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[实用新型]一种用于涂胶显影设备的废液收集系统-CN202020277802.8有效
发明人： 姚舜捷 -专利权人：上海图双精密装备有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于涂胶显影设备的废液收集系统，包括：废液收集箱、储液柜；废液收集箱顶部设有第一进液口，废液收集箱下部设有第一出液口，废液收集箱外壁上设有第一液位计；储液柜内固定连接水平隔板，水平隔板将储液柜分隔为第一隔层、第二隔层；第二隔层内设有储液箱，储液箱外壁上设有第二液位计；储液箱的下部设有第二出液口，第二出液口处设有阀门；储液箱顶部设有第二进液口，第二进液口通过第一管道连通有气动泵，气动泵通过第二管道与第一出液口连通；第一隔层内设有控制装置，控制装置分别与第一液位计、第二液位计、气动泵电连接，控制装置还电连接有液位警报装置。本实用新型能够及时提示工作人员对废液进行处理。
一种用于涂胶显影设备废液收集系统

[外观设计]显影液废液收集设备-CN202030075732.3有效
发明人： 姚舜捷 -专利权人：上海图双精密装备有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： 23-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：显影液废液收集设备。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于收集显影设备的废液。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
显影液废液收集设备

[实用新型]一种洁净涂胶显影装置-CN201921579981.4有效
发明人： 姚舜捷 -专利权人：上海图双精密装备有限公司
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种洁净涂胶显影装置，包括涂胶显影机，所述涂胶显影机顶部安装有FFU过滤单元，所述FFU过滤单元用于将空气吸入、过滤后送入涂胶显影机内。本实用新型采用FFU过滤单元，空气经过FFU过滤单元净化后送入到涂胶显影机中，提高涂胶显影机内部空气的清洁度。本实用新型采用FFU过滤单元，空气经过FFU过滤单元净化后送入到涂胶显影机中，通过回风管将涂胶显影机内的空气再次送入到FFU过滤单元进行净化，形成循环，保障了涂胶显影机内部空气的清洁度。
一种洁净涂胶显影装置

[实用新型]一种新型晶圆涂胶显影装置-CN201920354957.4有效
发明人： 姚舜捷 -专利权人：上海图双精密装备有限公司
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开一种新型晶圆涂胶显影装置，包括内保护罩，内保护罩表面套接有轴心相同的外保护罩，外保护罩和内保护罩之间采用可拆分连接，外保护罩和内保护罩均适配4寸晶圆，内保护罩顶面开设的透孔内部设置有吸盘，吸盘的表面吸附晶圆，内保护罩的内壁上安装有对晶圆背面进行反冲洗的喷头，喷头朝向吸盘的支撑柱杆。电气机械组件工作正常，实现4寸晶圆涂胶，且涂胶均匀，无故障发生，产能达到涂胶显影机指标要求，能够除了晶圆背面多余的光刻胶，提升涂胶影响的工艺精度，实用性能优，是一种很好的创新方案，很有市场推广前景。
保护罩晶圆涂胶吸盘外保护罩喷头晶圆背面显影装置电气机械组件本实用新型涂胶显影机表面吸附工作正常故障发生内部设置实用性能市场推广指标要求反冲洗光刻胶支撑柱产能顶面可拆内壁适配套接透孔

[实用新型]一种涂胶显影机晶圆定位装置-CN201920354960.6有效
发明人： 姚舜捷 -专利权人：上海图双精密装备有限公司
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开一种涂胶显影机晶圆定位装置，包括台面板，台面板的中间通过动力传输装置连接C/S手臂，台面板的两端均通过支撑座安装有晶圆定位块，C/S手臂侧边一体成型有通过动力传输装置伸缩在片盒内拿取晶圆的载具，载具适配4寸晶圆，载具两端设置为便于晶圆定位的圆弧状结构，晶圆定位块的端面均设置有定位槽，定位槽之间相对设置，载具的圆弧状结构和定位槽组成晶圆的定位结构。设计新颖，电气机械组件工作正常，适用于4寸晶圆的C/S手臂,且能够对晶圆进行定位，产能达到涂胶显影机指标要求，实用性能优。
晶圆定位晶圆载具涂胶显影机定位槽台面板动力传输装置圆弧状结构手臂电气机械组件本实用新型定位结构工作正常两端设置实用性能手臂侧边相对设置一体成型指标要求支撑座伸缩产能拿取片盒适配