专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体结构与其制作工艺-CN201910844566.5有效
  • 欧阳颖洁;夏志良;苏睿;王启光 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2019-09-06 - 2023-10-10 - H01L29/792
  • 本申请提供了一种半导体结构与其制作工艺。该半导体结构的制作工艺,包括:形成包括沟道孔的基底结构;在沟道孔中形成预备电荷捕获层;对预备电荷捕获层进行预定处理,使得预备电荷捕获层形成电荷捕获层,电荷捕获层的陷阱密度大于预备电荷捕获层的陷阱密度。上述的制作方法中,首先在沟道中形成预备电荷捕获层,然后对该预备电荷捕获层进行预定处理,预备电荷捕获层中的部分材料形成陷阱,从而使得形成的电荷捕获层中的陷阱数量大于预备电荷捕获层中的陷阱的数量。该制作方法形成电荷捕获层中的陷阱的数量较多,缓解了现有技术中的电荷捕获层中的陷阱的数量较少的问题,保证了器件的内存窗口相对较大,进而保证了器件具有良好的性能。
  • 半导体结构与其制作工艺
  • [发明专利]存储器结构-CN201811092463.X有效
  • 夏志良;陈俊;鲍琨;董金文;华文宇;靳磊;江宁;刘峻 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2018-09-19 - 2023-09-12 - H10B43/20
  • 本发明涉及一种存储器结构,包括:衬底层,所述衬底层具有相对的正面和背面,所述衬底层内形成有导电区域,所述导电区域的顶部朝向所述衬底层的正面,所述导电区域的底部朝向所述衬底层的背面,所述导电区域包括:位于所述导电区域底部的屏蔽层,以及位于所述屏蔽层上方的N型掺杂阱;存储层,所述存储层位于所述衬底层的正面上;隔离结构,贯穿所述衬底层,且位于所述导电区域边缘,包围所述导电区域设置,用于隔离所述导电区域与所述隔离结构外围的衬底层。所述存储器的性能得到提高。
  • 存储器结构
  • [发明专利]三维存储器及其制造方法-CN202010167154.5有效
  • 张中;张坤;吴林春;周文犀;夏志良 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2020-03-11 - 2023-07-28 - H10B43/30
  • 一种三维存储器及其制造方法。所述三维存储器包含一衬底、一存储堆叠层、多个存储串及第一共源结构。所述存储堆叠层设置于所述衬底上。所述存储堆叠层包含多个导电层/绝缘层对。所述多个存储串垂直地延伸穿过所述存储堆叠层。所述第一共源结构包含垂直地延伸穿过所述存储堆叠层的两第一共源极,及设置于所述两第一共源极之间的第一支撑结构。在所述三维存储器的制造方法中,先形成第一支撑结构,用以在后续的两第一共源极形成的过程中支撑邻近的堆叠层,避免所述存储块倾斜及/或变形。
  • 三维存储器及其制造方法
  • [发明专利]三维存储器-CN202310374038.4在审
  • 王迪;周文犀;赵婷婷;夏志良 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2021-05-17 - 2023-07-21 - H10B43/35
  • 本申请提供了一种三维存储器及其制备方法。三维存储器包括:叠层结构,包括交替叠置的栅极层和绝缘层;沟道结构,贯穿所述叠层结构;顶部选择堆叠层,位于所述叠层结构的一侧,所述顶部选择堆叠层包括间隔层和至少一对交替堆叠的顶部电介质层和顶部选择栅极层,所述间隔层位于所述至少一对交替堆叠的顶部电介质层和顶部选择栅极层远离所述叠层结构的一侧;以及贯穿所述间隔层和所述至少一对交替堆叠的顶部电介质层和顶部选择栅极层的顶部选择栅切口结构。
  • 三维存储器
  • [发明专利]三维存储器器件和用于形成其的方法-CN202080003791.7有效
  • 吴林春;张坤;周文犀;夏志良 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2020-11-17 - 2023-07-21 - H10B41/35
  • 公开了3D存储器器件和用于形成其的方法。在一个示例中,公开了用于形成3D存储器器件的方法。在衬底之上依次形成第一多晶硅层、电介质牺牲层、第二多晶硅层和电介质堆叠层。形成垂直延伸穿过电介质堆叠层、第二多晶硅层和电介质牺牲层并进入到第一多晶硅层中的沟道结构。形成垂直延伸穿过电介质堆叠层和第二多晶硅层并垂直延伸进入到电介质牺牲层中或穿过电介质牺牲层以暴露电介质牺牲层的部分的开口,以及沿着开口的侧壁的部分的多晶硅间隔体。通过开口用利用第一和第二多晶硅层之间的第三多晶硅层替换电介质牺牲层。
  • 三维存储器器件用于形成方法
  • [发明专利]3D存储器件及其制造方法-CN202110493705.1有效
  • 朱九方;朱紫晶;张坤;胡明;鲍琨;夏志良 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2019-03-29 - 2023-07-21 - H10B43/35
  • 本申请公开了一种3D存储器件及其制造方法。该3D存储器件包括:栅叠层结构,包括交替堆叠的多个栅极导体层与多个层间绝缘层;多个沟道柱,贯穿栅叠层结构;以及导电通道,贯穿栅叠层结构,其中,导电通道包括:芯部和导电柱,导电柱位于芯部上方;第一导电层,覆盖芯部的侧壁与底部,并围绕导电柱的侧壁;以及第二导电层,位于芯部与导电部之间并覆盖导电柱的侧壁,其中,第二导电层由单一导电材料形成,并与第一导电层接触。该3D存储器件通过将覆盖导电柱的侧壁的第二导电层设置为由单一导电材料形成的导电层,解决了台阶覆盖性较差的问题。
  • 存储器件及其制造方法

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