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[发明专利]流量调节阀及使用该流量调节阀的流体控制装置-CN201780065702.X有效
发明人： 土肥亮介;千叶泰司;渡边一诚 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： F16K31/04 文献下载
摘要：提供充分发挥手动阀型小型化的优点并解决其课题的电动阀型的流量调节阀。具有通过使旋转体(15)旋转而使上下移动体(6)上下移动的旋转装置。旋转装置包括在旋转体(15)的上端部设置的从动齿轮(14)和使与从动齿轮(14)啮合的驱动齿轮(13)的马达(11)。马达(11)采用步进伺服马达，配置在驱动齿轮(13)的下方，马达(11)的旋转轴(34)向上延伸，在其上端部固定有驱动齿轮(13)。
流量调节使用流体控制装置

[发明专利]流体控制器的异常检测装置、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器-CN201880004412.9有效
发明人：原田章弘;西野功二;土肥亮介;川田幸司;杉田胜幸;池田信一;山路道雄;篠原努;丹野龙太郎;河内勇人 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2018-02-06 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：在流体控制器中，即使在流体的泄漏很少的情况下，也能够检测到泄漏。另外，通过利用信息通信技术，从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有：压力传感器(11)，其检测封闭空间(S)内的压力；处理模块，其执行给定的信息处理；以及拆装机构，其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP)，并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别流体控制器(2)的异常，并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。
流体控制器异常检测装置系统方法

[发明专利]压力传感器-CN201980059797.3在审
发明人：日高敦志;中谷贵纪;池田信一;西野功二;土肥亮介 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2019-10-02 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G01L19/00 文献下载
摘要：本发明提供一种压力传感器，其具备：以与流体通路(3)连通的状态而气密地安装于形成流体通路(3)的主体(4)上的筒状部件(5)；以及与筒状部件(5)连接并且对在主体(4)的流体通路(3)内流动的流体的压力进行检测的压力传感器部(6)，筒状部件(5)由镍钼铬合金材料或不锈钢材料所形成，压力传感器部(6)具备：具有流体流入的受压室(7)以及与流入受压室(7)的流体接触的隔膜(8a)，并且一端被隔膜(8a)闭塞的传感器主体(8)；以及将隔膜(8a)的位移作为压力而输出的压力检测元件(2)，传感器主体(8)由钴镍合金材料所形成，开口侧端部与筒状部件(5)的一端部气密地连接。
压力传感器

[发明专利]压电元件驱动式阀以及流量控制装置-CN201780080823.1有效
发明人： 土肥亮介;平田薰;杉田胜幸;川田幸司;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：一种压电元件驱动式阀，具备：设置于流路的阀座及离接于阀座的阀体；以及压电元件，所述压电元件驱动式阀被构成为：通过所述压电元件的伸长而移动所述阀体；所述压电元件驱动式阀具备对压电元件的伸长量进行检测的检测机构，检测机构包括应变传感器，阀体的移动量基于应变传感器的输出而检测。
压电元件驱动以及流量控制装置

[发明专利]分流阀-CN201880001361.4有效
发明人：谷川毅;石桥圭介;药师神忠幸;山路道雄;土肥亮介;下村嘉德;船越高志 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2018-01-25 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： F16K11/048 文献下载
摘要：主通路(11)具有两个大径部(11a、11b)以及大径部(11a、11b)之间的小径部(11c)。入口通路(12)与小径部(11c)连通，各出口通路(13、14)与各大径部(11a、11b)连通。阀芯移动机构(3)具有：供对一方的大径部(11a)与小径部(11c)之间进行开闭的第1阀芯(21)固定在其一端部上的第1阀杆(22)；供对另一方的大径部(11b)与小径部(11c)之间进行开闭的第2阀芯(23)固定在其一端部上的第2阀杆(24)；一端部固定在第1波纹管凸缘(29)上且另一端部固定在第1阀芯(21)上的第1波纹管(28)；一端部固定在第2波纹管凸缘(33)上且另一端部固定在第2阀芯(23)上的第2波纹管(32)；设在主通路11外部且与第1阀杆(22)及第2阀杆(24)连接的框体(25)；和使框体(25)向第1阀芯(21)及第2阀芯(23)的开闭方向移动的致动器(26)。
分流

[发明专利]流量控制装置-CN201880071834.8在审
发明人：杉田胜幸;土肥亮介;平田薰;川田幸司;池田信一;西野功二 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流量控制装置(100)，具备：压力控制阀(6)，其设置于流路；流量控制阀(8)，其设置在压力控制阀的下游侧；以及第一压力传感器(3)，其对压力控制阀的下游侧且流量控制阀的上游侧的压力进行测定，流量控制阀具有：离接于阀座(12)的阀体(13)；用于使阀体移动以使阀体离接于阀座的压电元件(10b)；以及设置于压电元件的侧面的应变传感器(20)，其构成为基于从第一压力传感器(3)输出的信号控制压力控制阀(6)，基于从应变传感器(20)输出的信号控制流量控制阀(8)的压电元件的驱动。
流量控制装置

