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[发明专利]真空装置、真空系统、设备制造装置、设备制造系统以及设备的制造方法-CN201811571926.0有效
发明人： 小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的真空装置是用于对多个处理空间进行排气的真空装置，包括：分别对所述多个处理空间中的任意一个进行排气的多个泵部，和分别与所述多个泵部的至少一个连接、使泵动作的多个泵动作部，所述多个泵部的至少一个与互不相同的两个以上的泵动作部连接，所述互不相同的两个以上的泵动作部的至少一个与互不相同的两个以上的泵部连接。
真空装置系统设备制造以及方法

[发明专利]对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质-CN202110464994.2有效
发明人： 小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质，抑制基板与掩模对准所需的时间增大。对准装置具备：接离部件，使基板支承部件及掩模支承部件的至少一方沿重力方向移动，使由基板支承部件支承的基板及由掩模支承部件支承的掩模沿重力方向接近及分离；测量部件，在基板与掩模局部接触的状态下进行测量双方的位置偏移量的测量动作；位置调整部件，在基板与掩模分离的状态下基于测量出的位置偏移量进行调整双方的相对位置的位置调整动作；及控制部件，反复执行测量动作和位置调整动作，直到位置偏移量在容许范围。在位置偏移量处于容许范围的情况下，控制部件选择性地执行位置调整动作和基板与掩模相互重合的重合动作。
对准装置方法电子器件制造存储介质

[发明专利]对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质-CN202110645453.X有效
发明人：谷和宪;小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供一种对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质，涉及从大型基板切出的基板的对准，能够抑制由切出部位的不同导致的对测量精度的影响。所述对准装置具备：基板支承部件，对将大型基板分割而得到的基板进行支承；掩模支承部件，支承掩模；测量部件，对基板和掩模进行拍摄，基于拍摄图像来测量基板与掩模的位置偏移量；位置调整部件，调整基板与掩模的相对位置；以及控制部件，在位置偏移量在容许范围内的情况下，使基板与掩模相互重合，其中，对准装置具备取得部件，该取得部件取得基板的与分割前的大型基板中的部位相关的基板信息，控制部件基于取得部件取得的基板信息，设定位置偏移量的测量条件。
对准装置方法电子器件制造存储介质

[发明专利]基板处理装置及对准方法-CN202111089795.4有效
发明人： 小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2017-07-07 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种使用按照各输送路径进行了分组化的移动信息，在对准前能够事先对基板进行移动控制，从而能更有效地进行对准的基板处理装置及对准方法，所述各输送路径由于前处理室的差异或输送机器人的机械手的差异等而不同。基板处理装置具备用于对基板实施处理的多个处理室、分别设置于所述多个处理室的基板载置部、以及向所述基板载置部输送所述基板的输送机构，其中，所述基板处理装置具备：具有按照各输送路径进行了分组化的移动信息的存储机构；以及基于所述移动信息对所述基板进行移动控制的控制机构。
处理装置对准方法

[发明专利]对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法-CN202111324015.X在审
发明人： 小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-08-31 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法，对准装置包括：对准测量位置信息存储部，存储与基板的对准测量位置相关的信息；以及测量部，根据基于与上述对准测量位置相关的信息获得的基板和掩模的对准标记的图像，测量基板与掩模的相对的偏移，与上述对准测量位置相关的信息包括在基板的至少一部分与掩模接触的状态下进行的对准工序中的与基板的位置相关的信息。
对准装置方法电子器件制造

[发明专利]基板处理装置及对准方法-CN201710549222.2有效
发明人： 小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2017-07-07 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种使用按照各输送路径进行了分组化的移动信息，在对准前能够事先对基板进行移动控制，从而能更有效地进行对准的基板处理装置及对准方法，所述各输送路径由于前处理室的差异或输送机器人的机械手的差异等而不同。基板处理装置具备用于对基板实施处理的多个处理室、分别设置于所述多个处理室的基板载置部、以及向所述基板载置部输送所述基板的输送机构，其中，所述基板处理装置具备：具有按照各输送路径进行了分组化的移动信息的存储机构；以及基于所述移动信息对所述基板进行移动控制的控制机构。
处理装置对准方法

[发明专利]对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质-CN202110645360.7在审
发明人：谷和宪;小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质，关于从大型基板切出的基板的对准，可抑制由切出部位的不同导致的对准精度、时间的偏差。所述对准装置具备：基板支承部件，支承将大型基板分割而得到的任一基板的周缘部；接离部件，使基板及掩模沿重力方向接近及分离；测量部件，测量基板与掩模的位置偏移量；及位置调整部件，调整基板与掩模的相对位置，在位置偏移量在容许范围内的情况下使基板与掩模相互重合，其中，对准装置具备取得基板的与分割前的大型基板中的部位相关的基板信息的取得部件，在测量位置偏移量之后，当在使基板与掩模分离的状态下调整相对位置时，基于位置偏移量和基板信息控制位置调整部件。
对准装置方法电子器件制造存储介质

[发明专利]对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质-CN202110669672.1在审
发明人： 小林康信;谷和宪 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质，涉及从大型基板切出的基板的对准，能够抑制由切出部位的不同导致的对测量精度的影响。所述对准装置具备：基板支承部件，其支承将大型基板分割而得到的基板；距离调整部件，其调整基板支承部件与支承掩模的掩模支承部件的重力方向上的距离；测量部件，其进行测量基板与掩模的位置偏移量的测量动作；以及位置调整部件，其进行调整基板与掩模的相对位置的位置调整动作，在位置偏移量在容许范围内的情况下，使基板与掩模相互重合，其特征在于，在基于基板的与分割前的大型基板中的部位相关的基板信息调整基板与测量部件之间的距离之后，进行所述测量动作。
对准装置方法电子器件制造存储介质

