纳光纤、回音壁模式球状光学微腔，所述微纳光纤与所述回音壁模式球状光学微腔接触耦合；所述回音壁模式球状光学微腔表面上镀覆月牙形金层，以激发表面等离子体而增强球状光学微腔对外界介质折射率变化的敏感程度。本发明具有体积小、制备方法简单、易于集成等优点，可应用于化学或生物传感等领域。
基于表面等离子体回音壁模式球状光学折射率传感器测量装置

[发明专利]一种基于石墨烯薄膜修饰双锥形微纳光纤耦合器的温度传感器-CN201910741229.3有效
发明人：丁铭;郑少伟;王波涛;尹贻恒;牛燕雄 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2019-08-12 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于石墨烯薄膜修饰双锥形微纳光纤耦合器的温度传感器，包括超连续宽带光源、石墨烯修饰的微纳光纤耦合器传感单元和光谱分析仪，石墨烯修饰的微纳光纤耦合器传感单元通过连接光纤分别连接超连续宽带光源和光谱分析仪；采用电加热高温熔融拉锥法制备双锥形2×2微纳光纤耦合器，通过薄膜湿法转移法在耦合器的中心腰椎均匀区镀覆石墨烯薄膜，利用石墨烯薄膜的高热光系数和高热导率提高了耦合器模间干涉有效折射率对外界环境温度的敏感性，实现了较高的温度测量灵敏度。同时，所涉及的传感器在实验中表现出优良的线性度、重复性和稳定性，具有结构紧凑、制作简单、价格低廉、易于与其它光纤系统集成的优势。
一种基于石墨薄膜修饰锥形光纤耦合器温度传感器

[发明专利]基于蓝宝石晶片-氮化硼薄膜的光纤F-P高温传感器及制备方法和温度传感装置-CN201910740491.6有效
发明人：丁铭;王波涛;郑少伟;尹贻恒;牛燕雄 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2019-08-12 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于蓝宝石晶片‑氮化硼薄膜的光纤F‑P高温传感器，蓝宝石光纤插在陶瓷插芯中，陶瓷插芯的端面粘贴有蓝宝石晶片‑氮化硼薄膜，贴有蓝宝石晶片‑氮化硼薄膜的陶瓷插芯插在一个陶瓷套管中，然后在陶瓷套管的另一端插入另一个没有贴蓝宝石晶片‑氮化硼薄膜的陶瓷插芯，形成“陶瓷插芯‑蓝宝石晶片‑氮化硼薄膜‑陶瓷插芯”结构；蓝宝石光纤与陶瓷插芯之间通过高温陶瓷胶粘连，陶瓷插芯与陶瓷套管之间通过高温陶瓷胶粘连；当外界环境温度变化时，蓝宝石晶片‑氮化硼薄膜的厚度和折射率发生变化，使得F‑P干涉的光程差改变，进而引起干涉光谱信号的漂移，根据干涉光谱的变化情况实现温度的检测。本发明解决现有蓝宝石光纤F‑P高温传感器的灵敏度较低、光纤端头和蓝宝石晶片易受到高温胶、灰尘等污染的问题，在航空、航天和冶金工业等领域中有着广阔的应用前景。
基于蓝宝石晶片氮化薄膜光纤高温传感器制备方法温度传感装置

[发明专利]一种红外辐射型蓝宝石光纤高温传感器及温度测量系统-CN201911015936.0在审
发明人：丁铭;王波涛;郑少伟;尹贻恒;牛燕雄 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本发明提出一种红外辐射型蓝宝石光纤高温传感器及温度测量系统，基于红外辐射测温原理，实现非接触式测温，解决了传统接触式测温传感器受制于测温范围、可能对被测物体的温度场有影响，以及不适用于测量高速运动的物体的温度问题。本发明的蓝宝石光纤高温传感器包括蓝宝石光纤1，所述蓝宝石光纤1的一个端面抛磨成球状，用于收集红外辐射信号。
蓝宝石光纤高温传感器红外辐射测温接触式测温传感器非接触式测温红外辐射信号温度测量系统被测物体高速运动温度问题温度场抛磨测量

