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- [发明专利]阀以及流体供给管线-CN201880051365.3有效
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丹野龙太郎;相川献治;原田章弘;铃木裕也;松田隆博;米华克典;落石将彦;篠原努
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株式会社富士金
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2018-08-28
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2021-12-03
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F16K31/12
- 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有:驱动压力导入通道(431),与管线外的驱动压力供给源(G)连接;自动阀(411),将驱动压力导入通道(431)打开或关闭;驱动压力导入通道(433),与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结;自动阀(412),与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭,并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭;以及驱动压力导入通道(432),经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
- 以及流体供给管线
- [发明专利]流体控制设备-CN201880015079.1有效
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铃木裕也;米华克典;落石将彦;原田章弘;丹野龙太郎;篠原努
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株式会社富士金
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2018-03-13
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2021-09-10
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F16K31/122
- 本发明提供一种在内部收纳用于检测流体控制设备的异常的部件并且实现小型化的流体控制设备。另外,能够在外部容易地确认检测出流体控制设备的异常的结果。流体控制设备(1)包括:信息处理模块(5),其设置在设备内;阀体(11),其具有流路;致动器机体(12),其固定于阀体(11);壳体(13),其为中空,固定于致动器机体(12),并在侧面形成有贯通孔(133d);活塞(126),其设置在致动器机体(12)内,并且在内部形成有向驱动压导入室(S2)连通的驱动压导入路(126b);以及导入管(21),其为导入驱动压的管,一端插入至驱动压导入路(126b),另一端从壳体(13)的贯通孔(133d)向外部导出。
- 流体控制设备
- [发明专利]流体控制设备-CN201980032068.9在审
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丹野龙太郎;篠原努;铃木裕也;木曾秀则;渡边义明
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株式会社富士金
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2019-07-16
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2020-12-22
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F16K37/00
- 本发明提供一种在流体控制设备中即使流体的漏出微小的情况下也能够高精度地探测到漏出的技术。流体控制设备(V1)具有:阀主体(1),形成有流路;隔膜(22),将封闭空间(S2)从流路隔离;阀盖(24),与隔膜(22)之间形成封闭空间(S2),并且该阀盖设置有贯插孔(241a),该贯插孔与封闭空间(S2)连通且供隔膜压件(23)能够上下移动地进行贯穿插入;隔膜压件(23),在贯插孔(241a)内上下移动来按压隔膜(22),并且设置有使得所述隔膜压件(23)不能从贯插孔(241a)拔出的扩径部(232);压力传感器(P),检测封闭空间(S2)内的压力;以及弹性体(6),在封闭空间(S2)内夹设于隔膜压件(23)的扩径部(232)与阀盖(24)之间,伴随着隔膜压件(23)的上下移动而在隔膜压件(23)的扩径部(232)与阀盖(24)之间弹性地膨胀收缩。
- 流体控制设备
- [发明专利]流体控制设备-CN201980025634.3在审
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丹野龙太郎;篠原努;铃木裕也;木曾秀则
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株式会社富士金
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2019-06-04
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2020-11-24
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F16K27/02
- 本发明提供一种能够获取与设备的内部动作相关的数据的流体控制设备。流体控制设备(V)具有:机罩部(2),安装有用于检测流体控制设备(V)内的动作的传感器(M1、M2、P);以及阀主体(1),其在内部收容机罩部(2),在阀主体(1)设置有:凹部(12a),其用于收容机罩部(2);以及狭缝(12b),其供与传感器(M1、M2、P)连接的通信用的线缆(51)向外侧导出,并且所述狭缝(12b)的与形成有流路的基台部(11)相反侧的一端开口且从外侧向凹部(12a)侧贯通。
- 流体控制设备
- [发明专利]锁定装置以及阀装置-CN201480017111.1有效
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赤本久敏;四方出;丹野龙太郎
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富士金公司
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2014-04-11
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2017-07-11
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F16K35/04
- 本发明提供阀芯的位置不会因外部力以及流体压力而变更的阀装置、以及组装于该阀装置的锁定装置。锁定装置的特征在于,其是在阀装置的转动部装配为能够沿该转动部的中心轴线前进后退的筒体,该锁定装置具有凸部,该凸部沿上述筒体的中心轴线而形成于上述筒体的内周面,且因筒体的前进后退而与凹部卡合或从该凹部脱离,其中,该凹部沿上述转动部保持体的中心轴线而形成于转动部保持体的外周面,或者该锁定装置具有凹部,该凹部沿上述筒体的中心轴线而形成于上述筒体的内周面,且因筒体的前进后退而与凸部卡合或从该凸部脱离,其中,该凸部沿上述转动部保持体的中心轴线而形成于转动部保持体的外周面。
- 锁定装置以及
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