[发明专利]流量控制装置的自我诊断方法-CN201880074626.3在审
发明人：杉田胜幸;土肥亮介;平田薰;川田幸司;池田信一;西野功二 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种流量控制装置的自我诊断方法，包括：工序(a)，从流量控制阀(8)的开度为节流部以上的开度且流体从压力控制阀(6)的上游侧流动的状态，使压力控制阀变化为闭状态，测定变化之后的压力下降特性；工序(b)，从流量控制阀的开度为小于节流部的开度且流体从压力控制阀的上游侧流向下游侧的状态，使压力控制阀变化为闭状态，测定变化之后的压力下降特性；工序(c)，对在工序(a)测定的压力下降特性和对应的基准压力下降特性进行比较，判断有无异常；工序(d)，对在工序(b)测定的压力下降特性和对应的基准压力下降特性进行比较，判断有无异常；和工序(e)，仅只在工序(d)判断存在异常的情况下，判断流量控制阀存在异常。
流量控制装置自我诊断方法

[发明专利]阀装置以及使用该阀装置的控制装置的控制方法、流体控制装置以及半导体制造装置-CN201880074687.X在审
发明人：滝本昌彦;吉田俊英;近藤研太;土肥亮介;西野功二 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2018-11-12 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：本发明提供一种不使用限位开关就能够对阀的开闭状态进行检测的阀装置的控制装置。阀装置(1)具有对供流体流通的流路进行开闭的隔膜(20)、向流路的关闭方向对隔膜(20)施力的螺旋弹簧(90)、进行驱动以克服螺旋弹簧(90)的施力的主致动器(60)、以及利用了压电元件的调整用致动器(100)，该压电元件用于调整流路的基于隔膜(20)的开度，控制器(200)基于调整用致动器(100)的压电元件产生的电压来对流路的开闭状态进行检测，并且利用该检测信号对阀装置(1)进行控制。
装置以及使用控制方法流体半导体制造

[发明专利]流体控制阀及使用该流体控制阀的流体控制装置-CN201880028111.X在审
发明人：小林圭吾;永尾将和;药师神忠幸;土肥亮介 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： F16K31/04 文献下载
摘要：本发明提供一种即使没有用于检测流路全闭时的状态的引线等也能够检测流路全闭时的状态的流量调整阀。流量调整阀(1)包括使在主体(60)上设置的流体流路(61、62)开闭的阀芯(49)和使阀芯(49)移动的致动器部(3)，其中，致动器部(3)包括：驱动用马达(10)；通过所述马达(10)的转动而移动的滑块(30)；安装于所述滑块(30)的筒状体(40)；以及与所述筒状体(40)连动并在前端固定所述阀芯(49)的轴(47)。所述马达(10)是步进伺服马达，其具有接触控制功能，即，通过基于编码器的信号的闭环控制，直到转矩值变为设定值以上连续以额定转矩以下使所述阀芯向封闭方向移动，封闭位置的检测通过所述接触控制功能进行。
阀芯马达流量调整阀接触控制致动器部筒状体滑块流路全闭转矩检测移动闭环控制封闭方向封闭位置流体流路伺服马达编码器步进开闭连动转动驱动

[发明专利]流体控制装置中的密封部件的固定构造、接头及流体控制装置-CN201680019404.2有效
发明人：执行耕平;广濑隆;西野功二;土肥亮介;安本直史 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2016-08-10 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： F16K27/00 文献下载
摘要：各通路部件(3、4、9)具有所需的宽度、高度和长度，在宽度中央部设有流体通路(13、14、17、18)。作为结合机构而使用两根螺栓(15、16)。在各通路部件(3、4、9)的宽度中央部的两端部上分别各设有一个内螺纹(36A、36B、42、48)及与该内螺纹相对的螺栓穿插孔(34、35、40、47)。上侧的螺栓(15)穿插于一个通路部件(3、4)中并与另一个通路部件(9)的内螺纹(36A、36B)螺合。下侧的螺栓(16)穿插于另一个通路部件(9)中并与一个通路部件(3、4)的内螺纹(42、44)螺合。通过利用上下两根螺栓(15、16)使通路部件彼此结合，密封部件(6、7)被固定。
流体控制装置中的密封部件固定构造接头

