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- [发明专利]在衬底上形成微图形的方法-CN00806300.1无效
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姜达荣;李弘熙
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米卢塔技术株式会社
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2000-04-20
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2002-05-01
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G03F7/09
- 一种在衬底(200)上形成微图形的方法,将具有溶剂的聚合物材料涂敷在衬底上,从而在衬底上形成一个聚合物薄膜。然后,通过应用预定的压缩工艺,将具有一预定形状的模型(204)压入衬底上的聚合物薄膜(202)中,使得聚合物薄膜发生塑性变形,从而在聚合物薄膜上构造出图形。在例如大约10℃-30℃的室温下进行压入步骤。在本发明中,在模型(204)被压入聚合物薄膜(202)之前,首先增加聚合物薄膜的自由体积,以便减小施加在聚合物材料上的、用于使聚合物薄膜产生塑性变形的压力。随后,通过将图形化的聚合物薄膜用作蚀刻掩模,以便在衬底上进行蚀刻,因此在衬底上形成微图形。
- 衬底形成图形方法
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