[发明专利]膜厚测定装置、成膜装置、膜厚测定方法、电子器件的制造方法及存储介质-CN202110675688.3在审
发明人：佐藤祐希;小林康信;谷和宪 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及膜厚测定装置、成膜装置、膜厚测定方法、电子器件的制造方法以及存储介质。能够抑制从大型基板切出的基板的膜厚的测定精度降低。膜厚测定装置具备：基板支承构件，所述基板支承构件对将大型基板分割而得到的多个基板中的任一个基板进行支承；测定构件，所述测定构件对在支承于基板支承构件的基板上形成的膜的膜厚进行光学测定；以及控制构件，所述控制构件控制测定构件。取得构件取得与支承于基板支承构件的基板在分割前的大型基板中的部位相关的基板信息。控制构件基于取得构件取得的基板信息，决定测定构件的测定条件。
测定装置方法电子器件制造存储介质

[发明专利]基板输送装置、基板处理系统、基板输送方法、电子器件的制造方法及存储介质-CN202110682926.3在审
发明人：谷和宪;小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及从大型基板切出的基板的输送，抑制因切出位置的不同而导致的输送位置的偏差。基板输送装置具备：输送部件，其将分割大型基板而得到的多个基板中的任一个基板向处理装置内的交接位置输送，向该处理装置所具备的基板支承部件交接基板；以及控制部件，其对输送部件进行控制。获取部件获取由输送部件输送的基板的与在分割前的大型基板中的部位相关的基板信息。控制部件基于由获取部件获取的基板信息，使输送部件向交接位置输送基板。
输送装置处理系统方法电子器件制造存储介质

[发明专利]对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质-CN202110688650.X在审
发明人：谷和宪;小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及从大型基板切出的基板的边缘对准，抑制作为输送目的地的成膜室中的对准的精度的降低。对准装置具备：基板支承部件，其对分割大型基板而得到的多个基板中的任一个基板进行支承；边缘检测部件，其对支承于基板支承部件的基板的边缘进行检测；位置调整部件，其对支承于基板支承部件的基板的位置进行调整；以及控制部件，其对位置调整部件进行控制。获取部件获取支承于基板支承部件的基板的与在分割前的大型基板中的部位相关的基板信息。控制部件基于由边缘检测部件检测到的基板的边缘的位置信息和由获取部件获取的基板信息，对位置调整部件进行控制。
对准装置方法电子器件制造存储介质

[发明专利]对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法以及存储介质-CN202110480488.2在审
发明人： 小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明涉及对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法以及存储介质。提高基板与掩模的对准的精度。对准装置进行基板和掩模的对位。检测构件检测设置于掩模的第一掩模标记和第二掩模标记、以及与第一掩模标记对应地设置于基板的第一基板标记。设定构件基于由检测构件检测到的第一基板标记的位置信息，设定与第二掩模标记对应的基板上的假想位置信息。位置调整构件基于假想位置信息和由检测构件检测到的第一掩模标记、第二掩模标记及第一基板标记的位置信息，进行基板和掩模的位置调整。
对准装置方法电子器件制造以及存储介质

[发明专利]对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法-CN201811006627.2有效
发明人： 小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-08-31 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法，对准装置包括：对准测量位置信息存储部，存储与基板的对准测量位置相关的信息；以及测量部，根据基于与上述对准测量位置相关的信息获得的基板和掩模的对准标记的图像，测量基板与掩模的相对的偏移，与上述对准测量位置相关的信息包括在基板的至少一部分与掩模接触的状态下进行的对准工序中的与基板的位置相关的信息。
对准装置方法电子器件制造

[发明专利]晶体振荡器的寿命判定方法、膜厚测定装置、成膜方法、成膜装置以及电子器件制造方法-CN201810844842.3有效
发明人： 小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明涉及晶体振荡器的寿命判定方法、膜厚测定装置、成膜方法、成膜装置以及电子器件制造方法。本发明的一方案的晶体振荡器的寿命判定方法包括：测定晶体振荡器的等效串联电阻值的测定阶段；利用测定出的所述等效串联电阻值和在紧靠此之前的采样周期测定出的等效串联电阻值，对等效串联电阻值的变动值进行计算的计算阶段；将晶体振荡器的等效串联电阻值的所述变动值与规定阈值进行比较的比较阶段；以及基于等效串联电阻值的所述变动值超过所述规定阈值的次数，对所述晶体振荡器的寿命进行判定的判定阶段。
晶体振荡器寿命判定方法测定装置以及电子器件制造

[发明专利]基板搬运系统、基板搬运方法、基板处理系统以及基板处理方法-CN202010114405.3在审
发明人： 小林康信 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及基板搬运系统、基板搬运方法、基板处理系统以及基板处理方法。在将从原板切出为规定的大小的基板搬运到处理装置来进行成膜等基板处理工序时，抑制基板处理工序的精度的降低。本发明的基板搬运系统，用于搬运从原板切出为规定的大小的基板，其特征在于，包括搬运所述基板的搬运机构和控制所述搬运机构的搬运控制部，所述搬运控制部基于与所述基板的从原板切出的切出位置相关的信息，控制所述搬运机构。
搬运系统方法处理以及

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