[发明专利]压电元件驱动式阀以及具备压电元件驱动式阀的流量控制装置-CN201580039826.1有效
发明人：平田薰;杉田胜幸;土肥亮介;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2015-08-17 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：本发明提供一种在不使用复杂的机构就能够增大压电元件的位移量的同时，不给配线等带来障碍的压电元件驱动式阀以及具备压电元件驱动式阀的流量控制装置。本发明是一种压电元件驱动式阀(1)，其具备：主体(7)，该主体设置有流体通路(7a)以及阀座(7c)；阀体(8)，其与主体(7)的阀座(7c)抵接分离而开闭流体通路(7a)；和，压电致动器(16)，其利用压电元件的伸长而开闭驱动所述阀体(8)，其中，通过能够引出配线的隔离物(17)，将至少两个压电致动器(16)配设在一条直线上。
压电元件驱动以及具备流量控制装置

[发明专利]压力式流量控制装置-CN201580020604.5有效
发明人：永濑正明;平田薰;土肥亮介;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2015-07-09 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种压力式流量控制装置，其能够在流体流量控制中，实现缩短切换流量时的降落响应时间，提高降落响应特性。压力式流量控制装置具有：主体(4)，其设置有连通流体入口(1)和流体出口(2)之间的流体通路(3)；压力控制用控制阀(5)，其以水平姿势固定于主体(4)并对流体通路(3)进行开关；开关阀(6)，其以垂直姿势固定于主体(4)并对压力控制用控制阀(5)的下游侧的流体通路(3)进行开关；流孔(7)，其设置于开关阀(6)的上游侧的流体通路(3)；以及压力传感器(8)，其固定于主体(4)并检测压力控制用控制阀(5)和流孔(7)之间的流体通路(3)的内压，所述流体通路(3)具有：与压力控制用控制阀(5)连接的水平姿势的第一通路部(3a)、连接第一通路部(3a)和流孔(7)的垂直姿势的第二通路部(3b)、以及连接第二通路部(3b)和压力传感器(8)的水平姿势的第三通路部(3c)。
压力流量控制装置

[发明专利]压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置-CN201680030926.2有效
发明人：执行耕平;广濑隆;西野功二;土肥亮介;安本直史 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2016-08-09 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： H02N2/04 文献下载
摘要：本发明涉及压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置。压电式线性致动器具备：积层压电致动器；支撑积层压电致动器，并且向积层压电致动器的左右侧方延伸的下部支撑部件；沿着积层压电致动器左右两侧延伸并相对于下部支撑部件可上下移动地交叉并传递因积层压电致动器的压电效果产生的位移的一对位移传递部件；以及在下部支撑部件下方被卡止在一对位移传递部件而将两位移传递部件的下端部彼此连结的输出部，位移传递部件各自形成为具有沿着积层压电致动器的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状，在各位移传递部件的下端部，以对向状形成有下部支撑部件插通的纵长的导孔，在该导孔的下方侧的内周缘部卡止有输出部。
压电线性致动器驱动以及流量控制装置

[发明专利]流路密封构造-CN201480054854.6有效
发明人： 土肥亮介;安本直史;西野功二;池田信一 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2014-12-22 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： G01F1/42 文献下载
摘要：本发明涉及流路密封构造，能够省略将孔板或者过滤板对作为母材的孔座或者过滤器座进行焊接或者敛缝的工序，并且能够实现进一步的小型化。其具备：主体块体(1)，形成有主体流路(1a，1b)；凹部(12，13)，形成于主体块体(1)的侧面，且在内周面形成有雌螺纹；薄板(6，8)，抵接于所述凹部的深处，且形成有通孔；垫圈(16，17)，抵接于薄板(6，8)；按压配管(20，21)，具有能够与主体流路(1a，1b)连通的内部流路和扩径部，且抵接于所述垫圈；紧固螺丝(22)，外插于所述按压配管，并且螺旋拧入所述雌螺纹，抵接于所述扩径部而对所述按压配管进行按压。
密封构造

[发明专利]压力式流量控制装置及其流量控制开始时的超量防止方法-CN201580002126.5有效
发明人：平田薰;池田信一;西野功二;土肥亮介;杉田胜幸;永濑正明 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2015-01-15 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明涉及的压力式流量控制装置具备：主体，所述主体设置有连通流体入口与流体出口之间的流体通路，及连通流体通路与排气出口之间的排气通路；压力控制用控制阀，所述压力控制用控制阀固定于主体的流体入口侧，且开闭流体通路的上游侧；第一压力传感器，所述第一压力传感器检测其下游侧的流体通路内压；流孔，所述流孔设置于比所述排气通路的分歧位置更靠近下游的流体通路内；开闭阀，所述开闭阀开闭所述第一压力传感器的下游侧的流体通路；及排气用阀，所述排气用阀开闭所述排气通路。在所述压力式流量控制装置进行的流量控制开始前使排气用阀动作，且对压力控制用控制阀与开闭阀之间的流体通路空间内进行强制排气，由此可以防止流量控制开始时的超量。
压力流量控制装置及其开始超量防止方法

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