[发明专利]一种基于微纳光纤和瓶状微谐振腔的环瓶谐振腔及制备方法-CN201811431080.0有效
发明人：丁铭;李思然;尹贻恒;代玲玲 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H01S3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于微纳光纤和瓶状微谐振腔的环瓶谐振腔及其制备方法。该环瓶谐振腔包括瓶状微谐振腔结构和微纳光纤结构，瓶状微谐振腔由单模光纤通过光纤熔接机熔融压缩制得，微纳光纤由单模光纤通过热拉伸法拉伸制得。该方法将微纳光纤绕制在瓶状微谐振腔上，形成一种瓶状微谐振腔和微纳光纤环状谐振腔耦合的环瓶谐振腔。本发明在保证品质因子和模式体积的条件下，尽可能提升耦合程度，制备出一种新型的回音壁模式光学谐振腔，可应用于腔量子电动力学、模式过滤、纳米离子检测、非线性光学等领域。
微谐振腔瓶状微纳光纤谐振腔制备单模光纤量子电动力学微纳光纤结构非线性光学光纤熔接机光学谐振腔回音壁模式谐振腔耦合模式过滤纳米离子品质因子耦合热拉伸绕制熔融压缩检测应用保证

[发明专利]一种具有倾角反射面的蓝宝石光纤F-P高温传感器及制备方法和温度传感系统-CN201910912875.1在审
发明人：丁铭;王波涛;郑少伟;尹贻恒;牛燕雄 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2019-09-25 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本发明提出了一种具有倾角反射面的蓝宝石光纤Fabry‑Perot(F‑P)高温传感器及制备方法和温度传感系统，解决现有蓝宝石光纤F‑P高温传感器的干涉光谱质量易受到高温胶、灰尘污染以及其除了F‑P反射面之外其他反射面对干涉光谱质量的影响等问题，在航空发动机涡轮叶片、高温尾气，以及冶金工业等高温检测领域具有重要的研究意义。本发明的高温传感器包括蓝宝石光纤1、末端具有倾角反射面的蓝宝石光纤5和陶瓷插芯3；蓝宝石光纤1和末端具有倾角反射面的蓝宝石光纤5插入陶瓷插芯3中，插入陶瓷插芯3中的蓝宝石光纤1和5的端面之间留有一段能够产生F‑P干涉的空气腔4，利用高温陶瓷胶2分别对陶瓷插芯3和蓝宝石光纤1、末端具有倾角反射面的蓝宝石光纤5之间进行固定。
蓝宝石光纤反射陶瓷插芯高温传感器干涉光谱航空发动机涡轮叶片温度传感系统高温陶瓷胶高温检测高温尾气灰尘污染冶金工业反射面高温胶空气腔制备干涉研究

[实用新型]一种双KTP晶体光参量和电光调Q复用器件-CN201220658089.7有效
发明人：张会云;张晓;尹贻恒;张洪艳;申端龙;吴志心;张玉萍 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2012-12-04 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01S3/115 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种双KTP晶体光参量和电光调Q复用器件，包括外壳、电极、电光晶体，电光晶体包括从左到右依次设置的两块低电导率、非临界温度相位匹配切割的KTP晶体，依次旋转90°放置；在第一块KTP晶体的上、下通电面镀金膜，在第二块KTP晶体的前、后通电面镀金膜；从第一块KTP晶体的上通电面镀金膜和第二块KTP晶体的前通电面镀金膜引出金线，连接到正电极；从第一块KTP晶体的下通电面镀金膜和第二块KTP晶体的后通电面镀金膜引出金线，连接到负电极；器件电光调Q作用时采用退压工作方式。本实用新型实现光参量和电光调Q两种功能的同时消除了走离角、补偿了静态双折射相位延迟，消除了晶体加压时对相位匹配角的影响。
一种 ktp 晶体参量电光器件

[实用新型]一种双KTP倍频和电光调Q集成器件-CN201220658086.3有效
发明人：张会云;张晓;尹贻恒;张洪艳;刘蒙;张玉萍 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2012-12-04 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01S3/115 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种双KTP倍频和电光调Q集成器件，包括外壳、电极、电光晶体，电光晶体包括从左到右依次设置的两块低电导率、非临界温度相位匹配切割的KTP晶体，依次旋转90°放置；在第一块KTP晶体的上、下通电面镀金膜，在第二块KTP晶体的前、后通电面镀金膜；从第一块KTP晶体的上通电面镀金膜和第二块KTP晶体的前通电面镀金膜引出金线，连接到正电极；从第一块KTP晶体的下通电面镀金膜和第二块KTP晶体的后通电面镀金膜引出金线，连接到负电极；器件电光调Q作用时采用退压工作方式。本实用新型实现倍频和电光调Q两种功能的同时消除了走离角、补偿了静态双折射相位延迟，消除了晶体加压时对相位匹配角的影响。
一种 ktp 倍频电光集成器件

[发明专利]一种补偿走离和静态双折射的KTP调Q参量双功能器件-CN201210511359.6有效
发明人：张玉萍;张会云;张洪艳;刘蒙;尹贻恒 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2012-12-04 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： H01S3/115 文献下载
摘要：本发明涉及一种补偿走离和静态双折射的KTP调Q参量双功能器件，包括外壳、电极、电光晶体，电光晶体包括从左到右依次设置的四块低电导率、Ⅱ类参量临界相位匹配角度切割的KTP晶体，依次旋转90°放置；在第一、三块KTP晶体的上、下通电面镀金膜，在第二、四块KTP晶体的前、后通电面镀金膜；从第一块晶体的上通电面、第二块晶体的前通电面、第三块晶体的下通电面和第四块晶体的后通电面引出金线，连接到正电极；从四块晶体的另一侧通电面引出金线，连接到负电极；器件电光调Q作用时采用退压工作方式。本发明实现参量作用和电光调Q两种功能的同时补偿了走离角和静态双折射相位延迟，消除了晶体加压时对相位匹配角的影响。
一种补偿静态双折射 ktp 参量功能器件

[实用新型]一种基于光抽运无基底石墨烯的太赫兹波放大装置-CN201120578029.X有效
发明人：张会云;张玉萍;刘陵玉;张晓;张洪艳;尹贻恒 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2011-12-28 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： G02F1/355 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于光抽运无基底石墨烯的太赫兹波放大装置，包括THz辐射产生装置、THz辐射放大装置、THz辐射探测装置，三装置通过分束器共用一台飞秒激光器。入射的飞秒光脉冲经过分束镜后分为两束：其中一束为光探测路，进入THz辐射探测装置，利用电光取样探测原理对所产生和放大的太赫兹脉冲进行探测；另一束再经过另一分束镜分成两束Beam 1和Beam 2；Beam 1为THz产生光，利用光整流效应在非线性晶体表面产生THz辐射，该辐射经离轴抛物镜照射到无基底石墨烯上，作为信号光；Beam2为石墨烯的抽运光，激发无基底石墨烯实现载流子的粒子数反转，在THz信号光的作用下实现对THz辐射的受激放大。
一种基于抽运基底石墨赫兹放大装置

[发明专利]一种基于光抽运无基底石墨烯的太赫兹波放大装置-CN201110462014.1有效
发明人：张会云;张玉萍;刘陵玉;张晓;张洪艳;尹贻恒 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2011-12-28 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： G02F1/39 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光抽运无基底石墨烯的太赫兹波放大装置，包括THz辐射产生装置、THz辐射放大装置、THz辐射探测装置，三装置通过分束器共用一台飞秒激光器。入射的飞秒光脉冲经过分束镜后分为两束：其中一束为光探测路，进入THz辐射探测装置，利用电光取样探测原理对所产生和放大的太赫兹脉冲进行探测；另一束再经过另一分束镜分成两束Beam1和Beam2；Beam 1为THz产生光，利用光整流效应在非线性晶体表面产生THz辐射，该辐射经离轴抛物镜照射到无基底石墨烯上，作为信号光；Beam2为石墨烯的抽运光，激发无基底石墨烯实现载流子的粒子数反转，在THz信号光的作用下实现对THz辐射的受激放大。
一种基于抽运基底石墨赫兹放大装置

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